一种基于视觉检测的防水型单晶硅片自动剔除装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基于视觉检测的防水型单晶硅片自动剔除装置及方法，该装置包括机械皮带传送系统，用于将单晶硅片输送到检测区域；视觉检测系统，用于捕捉单晶硅片的图像，并通过图像处理技术分析判断单晶硅片有无破片；三轴剔除机构，包括推杆组件、真空吸附单元及倾斜导槽，推杆组件用于在检测到破片时，将不合格的单晶硅片移出生产线，真空吸附单元用于检测并去除皮带上的碎片残留，倾斜导槽用于引导被剔除的单晶硅片滑出；控制系统，用于实现相机触发信号与编码器脉冲同步，控制剔除指令延时，并将设备状态通过OPC UA协议接入MES系统。本发明专利技术可以提升碎片识别准确率，降低良品误剔除率，降低碎片残留率，提升产线综合稼动率，并节约人工成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及工业自动化，具体涉及一种基于视觉检测的防水型单晶硅片自动剔除装置及其方法。

技术介绍

1、在当前的单晶硅片清洗排片生产环节中，碎片与破片的剔除工作主要依赖于人工目检或传统光电传感器检测。随着半导体行业的快速发展，单晶硅片的生产规模不断扩大，对生产效率和产品质量的要求也日益提高。然而，现有的检测技术与方法已难以满足现代生产线的需求，存在诸多亟待解决的问题。

2、首先，人工检测的速度相对较慢，每小时仅能处理约200-300片单晶硅片，这远远无法满足大规模生产的需求。在高速生产线上，人工检测成为制约生产效率的瓶颈。由于人工检测的局限性，漏检率相对较高，通常在5％-8％之间，不仅会导致不合格产品流入后续工序，影响产品质量，还可能增加后续工序的返工成本。长时间的人工检测容易导致检测人员疲劳，进而影响检测精度，疲劳状态下，检测人员可能会出现良品误判的情况，将合格产品误判为不合格产品，造成不必要的浪费。

3、其次，现有自动化设备多采用固定式光电传感器或低帧率摄像头进行检测。然而，这些设备无法适配高速传输皮带(速度≥1m/s)，在高速本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于视觉检测的防水型单晶硅片自动剔除装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

7.一种基于视觉检测的防水型单晶硅片自动剔除方法，其特征在于，该方法应用于如权利要求1至6任一项所述的一种基于视觉检测的防水型单晶硅片自动剔除装置，该方法包括以下步骤：

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于：

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【技术特征摘要】

1.一种基于视觉检测的防水型单晶硅片自动剔除装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

7.一种基于视觉检测的防...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖兵，全晓冬，毕喜行，付明全，徐志群，
申请(专利权)人：广东金湾高景太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：