温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供了一种线宽压窄模块温度监测装置,属于准分子激光器技术领域,包括:透视窗和热成像仪;所述透视窗固定安装于线宽压窄模块上;所述热成像仪通过透视窗监测线宽压窄模块内部的光学元件的温度变化,并将光学元件温度变化以数据形式向外输出。本发明的...该专利属于北京科益虹源光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京科益虹源光电技术有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供了一种线宽压窄模块温度监测装置,属于准分子激光器技术领域,包括:透视窗和热成像仪;所述透视窗固定安装于线宽压窄模块上;所述热成像仪通过透视窗监测线宽压窄模块内部的光学元件的温度变化,并将光学元件温度变化以数据形式向外输出。本发明的...