一种传输皮带清洁装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种传输皮带清洁装置，涉及半导体领域，本发明专利技术实施例的传输皮带清洁装置直接利用检测舱室内的光能作为能量源，通过太阳能接收转换模块将光能转化为电能为直流电机供电，直流电机通过顶升机构驱使擦拭臂上下移动，擦拭海绵随擦拭臂上下移动实现清洁传输皮带，整个过程无需外接动力源，也不需要用电控系统，有效避免清洁装置产生电磁干扰或信号干扰的问题，更适用于对电磁场、通信信号干扰有要求的精密仪器所在场所的皮带进行清洁。要求的精密仪器所在场所的皮带进行清洁。要求的精密仪器所在场所的皮带进行清洁。

【技术实现步骤摘要】
一种传输皮带清洁装置


[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种传输皮带清洁装置。

技术介绍

[0002]在硅片的分选检测过程中，传输皮带在和硅片、皮带轮的摩擦过程中产生硅粉、金属粉等粉尘，粉尘进入硅片表面形成粉尘污，影响硅片的质量，导致硅片需要重新清洗，增加生产成本。
[0003]对精密仪器的清洁，主要包括对皮带轮1的清洁。目前，可以采用人工对粉尘污进行清洁的方案。该方案需要停止设备运行，由设备维护人员将皮带拆卸后对精密仪器的皮带轮1进行清洁。由此可见，该方案停机清洁影响生产效率、消耗大量人力。
[0004]还可以采用电动、气动装置对粉尘污进行清洁的方案。但该方案中装置铺设的成本过高，还要引入PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)控制系统对动作进行管理，过于复杂。并且采用电控系统，会附带产生电磁场、通信信号干扰，影响精密检测模组检测效果。

技术实现思路

[0005]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，为此本专利技术提供一种传输皮带清洁装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传输皮带清洁装置，其特征在于，包括：清洁组件，设置于传输皮带的下方，包括擦拭臂以及设置于所述擦拭臂一端的擦拭海绵；动力组件，用于驱使所述擦拭臂沿竖向上下移动，所述擦拭海绵随所述擦拭臂移动以抵接或远离所述传输皮带；其中，所述动力组件包括太阳能接收转换模块与直流电机，所述太阳能接收转换模块设置于检测舱室内并用于接收检测舱室内的光源发出的光能，所述太阳能接收转换模块将太阳能转换电能并为所述直流电机供电；所述直流电机的输出端设置有顶升机构，所述擦拭臂的另一端抵接所述顶升机构，所述直流电机通过所述顶升机构驱使所述擦拭臂沿竖向上下移动。2.根据权利要求1所述的一种传输皮带清洁装置，其特征在于，所述太阳能接收转换模块包括太阳能电池板和转换单元，所述太阳能电池板与所述直流电机之间依次通过转换单元和电源线连接，所述太阳能电池板用于接收并积蓄光能，所述转换单元用于将光能转换为电能，所述电源线用于将电能传输给所述直流电机。3.根据权利要求1所述的一种传输皮带清洁装置，其特征在于，所述顶升机构包括齿轮组和安装在所述齿轮组上的传动件，所述齿轮组用于改变直流电机的电机轴的扭矩大小和/或方向后传递给所述传动件，以使所述传动件向所述擦拭臂沿竖向的往复运动的动力。4.根据权利要求3所述的一种传输皮带清洁装置，其特征在于，所述齿轮组包括安...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙彬，徐志群，付明全，周禹，马伟萍，
申请(专利权)人：广东金湾高景太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：