使用无人机的掩模版搬运方法及掩模版搬运系统技术方案

本申请公开了一种使用无人机的掩模版搬运方法及掩模版搬运系统，该方法包括：建立虚拟的三维直角坐标系，获取无人机的位置坐标和待搬运掩模版的位置坐标；确定无人机移动至待搬运掩模版位置的第一规划路径；控制无人机沿着第一规划路径向待搬运掩模版移动，并实时获取无人机与待搬运掩模版之间的第一相对位置关系数据；当第一相对位置关系数据满足第一预设条件时，控制无人机的机械手抓取待搬运掩模版；抓取到待搬运掩模版后，控制无人机将待搬运掩模版放置到掩模版待放置位置。本公开的方法，采用无人机搬运掩模版，通过路径规划得到最短的无人机搬运路径，无需铺设轨道，占用空间小，大大节省了空间，而且使用方便、快捷灵活，工作效率高。工作效率高。工作效率高。

【技术实现步骤摘要】
使用无人机的掩模版搬运方法及掩模版搬运系统


[0001]本公开涉及半导体生产
，具体涉及一种使用无人机的掩模版搬运方法及掩模版搬运系统。

技术介绍

[0002]半导体产品生产现场的物流自动化系统，通过设置在天花板上的用于运输掩模版的空中走行式无人搬送车(OHT)运输掩模版。使用该空中走行式无人搬送车需要在天花板上设置轨道，轨道设置成本高，轨道铺设较为麻烦，且占用空间较大，使用起来也不够便捷灵活；另外，空中走行式无人搬送车(OHT)沿着轨道行驶来运输掩模版，速度较慢，导致搬运掩模版的效率较低。

技术实现思路

[0003]本公开的目的是提供一种使用无人机的掩模版搬运方法及掩模版搬运系统。为了对披露的实施例的一些方面有一个基本的理解，下面给出了简单的概括。该概括部分不是泛泛评述，也不是要确定关键/重要组成元素或描绘这些实施例的保护范围。其唯一目的是用简单的形式呈现一些概念，以此作为后面的详细说明的序言。
[0004]根据本公开实施例的一个方面，提供一种使用无人机的掩模版搬运方法，包括：
[0005]建立虚拟的三维本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种使用无人机的掩模版搬运方法，其特征在于，包括：建立虚拟的三维直角坐标系，获取所述无人机的位置坐标和待搬运掩模版的位置坐标；根据所述无人机的位置坐标和所述待搬运掩模版的位置坐标，确定所述无人机移动至所述待搬运掩模版位置的第一规划路径；控制所述无人机沿着所述第一规划路径向所述待搬运掩模版移动，并实时获取所述无人机与所述待搬运掩模版之间的第一相对位置关系数据；当所述第一相对位置关系数据满足第一预设条件时，控制所述无人机的机械手抓取所述待搬运掩模版；抓取到所述待搬运掩模版后，控制所述无人机将所述待搬运掩模版放置到掩模版待放置位置。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一相对位置关系数据包括以所述待搬运掩模版的位置坐标为起点、以所述无人机的位置坐标为终点的向量的三个分量。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第一预设条件包括：所述向量的第一个分量、第二个分量均为0，第三个分量属于第一预设区间。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述无人机的位置坐标和所述待搬运掩模版的位置坐标，确定所述无人机移动至所述待搬运掩模版位置的第一规划路径，包括：若所述无人机与所述待搬运掩模版之间的直线连线上无障碍物，则取所述无人机与所述待搬运掩模版之间的直线连线作为第一规划路径。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述无人机的位置坐标和所述待搬运掩模版的位置坐标，确定所述无人机移动至所述待搬运掩模版位置的第一规划路径，包括：若所述无人机与所述待搬运掩模版之间的直线连线上存在障碍物，则获取各所述障碍物的坐标以及尺寸，将各所述障碍物的坐标以及尺寸、待搬运掩模版坐标、无人机实时坐标以及尺寸均在所述三维直角坐标系内标记出来，然后进行避障路径规划，获得所述无人机移动至所述待搬运掩模版的最短避障路径。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制所述无人机将所述待搬运掩模版放置到掩...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁贤石，金成昱，林锺吉，金在植，张成根，贺晓彬，刘强，丁明正，杨涛，
申请(专利权)人：真芯北京半导体有限责任公司，
类型：发明
国别省市：