一种焊点电迁移的测量方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供了一种焊点电迁移的测量方法及装置，该方法包括：根据一个或多个焊点两端引出的电压测量节点确定该一个或多个焊点间的菊花子链的电压；根据该电压确定该一个或多个焊点的电阻，可以解决相关技术中通过两端法检测焊点电阻无法实现单个焊点电阻测量的问题，可以策略单个焊点的电阻，可以实现对焊点电迁移失效展开有效的可靠性评估。对焊点电迁移失效展开有效的可靠性评估。对焊点电迁移失效展开有效的可靠性评估。

【技术实现步骤摘要】
一种焊点电迁移的测量方法及装置


[0001]本专利技术实施例涉及半导体金属电迁移测试
，具体而言，涉及一种焊点电迁移的测量方法及装置。

技术介绍

[0002]焊点电迁移寿命是评估封装及板级可靠性的重要指标之一，焊点电迁移加速寿命测试的有效测试结构存在多种选择，而串联焊点的菊花链是较常见的测试结构之一。
[0003]图1是相关技术中的菊花链的示意图，如图1所示，封装及板级焊点菊花链设计属于单纯将焊点串接的单链，存在以下几个方面的缺陷：
[0004]由于传统菊花链只有两个端点，为了满足测试系统电阻量测精度的要求(R
min
)，需要设计一定长度的菊花链。由于传统菊花链采取两端法测量电阻，只能测量整条菊花链的总电阻，而非单个焊点电阻。
[0005]针对相关技术中通过两端法检测焊点电阻无法实现单个焊点电阻测量的问题，尚未提出解决方案。

