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本申请公开了一种使用无人机的掩模版搬运方法及掩模版搬运系统，该方法包括：建立虚拟的三维直角坐标系，获取无人机的位置坐标和待搬运掩模版的位置坐标；确定无人机移动至待搬运掩模版位置的第一规划路径；控制无人机沿着第一规划路径向待搬运掩模版移动，并...
该专利属于真芯（北京）半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过真芯（北京）半导体有限责任公司授权不得商用。

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