一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片制造技术

本实用新型专利技术属于硅片制造技术领域，具体的说是一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片，包括垫片；所述垫片插在石英舟顶齿的齿槽内部，所述垫片的顶部开设有弧面；所述弧面在垫片顶部为对称设置；所述垫片的底部设置有支腿；所述支腿在垫片底部设有一对，所述支腿设在垫片底部使垫片呈U字型；通过在石英舟顶齿顶部设有弧面对碎片进行引导，可减少垫片顶部的碎片，减少后续的硅片生产上下料时，因垫片上存在大量碎片而导致的硅片出现崩边的问题，提升良品率。提升良品率。提升良品率。

【技术实现步骤摘要】
一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片


[0001]本技术属于硅片制造
，具体的说是一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片。

技术介绍

[0002]在硅片生产时，需要将硅片架在石英舟顶齿机构上进行加工，而石英舟顶齿的齿槽内部需要安插有垫片来对硅片进行支撑。
[0003]现有的顶齿内部垫片为条形设置，当硅片屑掉落在垫片上时，会在垫片上堆积，影响后续的硅片支撑。
[0004]为此，本技术提供一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片。

技术实现思路

[0005]为了弥补现有技术的不足，解决
技术介绍
中所提出的至少一个技术问题。
[0006]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本技术所述的一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片，包括垫片；所述垫片插在石英舟顶齿的齿槽内部，所述垫片的顶部开设有弧面；所述弧面在垫片顶部为对称设置；在使用时，先将垫片放置在石英舟顶齿的齿槽内部，此时垫片就可对石英舟顶齿齿槽内部的硅片进行支撑，当石英舟顶齿顶部有硅片渣掉落时，会掉落在垫片顶部的弧面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片，其特征在于：包括垫片(11)；所述垫片(11)插在石英舟顶齿(1)的齿槽内部，所述垫片(11)的顶部开设有弧面(12)；所述弧面(12)在垫片(11)顶部为对称设置。2.根据权利要求1所述的一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片，其特征在于：所述垫片(11)的底部设置有支腿(2)；所述支腿(2)在垫片(11)底部设有一对，所述支腿(2)设在垫片(11)底部使垫片(11)呈U字型。3.根据权利要求2所述的一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片，其特征在于：所述支腿(2)的内侧壁开设有开槽(3)；所述开槽(3)内部通过扭簧安装有转杆(31)。4.根据权利要求3所述的一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片，其特征在于：所述转杆(31)中部安装有多组滚轮(...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，顾正亚，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：