组成叠瓦电池的电池片的制造方法技术

本发明专利技术公开了一种组成叠瓦电池的电池片的制造方法，包括：对硅片进行制绒以在硅基底的表面形成绒面；扩散处理，以在绒面外形成扩散层；用第一预设波长的激光对硅片的副栅区域进行局部掺杂；用第二预设波长的激光对硅片进行划片，以在硅片的扩散层所在侧的表面形成分隔槽；刻蚀清洗；氧化处理，以在硅片的表面以及分隔槽表面形成氧化层。这样，在完成丝网印刷后，无需再进行激光划片，整片电池可以直接进行机械掰片，电池会从第二波长的激光划片得到的分隔槽裂开，被掰开后得到的多个小片电池的空间电荷区由氧化硅钝化，有效降低了边缘复合。由于在划片后还进行了氧化工序，因此分隔槽的内表面被钝化，电池小片的电学性能得到了提升。提升。提升。

【技术实现步骤摘要】
组成叠瓦电池的电池片的制造方法


[0001]本专利技术涉及光伏电池制造领域，尤其是涉及一种组成叠瓦电池的电池片的制造方法。

技术介绍

[0002]随着太阳能电池的发展，组件转换效率逐步走高，高密度组件市场份额逐渐走高。制备高密度组件，通常需要进行切片后进行叠片或者拼片，而制备小片的过程中，切片区域尤其是空间电荷区会成为高复合区域，如果不进行额外的钝化处理，将严重影响小片的电性能参数，从而影响整个组件的功率输出。
[0003]如图1和图2所示，制绒工序后得到绒面11
’
，扩散工序后再表面形成扩散层20
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，对成品电池片使用激光切片，通常从硅基底10
’
的背面进行划片以得到背面开槽30
’
，背面开槽30
’
的深度约为电池片厚度的一半，然后使用机械方式掰开，避免激光直接切到空间电荷区60
’
，电池小片的边沿位置形成为机械裂片区70
’
。
[0004]切片、掰片后的电池小片直接进行交叠，边缘未作钝化。激光切割区域本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种组成叠瓦电池的电池片的制造方法，其特征在于，包括：对硅片进行制绒以在硅基底的表面形成绒面；扩散处理，以在所述绒面外形成扩散层；用第一预设波长的激光对所述硅片的副栅区域进行局部掺杂；用第二预设波长的激光对所述硅片进行划片，以在所述硅片的扩散层所在侧的表面形成分隔槽，所述分隔槽用于在后续掰片工序中将所述硅片分割成多片；刻蚀清洗；氧化处理，以在所述硅片的表面以及所述分隔槽表面形成氧化层。2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述分隔槽的深度大于所述扩散层的深度。3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述分隔槽的深度为所述硅片深度的1/4-1/2。4.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述分隔槽的宽度为15um-50um，所述分隔槽的深度为20um-80um。5.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述第二预设波长为1064nm，所述第二预设波长的功率为...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈曦，崔巍，王俊，张楚风，吴坚，
申请(专利权)人：阿特斯阳光电力集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：