下载一种传输皮带清洁装置的技术资料

文档序号:33790764

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本发明公开一种传输皮带清洁装置,涉及半导体领域,本发明实施例的传输皮带清洁装置直接利用检测舱室内的光能作为能量源,通过太阳能接收转换模块将光能转化为电能为直流电机供电,直流电机通过顶升机构驱使擦拭臂上下移动,擦拭海绵随擦拭臂上下移动实现清洁...
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