一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机制造技术

本实用新型专利技术实施例提供了一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，设置在真空腔室中，包括蒸镀机构和转向机构，其中，蒸镀机构包括蒸镀架，竖直安装在真空腔室的内，在蒸镀架上设置有放卷部和收卷部，在放卷部和收卷部之间设置有多个蒸镀源，转向机构包括多个转向辊，分别安装在所述蒸镀架的两侧，用于对蒸镀的薄膜进行转向，使薄膜依次经过多个蒸镀源进行双面蒸镀，本申请通过蒸镀架和真空腔体配合镀膜，通过调整蒸镀架的位置来调节走膜组件之间的薄膜段的张力，以提高薄膜蒸镀质量。以提高薄膜蒸镀质量。以提高薄膜蒸镀质量。

【技术实现步骤摘要】
一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体涉及一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机。

技术介绍

[0002]蒸镀是指将待蒸镀材料放置在坩埚等耐高温容器里，加热使其融化，从而使得待蒸镀材料气化，沉积在路过的薄膜上。现有技术中，辊等走膜组件全部安装在真空壁上，如果想要调整走膜过程中薄膜在各个走膜组件之间的张力，或者需要更换配件时，需要工作人员爬上真空腔体壁，既不便于操作，而且有一定危险性。
[0003]基于此，本技术设计了一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术实施例的目的在于提供一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，以解决现有技术便于调整走膜过程中各个走膜组件之间薄膜的张力，以及易于更换配件的技术问题。
[0005]为达上述目的，本技术提供了一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，所述双面薄膜蒸镀机设置在真空腔室中，包括蒸镀机构和转向机构，其中，
[0006]所述蒸镀机构包括：
[0007]蒸镀架，沿竖直方向安装在所述真空腔室本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，其特征在于，所述双面薄膜蒸镀机设置在真空腔室中，包括蒸镀机构和转向机构，其中，所述蒸镀机构包括：蒸镀架(10)，沿竖直方向安装在所述真空腔室的内部；以及在所述蒸镀架(10)上设置有放卷部(11)和收卷部(12)，在所述放卷部(11)和所述收卷部(12)之间设置有多个蒸镀源；所述转向机构包括：多个转向辊，分别位于所述蒸镀架(10)的两侧。2.根据权利要求1所述的一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，其特征在于，所述多个转向辊包括：第一转向辊(21)和第二转向辊(22)，位于所述蒸镀架(10)的第一侧，并安装于所述真空腔室的侧壁上；第三转向辊(23)和第四转向辊(24)，位于所述蒸镀架(10)的第二侧，并安装于所述真空腔室的侧壁上；所述多个蒸镀源包括：第一蒸镀源(13)和第二蒸镀源(14)，分别与所述蒸镀架(10)可上下移动的连接，且在竖直方向上的高度依次递增。3.根据权利要求2所述的一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，其特征在于，所述第一转向辊(21)、所述第二转向辊(22)、所述第三转向辊(23)和所述第四转向辊(24)的两端设置有旋转接头，通过两端的旋转接头分别与所述真空腔室的侧壁转动连接。4.根据权利要求2所述的一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，其特征在于，所述第一转向辊(21)的顶部切面和所述第三转向辊(23)的底部切面在同一水平面上；所述第二转向辊(22)的底部切面和所述第四转向辊(24)的顶部切面在同一个水平面上。5.根据权利要求4所述的一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，其特征在于，所述真空腔室底部设置有可移动机构，所述可移动机构位于所述蒸镀架(10)两侧的多个转向辊之间，所述蒸镀架(10)通过所述可移动机构与真空腔室底部连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，
申请(专利权)人：重庆金美新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：