一种新型陶瓷变节距硅片放料机构制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种新型陶瓷变节距硅片放料机构，其结构简单，与硅片接触没有印痕，减少划伤出现，并且不易积留碎片残渣；包括底座以及固定在底座端部且与底座垂直的连接板，底座前表面两端上均安装有一块基板，基板上沿基板长度方向安装有一排呈圆柱状的圆棒，同一排相邻圆棒之间具有硅片放置间隙，圆棒轴线垂直于基板。板。板。

【技术实现步骤摘要】
一种新型陶瓷变节距硅片放料机构


[0001]本技术涉及硅片加工附属装置的
，特别是涉及一种新型陶瓷变节距硅片放料机构。

技术介绍

[0002]授权公告号为：CN213414656U，公开了一种硅片放料结构，包括分体设置的陶瓷基板和分隔块，所述陶瓷基板和分隔块依次交替设置，使得相邻两个所述陶瓷基板之间具有硅片放置间隙，所述硅片放置间隙的宽度与所述分隔块的厚度相关，所述分隔块为非陶瓷绝缘块。本技术的硅片放料结构，大大降低制造成本，且可实现变节距放置硅片，具有很好的兼容性。
[0003]上述装置存在以下缺点：采用陶瓷基板和分隔块构成的方形齿状结构，极易对硅片产生印痕，产生划伤，影响硅片质量。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种新型陶瓷变节距硅片放料机构，其结构简单，与硅片接触没有印痕，减少划伤出现，并且不易积留碎片残渣。
[0005]本技术的一种新型陶瓷变节距硅片放料机构，包括底座以及固定在底座端部且与底座垂直的连接板，底座前表面两端上均安装有一块基板，基板上沿基板长度方向安装有一排呈圆柱状本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型陶瓷变节距硅片放料机构，其特征在于，包括底座(1)以及固定在底座(1)端部且与底座(1)垂直的连接板(2)，底座(1)前表面两端上均安装有一块基板(3)，基板(3)上沿基板(3)长度方向安装有一排呈圆柱状的圆棒(4)，同一排相邻圆棒(4)之间具有硅片放置间隙(5)，圆棒(4)轴线垂直于基板(3)。2.如权利要求1所述的一种新型陶瓷变节距硅片放料机构，其特征在于，所述圆棒...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，李圣鹤，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：