下载一种氟氮混合气中氟含量的测试方法的技术资料

文档序号:33744915

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本发明属于气体分析技术领域,具体关于一种氟氮混合气中氟含量的测试方法;该装置包括供气装置、计量装置、吸附装置、真空装置。计量装置、吸附装置、真空装置通过管道、手阀、限流孔板依次相连。计量后的氟氮混合气通入吸收装置进行反应,反应结束计量剩余的...
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