一种激光等离子体三波长干涉诊断装置及其调节方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种激光等离子体三波长干涉诊断装置及其调节方法。装置包括探测光源系统、等离子体激励系统、探测光路系统以及接收系统，将激光激励装置产生的激光等离子体置于马赫—曾德尔干涉装置的探测光路中，探测光源装置产生的白色脉冲光源作为探测光，马赫—曾德尔干涉仪将探测光分为两束，一束穿过激光等离子体区域，另外一束作为参考光，两束光经过马赫—曾德尔干涉仪后相遇，接收系统包括RGB滤光光栅和彩色CCD，相遇后的光通过RGB滤光光栅分为三束不同波长的光，形成三幅干涉条纹图。该装置能够同时获得三幅携带激光等离子体相位信息的干涉条纹图，获取更多的数据图，使结果更加精确、有效且全面。有效且全面。有效且全面。

【技术实现步骤摘要】
一种激光等离子体三波长干涉诊断装置及其调节方法


[0001]本专利技术属于激光等离子体诊断
，涉及激光等离子体参数诊断技术，特别是涉及一种激光等离子体三波长干涉诊断装置及其调节方法。

技术介绍

[0002]激光等离子体的诊断技术主要对等离子体参数如等离子体温度、等离子体密度、电子能量分布函数、离子能量、各种离子与激发基团等进行诊断，它们影响着等离子体与材料相互作用的物理、化学过程，决定了最终材料的结构和性能。目前比较常用的诊断技术可以分为离位技术和原位技术两大类。离位技术是将反应器中的等离子体取样引出，然后再用仪器检测，主要有电子顺磁共振。原位技术包括侵入式和非侵入式方法。侵入式诊断技术对等离子体有扰动，如朗缪尔探针技术；非侵入式诊断技术又分为干涉诊断和非干涉诊断，非干涉探测包括光学阴影法、纹影法、高速摄影法、光谱法等。
[0003]在现有的诊断技术中，激光干涉法具有纳秒级时间分辨率、微米级空间分辨率，能够观察到等离子体内部精细结构，获得等离子体电子密度、电子温度、扩散速度、等离子体形貌特征等丰富参数，基于等离子体轴对称分布还能获本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光等离子体三波长干涉诊断装置，其特征在于，包括探测光源系统、激光等离子体激发系统、干涉光路系统以及接收系统，所述探测光源系统用于产生探测光源，所述激光等离子体激发系统用于产生待测激光等离子体，所述干涉光路系统用于接收所述探测光源，所述接收系统用于产生携带激光等离子体相位信息的三束相干光；所述干涉光路系统包括第一平面分束镜P1、第一平面反射镜M1、第二平面分束镜P2以及第二平面反射镜M2，所述探测光源经过第一平面分束镜P1分为两束光，一束经过所述待测激光等离子体、第一平面反射镜M1、第二平面分束镜P2作为测量光；另一束经过第二平面反射镜M2、第二平面分束镜P2作为参考光，参考光与测量光经过第二平面分束镜P2后再次相遇，合成一束光进入接收系统；所述接收系统包括第四聚焦透镜(8)、RGB滤光光阑(9)、彩色CCD(10)，所述干涉光路系统出来的光通过第四聚焦透镜(8)和RGB滤光光阑(9)，形成携带激光等离子体相位信息的三束相干光，随后所述三束相干光进入彩色CCD(10)，彩色CCD与电脑相连，实时的显示出干涉条纹图像。2.根据权利要求1所述的激光等离子体三波长干涉诊断装置，其特征在于，所述探测光源系统包括第一激光器(1)、第一聚焦透镜(2)、凹面反射镜(3)以及第二聚焦透镜(4)，所述第一聚焦透镜(2)、凹面反射镜(3)与第二聚焦透镜(4)焦点位于同一位置，第一激光器(1)发射的激光通过第一聚焦透镜(2)聚焦在空气中，在焦点区域引起光学击穿，产生激光等离子体，伴随着产生的白闪光作为探测光源经过第二聚焦透镜(4)进入所述干涉光路系统中。3.根据权利要求2所述的激光等离子体三波长干涉诊断装置，其特征在于，所述激光等离子体激发系统包括第二激光器(6)、第三聚焦透镜(7)，第二激光器(6)通过第三聚焦透镜(7)聚焦在空气中，诱导空气击穿，形成的激光等离子体作为待测激光等离子体。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：张宏超，武子凤，陆健，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：发明
国别省市：