技术实现思路

[0006]本专利技术实施例提供了一种焊点电迁移的测量方法及装置，以至少解决相关技术中通过两端法检测焊点电阻无法实现单个焊点电阻测量的问题。
[0007]根据本专利技术的一个实施例，提供了一种焊点电迁移的测量装置，包括：电源、控制器，电压测量结构、其中，所述电源分别与所述控制器、所述电压测量结构并联，所述电压测量结构包括上层基板、下层基板，所述上层基板与所述下层基板上的金属连线通过多个焊点串接形成菊花链，在所述多个焊点的两端均引出电压测量节点，所述电压测量节点分别设置于所述上层基板与所述下层基板的外侧，
>[0008]所述电压测量结构，用于在所述控制器的控制下，通过所述电压测量节点测量一个或多个焊点间的菊花子链的电压；
[0009]所述控制器，用于根据所述电压确定所述一个或多个焊点的电阻。
[0010]在一实施例中，所述控制器，还用于选择满足最小测试精度的第一菊花子链与第二菊花子链，其中，所述第一菊花子链与第二菊花子链的两端焊点均为第一焊点与第二焊点，所述第一菊花子链多所述第二菊花子链多一个目标焊点，所述目标焊点为所述第一焊点，所述第一菊花子链包括的焊点数大于或等于预先确定的最短菊花子链上的焊点数；
[0011]根据所述第一焊点对应的电压测量节点测量所述第一焊点的第一电压与第二电压，并根据所述第二焊点对应的电压测量节点测量所述第二焊点的第一电压与第二电压；
[0012]根据所述第一焊点的第一电压与第二电压、所述第二焊点的第一电压与第二电压确定所述目标焊点的电阻。
[0013]在一实施例中，所述控制器，还用于获取输入所述菊花链的电流；
[0014]根据所述第二焊点的第二电压与所述第一焊点的第一电压确定所述第一菊花子
链的电阻；
[0015]根据所述第二焊点的第二电压与所述第一焊点的第二电压确定所述第二菊花子链的电阻；
[0016]将所述第一菊花子链的电阻与所述第二菊花子链的电阻的差值确定为所述目标焊点的电阻。
[0017]在一实施例中，所述控制器，还用于将所述第二焊点的第二电压与所述第一焊点的第一电压的第一差值，将所述第一差值与所述电流的比值确定为所述第一菊花子链的电阻；
[0018]将所述第二焊点的第二电压与所述第一焊点的第二电压的第二差值，将所述第二差值与所述电流的比值确定为所述第二菊花子链的电阻。
[0019]在一实施例中，所述控制器，还用于获取电阻测量下限值，并获取焊点的电阻初始值，其中，所述电阻初始值为所述焊点的电阻实测值或电阻理论值；
[0020]根据所述电阻测量下限值与所述电阻初始值确定满足所述电阻测量下限值的所述最短菊花子链上的焊点数。
[0021]在一实施例中，所述控制器，还用于根据所述最短菊花子链上的焊点数确定所述菊花链的最小焊点数。
[0022]在一实施例中，在所述多个焊点的两端均通过通孔引出所述电压测量节点。
[0023]在一实施例中，所述多个焊点之间的所述金属连线的大小和长度相同。
[0024]根据本专利技术的另一个实施例，还提供了一种焊点电迁移的测量方法，包括：
[0025]根据一个或多个焊点两端引出的电压测量节点确定所述一个或多个焊点间的菊花子链的电压；
[0026]根据所述电压确定所述一个或多个焊点的电阻。
[0027]在一实施例中，根据一个或多个焊点两端引出的电压测量节点确定所述一个或多个焊点间的菊花子链的电压包括：
[0028]选择满足最小测试精度的第一菊花子链与第二菊花子链，其中，所述第一菊花子链与第二菊花子链的两端焊点均为第一焊点与第二焊点，所述第一菊花子链多所述第二菊花子链多一个目标焊点，所述目标焊点为所述第一焊点，所述第一菊花子链包括的焊点数大于或等于预先确定的最短菊花子链上的焊点数；
[0029]根据所述第一焊点对应的电压测量节点测量所述第一焊点的第一电压与第二电压，并根据所述第二焊点对应的电压测量节点测量所述第二焊点的第一电压与第二电压；
[0030]根据所述第一焊点的第一电压与第二电压、所述第二焊点的第一电压与第二电压确定所述目标焊点的电阻。
[0031]在一实施例中，根据所述第一焊点的第一电压与第二电压、所述第二焊点的第一电压与第二电压确定所述目标焊点的电阻包括：
[0032]获取输入所述菊花链的电流；
[0033]根据所述第二焊点的第二电压与所述第一焊点的第一电压确定所述第一菊花子链的电阻；
[0034]根据所述第二焊点的第二电压与所述第一焊点的第二电压确定所述第二菊花子链的电阻；
[0035]将所述第一菊花子链的电阻与所述第二菊花子链的电阻的差值确定为所述目标焊点的电阻。
[0036]在一实施例中，根据所述第二焊点的第二电压与所述第一焊点的第一电压确定所述第一菊花子链的电阻包括：
[0037]将所述第二焊点的第二电压与所述第一焊点的第一电压的第一差值，将所述第一差值与所述电流的比值确定为所述第一菊花子链的电阻；
[0038]根据所述第二焊点的第二电压与所述第一焊点的第二电压确定所述第二菊花子链的电阻包括：
[0039]将所述第二焊点的第二电压与所述第一焊点的第二电压的第二差值，将所述第二差值与所述电流的比值确定为所述第二菊花子链的电阻。
[0040]在一实施例中，在选择满足最小测试精度的第一菊花子链与第二菊花子链之前，所述方法还包括：
[0041]获取电阻测量下限值，并获取焊点的电阻初始值，其中，所述电阻初始值为所述焊点的电阻实测值或电阻理论值；
[0042]根据所述电阻测量下限值与所述电阻初始值确定满足所述电阻测量下限值的所述最短菊花子链上的焊点数。
[0043]在一实施例中，在根据所述电阻测量下限值与所述电阻初始值确定满足所述电阻测量下限值的所述最短菊花子链上的焊点数之后，所述方法还包括：
[0044]根据所述最短菊花子链上的焊点数确定所述菊花链的最小焊点数。
[0045]根据本专利技术的又一个实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种焊点电迁移的测量装置，其特征在于，包括：电源、控制器，电压测量结构、其中，所述电源分别与所述控制器、所述电压测量结构并联，所述电压测量结构包括上层基板、下层基板，所述上层基板与所述下层基板上的金属连线通过多个焊点串接形成菊花链，在所述多个焊点的两端均引出电压测量节点，所述电压测量节点分别设置于所述上层基板与所述下层基板的外侧，所述电压测量结构，用于在所述控制器的控制下，通过所述电压测量节点测量一个或多个焊点间的菊花子链的电压；所述控制器，用于根据所述电压确定所述一个或多个焊点的电阻。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制器，还用于选择满足最小测试精度的第一菊花子链与第二菊花子链，其中，所述第一菊花子链与第二菊花子链的两端焊点均为第一焊点与第二焊点，所述第一菊花子链多所述第二菊花子链多一个目标焊点，所述目标焊点为所述第一焊点，所述第一菊花子链包括的焊点数大于或等于预先确定的最短菊花子链上的焊点数；根据所述第一焊点对应的电压测量节点测量所述第一焊点的第一电压与第二电压，并根据所述第二焊点对应的电压测量节点测量所述第二焊点的第一电压与第二电压；根据所述第一焊点的第一电压与第二电压、所述第二焊点的第一电压与第二电压确定所述目标焊点的电阻。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述控制器，还用于获取输入所述菊花链的电流；根据所述第二焊点的第二电压与所述第一焊点的第一电压确定所述第一菊花子链的电阻；根据所述第二焊点的第二电压与所述第一焊点的第二电压确定所述第二菊花子链的电阻；将所述第一菊花子链的电阻与所述第二菊花子链的电阻的差值确定为所述目标焊点的电阻。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述控制器，还用于将所述第二焊点的第二电压与所述第一焊点的第一电压的第一差值，将所述第一差值与所述电流的比值确定为所述第一菊花子链的电阻；将所述第二焊点的第二电压与所述第一焊点的第二电压的第二差值，将所述第二差值与所述电流的比值确定为所述第二菊花子链的电阻。5.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述控制器，还用于获取电阻测量下限值，并获取焊点的电阻初始值，其中，所述电阻初始值为所述焊点的电阻实测值或电阻理论值；根据所述电阻测量下限值与所述电阻初始值确定满足所述电阻测量下限值的所述最短菊花子链上的焊点数。6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述控制器，还用于根据所述最短菊花子链上的焊点数确定所述菊花链的最小焊点数。7.根据权利要求1至6中任一项所述的测量装置，其特征在于，
在所述多个焊点的两端均通过通孔引出所述电压测量节点。8.根据权利要求1至6中任一项所述的测量装置，其特征在于，所述多个焊点之间的所述金属连线的大小和长度相同。9.一种焊点电迁移的测量方法，其特征在于，包括：根据一个或多个焊点两端引出的电压测量节点确定所述一个或多个焊点间的菊花子链的电压；根据所述电压确定所述一个或多个焊点的电阻。10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，根据一个或多个焊...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙钮一，杨丹，梅娜，孙拓北，
申请(专利权)人：深圳市中兴微电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：