一种热交换器制造技术

技术编号:33765385 阅读:31 留言:0更新日期:2022-06-12 14:15
一种热交换器,属于流体输送设备领域。热交换器包括本体、第一连接体、第二连接体和换热管。柱状的本体由第一端至第二端延伸而成且具有沿轴向贯穿分布的通道。第一连接体连接于本体的第一端并封闭通道,并且第一连接体连接有分别与通道流体连通的第一管道、第二管道和第三管道。第二连接体连接于本体的第二端并封闭通道,且第二连接体连接有与通道流体连通的第四管道。换热管被保持于本体的通道内,且具有进液头和出液头;其中进液头与第一管道连接且流体连通,出液头与第二管道连接且流体连通。该热交换器能够被用于有效地降低研磨液输送系统中的研磨液的温度。送系统中的研磨液的温度。送系统中的研磨液的温度。

【技术实现步骤摘要】
一种热交换器


[0001]本申请涉及流体输送设备领域,尤其涉及研磨液输送系统,具体而言,涉及一种热交换器。

技术介绍

[0002]与一般的化学试剂供应系统有所不同,研磨液系统对于温度的要求极高—例如一般要求研磨液的温度为23摄氏度左右。如果温度过高,会导致研磨液结晶,影响药液品质。
[0003]目前,常规的研磨液系统中使用磁浮泵提供输送动力。但是在运行时,磁浮泵的电机会产生热量,从而导致研磨液的温度升高。因此需要对研磨液的温度过高的问题进行控制。

技术实现思路

[0004]为改善、甚至解决研磨液输送系统中的研磨液温度过高的问题,本申请提出了一种热交换器。
[0005]本申请是这样实现的:
[0006]在第一方面,本申请的示例提供了一种用于研磨液输送系统热交换器。该热交换器包括:
[0007]柱状的本体,由第一端至第二端延伸而成,本体具有沿轴向贯穿分布的通道;
[0008]第一连接体,连接于本体的第一端并于第一端封闭通道,第一连接体连接有分别与通道流体连通的第一管道、第二管道和第三管道;
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热交换器,用于研磨液输送系统,其特征在于,所述热交换器包括:柱状的本体,由第一端至第二端延伸而成,且所述本体具有沿轴向贯穿分布的通道;第一连接体,连接于所述本体的第一端并于所述第一端封闭所述通道,所述第一连接体连接有分别与所述通道流体连通的第一管道、第二管道和第三管道;第二连接体,连接于所述本体的第二端并于所述第二端封闭所述通道,所述第二连接体连接有与所述通道流体连通的第四管道;换热管,被保持于所述本体的通道内,且具有进液头和出液头,其中所述进液头与所述第一管道连接且流体连通,所述出液头与所述第二管道连接且流体连通。2.根据权利要求1所述的热交换器,其特征在于,所述热交换器还具有底座,所述底座通过所述第二连接体与所述本体连接。3.根据权利要求2所述的热交换器,其特征在于,所述第二连接体与所述本体可拆卸连接;和/或,所述底座与所述第二连接体可拆卸连接。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:张倩刘嫚玉
申请(专利权)人:江苏正帆半导体设备有限公司
类型:新型
国别省市:

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