【技术实现步骤摘要】
一种印刷矫正装置
[0001]本申请涉及硅片印刷
,尤其是涉及一种印刷矫正装置。
技术介绍
[0002]随着半导体设备行业数十年来的技术积累,硅片印刷机已广泛应用于硅片的印刷生产,经过多年的发展,硅片印刷机在精度和自动化方面有了很大进步,具备了在微米级尺寸上重复进行多次印刷的能力。印刷硅片的最关键的步骤之一是在硅片的正面和背面制造非常精细的电路,这种金属镀膜工艺通常由丝网印刷技术来完成,即将含有金属的导电浆料透过丝网网孔压印在硅片上形成电路或电极。
[0003]相关技术中,硅片在印刷作业时,工作人员一般通过目测的方式先将固定硅片的模具放置在硅片印刷机下方,再将实验硅片放置在模具上,由硅片印刷机对硅片进行印刷作业。当模具位置偏移时,实验硅片上印刷的电路位置将会产生移位,需要多次依据实验硅片上电路是否偏移来检测模具位置是否正确,硅片浪费率高,亟待改进。
技术实现思路
[0004]为了改善硅片浪费率高的问题,本申请提供一种印刷矫正装置。
[0005]本申请提供的一种印刷矫正装置采用如下的技术方案: ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种印刷矫正装置,包括工作台(1)以及设置在工作台(1)上的模具(2),所述模具(2)上开设有检测区,其特征在于,还包括架设在工作台(1)上的检测组件(3),所述检测组件(3)包括:采集模块(31),包括采集摄像头(311),所述采集摄像头(311)预先与硅片印刷机上设置的参考采集区进行匹配,所述采集摄像头(311)采集所述检测区的位置,并输出位置检测信号;处理模块(32),接收并存储所述位置检测信号,用于分析并计算出模具(2)的偏移数据量;显示模块(33),包括显示屏(331),配置为与所述处理模块(32)的输出端数据连接,接收并展示所述偏移数据量;供电模块(34),用于对所述采集模块(31)、所述处理模块(32)以及所述显示模块(33)供电。2.根据权利要求1所述的一种印刷矫正装置,其特征在于:所述供电模块(34)包括直流电源单元(341)和滤波单元(342),所述直流电源单元(341)的输出端与滤波单元(342)的输入端信号连接,所述滤波单元(342)的输出端与所述采集模块(31)的输入端信号连接。3.根据权利要求2所述的一种印刷矫正装置,其特征在于:所述滤波单元(342)包括直流滤波器,所述直流滤波器输入端与直流电源单元(341)的输入端信号连接,且所述直流滤波器将滤波后的电压和电流输出。4.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:印晴佳,庞晓辉,
申请(专利权)人:上海鹰卫精密机械有限公司,
类型:新型
国别省市:
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