等离子喷射装置、喷涂设备及太阳能电池制造设备制造方法及图纸

本申请公开了一种等离子喷射装置、喷涂设备及太阳能电池制造设备，等离子喷涂设备包括电离喷射机构、气体输送通道以及介质输送机构。气体输送通道与电离喷射机构连通并用于向电离喷射机构输送气体，电离喷射机构用于电离气体。介质输送机构包括送料通道以及设于送料通道中的螺旋送料器，送料通道与电离喷射机构连通，螺旋送料器用于将送料通道内的介质输送至电离喷射机构中，以将介质熔化并喷出。本申请实施例提供的等离子喷射装置、喷涂设备及太阳能电池制造设备，能够精确控制介质喷出量，解决介质喷射量无法精确控制导致的成膜质量低的问题。低的问题。低的问题。

【技术实现步骤摘要】
等离子喷射装置、喷涂设备及太阳能电池制造设备


[0001]本申请涉及电池制造设备领域，特别是涉及一种等离子喷射装置、喷涂设备及太阳能电池制造设备。

技术介绍

[0002]太阳能电池是一种利用光生伏特效应将太阳能直接转化为电能的器件。迄今为止，已研制出了很多种类的太阳能电池。包括：单晶硅太阳能电池、多晶硅太阳能电池、非晶硅太阳能电池、化合物半导体太阳能电池等。
[0003]太阳能电池制造过程中，通常使用热喷涂技术将光能吸收材料喷射至基材上。热喷涂技术是利用热源将喷涂材料迅速加热到熔融或半熔融状态，在经过高速气流或焰流将其雾化加速喷射到预处理过的工件表面上，从而形成涂层的一种表面加工方法，根据热源的不同，可将热喷涂分为电弧喷涂、等离子喷涂、爆炸喷涂等。但是，现有的喷涂设备无法调节介质的喷射量。

技术实现思路

[0004]鉴于上述问题，本申请提供一种等离子喷射装置、喷涂设备及太阳能电池制造设备，能够解决介质喷射量无法精确控制的问题。
[0005]第一方面，本申请提供了一种等离子喷射装置，包括电离喷射机构、气体输送通道和介质本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子喷射装置，其特征在于，包括电离喷射机构；气体输送通道，与所述电离喷射机构连通并用于向所述电离喷射机构输送气体，所述电离喷射机构用于电离所述气体；以及，介质输送机构，包括送料通道以及设于所述送料通道中的螺旋送料器，所述送料通道与所述电离喷射机构连通，所述螺旋送料器用于将所述送料通道内的介质输送至所述电离喷射机构中，以将所述介质熔化并喷出。2.根据权利要求1所述的等离子喷射装置，其特征在于，还包括连接于所述螺旋送料器一端的驱动器。3.根据权利要求1所述的等离子喷射装置，其特征在于，所述气体输送通道具有入口以及出口，所述入口用于连接气源，所述出口与所述电离喷射机构连通。4.根据权利要求3所述的等离子喷射装置，其特征在于，所述入口设有用于控制所述气体流量的控制阀。5.根据权利要求1
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4中任意一项所述的等离子喷射装置，其特征在于，所述电离喷射机构包括，阳极枪头，设于所述送料通道的一端，且具有与所述送料通道连通的第一腔体；阴极枪头，设置于所述阳极枪头远离所述送料通道的一端，所述阴极枪头设有第二腔体，所述第二腔体与所述第一腔体连通并形成用于电离所述气体的电离空腔。6.根据权利要求5所述的等离子喷射装置，其特征在于，所述阴极枪头远离所述阳极枪头的一端还连接有喷射枪头，所述喷...

【专利技术属性】
技术研发人员：林维乐，陈国栋，刘召辉，王燕东，郭永胜，
申请(专利权)人：宁德时代新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：