一种氟氮混合气中氟含量的测试方法技术

本发明专利技术属于气体分析技术领域，具体关于一种氟氮混合气中氟含量的测试方法；该装置包括供气装置、计量装置、吸附装置、真空装置。计量装置、吸附装置、真空装置通过管道、手阀、限流孔板依次相连。计量后的氟氮混合气通入吸收装置进行反应，反应结束计量剩余的气体，根据进入吸附装置前后体积的变化测试氟氮混合气中氟含量，可以直接根据读数计算分析结果，本方法具有装置结构简单，投资少，可实现工业化；安全环保无污染，操作简单；方法转化效率高，测试精度高等优点。精度高等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种氟氮混合气中氟含量的测试方法


[0001]本专利技术属于气体分析
，具体涉及一种氟氮混合气中氟含量的测试装置及方法。

技术介绍

[0002]氟气是一种极具腐蚀性的淡黄色双原子气体，具有强烈的刺激性气味，也是很强的氧化剂，在常温下，它几乎能和所有的元素化合，并产生大量的热能。
[0003]目前电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟气用于制备六氟化铀、六氟化硫、三氟化硼、二氟化银、三氟化钴和三氟化镁等氟化物，也可用于激光气或塑料氟化处理等领域。氟氮混合气体为体积比为20％以下氟气含量的氟气和氮气混合物的统称，其在电子芯片制造领域用于芯片设备腔体清洗，氟气纯度在99.9％以上；在氟塑料尤其是电子行业用于含氟塑料如PFA、PTFE、FEP等端基处理及高分子塑料的表面氟化等。
[0004]上述过程中氟气浓度的控制对上述的过程具有指导性作用，因此，在生产时对氟气的检测至关重要。
[0005]目前国标GB/T 26251《氟和氟氮混合气》中通过将F2转化为氯气，后对氯气用气相色谱仪进行测试，上述方法有转化效率不高且氯气为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氟氮混合气中氟含量的测试方法，其特征在于，包括：供气装置、计量装置、吸附装置和真空装置。2.根据权利要求1所述的一种氟氮混合气中氟含量的测试方法，其特征在于：所述供气装置:由减压阀、控制阀组成用于输出氟氮混合气及氮气及吹扫用的吹扫气；计量装置：由控制阀、压力传感器等组成；用于反应前后气体的计量；吸附装置：由控制阀、吸附塔等组成；吸附装置由两个并联的吸附塔组成；吸附塔内部装有反应填料，用于将氟氮混合气中的氟气充分反应；真空装置：由真空泵、缓冲罐、压力传感器、控制阀等组成，用于整体装置的置换。3.根据权利要求1所述的一种氟氮混合气中氟含量的测试方法，其特征在于：所述供气装置、计量装置、吸附装置、真空装置通过设有控制阀的管路依次连通。4.根据权利要求1所述的一种氟氮混合气中氟含量的测试方法，其特征在于：所述的供气装置由样品气供气装置和吹扫气供气装置组成，来自工艺的氟氮气通过依次设有调节阀和控制阀的主管路与真空装置连通，吹扫装置用的吹扫气通过依次设有调节阀和控制阀的第一旁路与主管路连通。5.根据权利要求1所述的一种氟氮混合气中氟含量的测试方法，其特征在于：所述的计量装置由来自第二旁路的压力传感器和控制阀组成...

【专利技术属性】
技术研发人员：李金娥，付铁柱，李军，陈刚，明博，贺辉龙，张学良，
申请(专利权)人：浙江博瑞中硝科技有限公司，
类型：发明
国别省市：