高温机台及机台温度控制系统技术方案

技术编号:33800069 阅读:14 留言:0更新日期:2022-06-16 10:04
本实用新型专利技术涉及一种高温机台及机台温度控制系统。高温机台包括:第一炉体,所述第一炉体设有第一加热腔,第二炉体,所述第二炉体设有第二加热腔,所述第二加热腔用于加工电池片;连接件,所述连接件设置于所述第一炉体与所述第二炉体之间,所述第一加热腔通过所述连接件与所述第二加热腔连通。上述高温机台,第一炉体与第二炉体均能够对电池片进行加工,当第一炉体加热温度约为900度,第二炉体内的温度未升温的情况下约为600度,通过连接件连通第一炉体与第二炉体,能够使得热能在第一炉体与第二炉体内相互传递,有利于将少热量损失,进而缩短电池片加工时第一炉体和第二炉体的加热时间,减少升温所需的耗能,增加热能利用率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
高温机台及机台温度控制系统


[0001]本技术涉及电池片生产
,特别是涉及一种高温机台及机台温度控制系统。

技术介绍

[0002]太阳能电池,也称光伏电池,是一种将太阳的光直接转化为电能的半导体器件。由于它是绿色环保产品,不会引起环境污染,而且是可再生资源,所以在当今能源短缺的情形下,太阳能电池是一种具有广阔发展前途的能源。太阳能电池片的制作工艺一般有以下几个步骤:化学清洗及表面织构化处理、扩散制结、周边刻蚀、氮化硅膜沉积、丝网印刷、烧结。在氮化硅膜沉积步骤中,等离子增强化学气相沉积(PECVD)是制备氮化硅膜常用的方法。
[0003]传统技术中,太阳能电池加工需要用到石墨舟,石墨舟是一种采用等离子体增强型化学气相沉积工艺进行电池片镀膜的承载工具。主机台在对石墨舟内的电池片进行加工时,需先加热炉体内部并抽真空,工艺结束后会回充氮回常压,然后开炉门出舟,每个管均是如此,然而,现有设备工艺在开炉管出舟后会重新进舟,然后重新升温造成热量损失,且在此过程中用时较长,造成资源浪费。如何减少加热时间,增加热能利用率变得尤为重要。

技术实现思路

[0004]基于此,有必要克服现有技术的缺陷,提供一种高温机台及温度控制系统,能够有效减少热量损失和炉体的加热时间,增加热能利用率。
[0005]其技术方案如下:一种高温机台,包括:第一炉体,所述第一炉体设有第一加热腔,所述第一加热腔用于加工电池片;第二炉体,所述第二炉体设有第二加热腔,所述第二加热腔用于加工电池片;连接件,所述连接件设置于所述第一炉体与所述第二炉体之间,所述第一加热腔通过所述连接件与所述第二加热腔连通。
[0006]上述高温机台,在工作过程中,第一炉体与第二炉体均能够对电池片进行加工,当第一炉体加热结束后,此时第一炉体内的温度较高,约为900度,第二炉体内的温度未升温的情况下约为600度,然后,向第一炉体与第二炉体内充入氮气,使得第一加热腔内部回到常压,在炉体回到常压后,继续向第一炉体充氮气,使得气体通过连接件进入到第二加热腔中,并且温度通过气体传递到第二炉体内,从而达到对第二炉体进行升温的效果。通过连接件连通第一炉体与第二炉体,能够使得热能在第一炉体与第二炉体内相互传递,有利于将少热量损失,进而缩短电池片加工时第一炉体和第二炉体的加热时间,减少升温所需的耗能,增加热能利用率。
[0007]在其中一个实施例中,所述连接件为石英管,所述第一加热腔通过所述石英管与所述第二加热腔连通。
[0008]在其中一个实施例中,所述高温机台还包括阀门,所述阀门可开闭式连通于所述第一加热腔与所述第二加热腔之间。
[0009]在其中一个实施例中,所述阀门为电磁阀。
[0010]在其中一个实施例中,所述第一炉体设有第一炉门,所述第一炉门可开闭式连通于所述第一加热腔,当所述第一炉门打开时,所述第一加热腔与外界连通。
[0011]在其中一个实施例中,所述第二炉体设有第二炉门,所述第二炉门可开闭式连通于所述第二加热腔,当所述第二炉门打开时,所述第二加热腔与外界连通。
[0012]在其中一个实施例中,所述第一炉体还设有第一充气件,所述第一充气件用于向所述第一加热腔充入氮气;所述第二炉体还设有第二充气件,所述第二充气件用于向所述第二加热腔充入氮气。
[0013]在其中一个实施例中,所述第一炉体设有第一传感器,所述第二炉体设有第二传感器,所述第一传感器用于检测第一加热腔的温度,第二传感器用于检测第二加热腔的温度。
[0014]在其中一个实施例中,所述高温机台还包括控制件,所述第一传感器与所述第二传感器均与所述控制件控制连接。
[0015]一种温度控制系统,包括上述中任意一项所述的高温机台。
[0016]上述温度控制系统,在工作过程中,第一炉体与第二炉体均能够对电池片进行加工,当第一炉体加热结束后,此时第一炉体内的温度较高,约为900度,第二炉体内的温度未升温的情况下约为600度,然后,向第一炉体与第二炉体内充入氮气,使得第一加热腔内部回到常压,在炉体回到常压后,继续向第一炉体充氮气,使得气体通过连接件进入到第二加热腔中,并且温度通过气体传递到第二炉体内,从而达到对第二炉体进行升温的效果。通过连接件连通第一炉体与第二炉体,能够使得热能在第一炉体与第二炉体内相互传递,有利于将少热量损失,进而缩短电池片加工时第一炉体和第二炉体的加热时间,减少升温所需的耗能,增加热能利用率。
附图说明
[0017]构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解,本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术,并不构成对本技术的不当限定。
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为一实施例中所述的高温机台的工作原理图。
[0020]附图标记说明:
[0021]100、高温机台;110、第一炉体;111、第一加热腔;120、第二炉体;121、第二加热腔;130、连接件;140、阀门。
具体实施方式
[0022]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进,因此本技术不受下面公
开的具体实施例的限制。
[0023]在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
[0024]此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
[0025]在本技术中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高温机台,其特征在于,所述高温机台包括:第一炉体,所述第一炉体设有第一加热腔,所述第一加热腔用于加工电池片;第二炉体,所述第二炉体设有第二加热腔,所述第二加热腔用于加工电池片;连接件,所述连接件设置于所述第一炉体与所述第二炉体之间,所述第一加热腔通过所述连接件与所述第二加热腔连通。2.根据权利要求1所述的高温机台,其特征在于,所述连接件为石英管,所述第一加热腔通过所述石英管与所述第二加热腔连通。3.根据权利要求1所述的高温机台,其特征在于,所述高温机台还包括阀门,所述阀门可开闭式连通于所述第一加热腔与所述第二加热腔之间。4.根据权利要求3所述的高温机台,其特征在于,所述阀门为电磁阀。5.根据权利要求1所述的高温机台,其特征在于,所述第一炉体设有第一炉门,所述第一炉门可开闭式连通于所述第一加热腔。6.根据权利要求5...

【专利技术属性】
技术研发人员:王亚楠熊记伟储康
申请(专利权)人:通威太阳能眉山有限公司
类型:新型
国别省市:

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