一种金属蒸镀机下货装置上的保护结构制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种金属蒸镀机下货装置上的保护结构，包括轴承固定件、轴承和镀锅连接件，轴承的内圈或外圈通过轴承固定件固定于下货装置的支撑管上，且镀锅连接件相应的固定于轴承的外圈或内圈上，镀锅连接件于轴承背向下货装置支撑管的一侧与镀锅固定轴可拆卸连接；本实用新型专利技术的一种金属蒸镀机下货装置上的保护结构中设置轴承，轴承的内外圈分别通过轴承固定件和镀锅连接件将保护结构固定在下货装置上以及连接镀锅，通过轴承旋转下货，转动过程中不会磨损镀锅的固定轴，能够减少粉尘的产生，避免了下货时造成片源污染。避免了下货时造成片源污染。避免了下货时造成片源污染。

【技术实现步骤摘要】
一种金属蒸镀机下货装置上的保护结构


[0001]本技术涉及半导体
，具体涉及一种金属蒸镀机下货装置上的保护结构。

技术介绍

[0002]目前的金属蒸镀机采用真空蒸镀技术形成膜层，在真空环境下加热金属材料，使材料升华，基板放置在三个半圆形的镀锅上，通过镀锅在腔体内公转和自转，使得材料附着在基板表面更加均匀。镀锅在腔体内通过背面的固定轴与腔体的三爪支架镶嵌固定，制程结束后镀锅放置在下货装置上下货。下货过程中镀锅与下货装置摩擦，镀锅背面固定轴的轴心长时间摩擦使得轴心表面凸起被磨平，无法装到三爪支架上。而且摩擦还会有粉尘掉落在镀锅背面上，在制程过程中容易带入腔体，并掉落在基板表面，从而影响片源质量。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是：提供一种金属蒸镀机下货装置上的保护结构，使镀锅与下货装置没有直接接触不产生摩擦，保护镀锅固定轴的完整。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：
[0005]一种金属蒸镀机下货装置上的保护结构，包括轴承固定件、轴承和镀锅连接件，所述轴承的内圈或外圈通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属蒸镀机下货装置上的保护结构，其特征在于，包括轴承固定件、轴承和镀锅连接件，所述轴承的内圈或外圈通过所述轴承固定件固定于下货装置的支撑管上，且所述镀锅连接件相应的固定于所述轴承的外圈或内圈上，所述镀锅连接件于所述轴承背向下货装置支撑管的一侧与镀锅固定轴可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的一种金属蒸镀机下货装置上的保护结构，其特征在于，所述轴承固定件为轴承座，所述轴承座的侧面呈T形且内部开槽，所述轴承座的底端套设在下货装置的支撑管上，所述轴承固定在所述轴承座的顶端开槽内。3.根据权利要求2所述的一种金属蒸镀机下...

【专利技术属性】
技术研发人员：林亮，郑诗辉，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：