闪烁体膜层及其制备方法、平板探测器和探测装置制造方法及图纸

本申请提供了一种闪烁体膜层及其制备方法、平板探测器和探测装置，该闪烁体膜层包括：具有相对布置的第一表面和第二表面的隔离模板层；隔离模板层内沿垂直于第一表面的方向设有多个直径为微米级的注入孔；注入孔靠近所述第一表面的一端为第一端，注入孔靠近第二表面的一端为第二端，第二端在第二表面所在平面内的投影面积小于对应子像素单元的面积；注入孔内填充有用于将射线光转换为可见光的闪烁体晶柱。通过在隔离模板层内布置闪烁体晶柱，利用闪烁体晶柱将射线转换为可见光，同时利用闪烁体晶柱之间的隔离模板层限制可见光的横向串扰，使闪烁体晶柱转换得到的可见光尽可能的只到达对应像素上，提升探测器的空间分辨率。提升探测器的空间分辨率。提升探测器的空间分辨率。

【技术实现步骤摘要】
闪烁体膜层及其制备方法、平板探测器和探测装置


[0001]本申请涉及光电检测
，具体而言，本申请涉及一种闪烁体膜层及其制备方法、平板探测器和探测装置。

技术介绍

[0002]间接式X射线平板探测器作为当前主流探测器产品，其使用的X射线/可见光转换层的主要部件为闪烁体膜层，硫氧化钆(GOS)作为一种典型的闪烁体膜层材料，由于其无毒、生产成本低，制备简单、对于X射线的转换效率高而被广泛的应用在X射线探测器领域。
[0003]但是，本申请的专利技术人发现，类似于GOS这种闪烁体膜层为片状结构的材料而言，在光线转换过程中会导致其转换的可见光出现横向散射，从而影响平板探测器的探测性能。

技术实现思路

[0004]本申请针对现有方式的缺点，提出一种闪烁体膜层及其制备方法、平板探测器和探测装置，以解决现有片状结构的闪烁体膜层存在可见光横向散射的技术问题。
[0005]第一个方面，本申请实施例提供了一种闪烁体膜层，包括：隔离模板层；所述隔离模板层具有相对布置的第一表面和第二表面；所述第一表面用于接收射线，所述第二表面用于射本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种闪烁体膜层，其特征在于，包括：隔离模板层；所述隔离模板层具有相对布置的第一表面和第二表面；所述第一表面用于接收射线，所述第二表面用于射出可见光；所述隔离模板层内沿垂直于所述第一表面的方向设有多个注入孔；所述注入孔靠近所述第一表面的一端为第一端，所述注入孔靠近所述第二表面的一端为第二端，所述第二端在所述第二表面所在平面内的投影面积小于对应子像素单元的面积；所述注入孔内填充有用于将所述射线转换为所述可见光的闪烁体晶柱。2.根据权利要求1所述的闪烁体膜层，其特征在于，所述注入孔的截面为圆形，所述注入孔的孔径由所述第一端向所述第二端的方向逐渐减小。3.根据权利要求2所述的闪烁体膜层，其特征在于，所述注入孔为通孔，所述闪烁体晶柱的两端分别与所述第一表面和所述第二表面平齐。4.根据权利要求2所述的闪烁体膜层，其特征在于，所述注入孔为第一端封闭的盲孔，所述闪烁体晶柱远离所述第一表面的一端与所述第二表面平齐。5.根据权利要求2所述的闪烁体膜层，其特征在于，所述注入孔的第一端的孔径与第二端的孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：王振宇，占香蜜，尚建兴，丁志，
申请(专利权)人：北京京东方传感技术有限公司，
类型：发明
国别省市：