线宽压窄模块温度监测装置及其监测方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种线宽压窄模块温度监测装置，属于准分子激光器技术领域，包括：透视窗和热成像仪；所述透视窗固定安装于线宽压窄模块上；所述热成像仪通过透视窗监测线宽压窄模块内部的光学元件的温度变化，并将光学元件温度变化以数据形式向外输出。本发明专利技术的线宽压窄模块温度监测装置，安装调试方便，小巧，采用热成像仪对线宽压窄模块内部各个光学元件不同位置的引起温度畸变点能够进行精确的实时监测。测。测。

【技术实现步骤摘要】
线宽压窄模块温度监测装置及其监测方法


[0001]本专利技术涉及准分子激光器
，具体涉及线宽压窄模块温度监测装置及其监测方法。

技术介绍

[0002]光刻机用的线宽准分子激光器一般使用棱镜组与中阶梯光栅组合进行线宽压窄。棱镜组的作用是实现对激光的一维扩束，而光栅则实现窄线宽波长选择和反馈放大。光刻光源的线宽会直接影响半导体光刻的特征尺寸，所以在半导体光刻领域对激光线宽的精确控制非常重要。而激光线宽的影响因素中光学元件的波前畸变是导致线宽变化的主要因素。光学元件的波前畸变的影响受内部环境因素的影响，线宽压窄模块中光学元件局部温度过高，无法有效散热，同时受进入线宽压窄模块中氮气的影响，形成扰流等，致使光学元件温度变化，因而会直接导致激光线宽变差，但是现有技术中，还没有对线宽压窄模块中光学元件的温度进行实时监控的技术公开。
[0003]因此，研究一种能长期监测线宽压窄模块内部温度变化的装置显得非常重要，包括对棱镜组和中阶梯光栅各位置的温度变化情况的监测，确定了线宽压窄模块内各光学元件内部温度变化后，可以对线宽压窄模块进行深入研究，从而可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种线宽压窄模块温度监测装置，其特征在于，包括：透视窗和热成像仪；所述透视窗固定安装于线宽压窄模块上；所述热成像仪通过透视窗监测线宽压窄模块内部的光学元件的温度变化，并将光学元件温度变化以数据形式向外输出。2.根据权利要求1所述的线宽压窄模块温度监测装置，其特征在于，在所述热成像仪的前面设有摄像镜头，用于获取线宽压窄模块内部图像数据。3.根据权利要求2所述的线宽压窄模块温度监测装置，其特征在于，所述热成像仪的前面还设有调焦系统，使所述热成像仪具有快速调焦功能。4.根据权利要求1所述的线宽压窄模块温度监测装置，其特征在于，所述热成像仪的后面设有成像显示系统；所述热成像仪监测的线宽压窄模块内部的光学元件的温度变化呈现在成像显示系统上。5.根据权利要求4所述的线宽压窄模块温度监测装置，其特征在于，所述热成像仪安装在热成像仪调整装置上；所述热成像仪调整装置，用于调整所述热成像仪的角度和位置，使热成像仪(5)能够监测到线宽压窄模块内部所有光学元件。6.根据权利要求5所述的线宽压窄模块温度监测装置，其特征在于，所述热成像仪调整装置包括：电动旋转台和电动平移台；所述电动旋转台通过固定旋转钮夹在热成像仪的中间位置，所述电动旋转台带动热成像仪旋转实现角度调整；所述电动旋转台安装于电动平移台上，通过所述电动平移台的平移移动实现热成像仪的位置调整。7.根据权利要求6所述的线宽压窄模块温度监测装置，其特征在于，还包括：控制单元，用于获取热成像仪输出的光学元件温度变化数据，并根据温度变化数据控制热成像仪调整装置；所述控制单元分别与热成像仪...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈刚，李祖友，蔡森，詹绍通，江锐，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：