一种耐高温磁性流体密封装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种耐高温磁性流体密封装置，包括磁流体密封组件，所述的磁流体密封组件集成在一本体轴上，所述的磁流体密封组件下方的本体轴上集成有传动机构组件，所述的磁流体密封组件和传动机构组件外部设置有一带冷却结构的基座，所述的传动机构组件下方的本体轴上设置有本体轴冷却密封组件，所述的本体轴冷却密封组件与本体轴内部连通形成本体轴冷却系统；所述的本体轴的下部还设置有自锁组件。该耐高温磁性流体密封装置，磁流体密封区位置的内径部位、外径部位均设有循环冷却结构，能够适应在高温范围的环境下长期工作。而且结构集成度高、稳定性好，适合更精密的长轴长行程设备真空密封。长行程设备真空密封。长行程设备真空密封。

【技术实现步骤摘要】
一种耐高温磁性流体密封装置


[0001]本技术涉及磁性流体密封装置
，尤其是一种在高温环境下，主轴超长行程升降和旋转时保证真空密封性的磁性流体密封装置。

技术介绍

[0002]磁性流体密封装置可以将旋转运动从大气侧输入真空侧，并保证真空密封性的装置。在半导体、单晶炉、真空镀膜等行业的真空高温设备中，真空室内部温度高，长期高温环境下工作的磁性流体密封装置，需要有冷却结构延长装置的使用寿命。现有技术冷却方式有：基座进流冷却（包含基座进流冷却磁流体密封组件）和轴进流冷却。对于实心轴类型的磁性流体密封装置，从基座通入冷却流，进入磁流体密封磁极外径上的环形流道冷却磁液。旋转轴冷却结构是通过流冷轴大气侧轴端中心螺纹孔，联接旋转接头，进出冷却流。
[0003]对于空心轴类型的磁性流体密封装置，例如单晶炉设备的坩埚部件旋转和升降用磁性流体密封装置。磁性流体密封装置的空心本体轴内径与设备坩埚轴装配，静密封用压缩O形圈密封。空心的磁流体本体轴无冷却结构，设备主轴带冷却结构，主轴联接旋转接头，进出冷却流。通常设备主轴与空心轴磁流体密封装置没有轴向相对运本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种耐高温磁性流体密封装置，包括磁流体密封组件（3），其特征在于：所述的磁流体密封组件（3）集成在一本体轴（1）上，所述的磁流体密封组件（3）下方的本体轴（1）上集成有传动机构组件（4），所述的磁流体密封组件（3）和传动机构组件（4）外部设置有一带冷却结构的基座（2），所述的传动机构组件（4）下方的本体轴（1）上设置有本体轴冷却密封组件（6），所述的本体轴冷却密封组件（6）与本体轴内部连通形成本体轴冷却系统；所述的本体轴（1）的下部还设置有自锁组件（28）。2.根据权利要求1所述的一种耐高温磁性流体密封装置，其特征在于：所述的本体轴（1）内部设置有若干进流道（10）和若干出流道（11）；所述的本体轴（1）下部设置有径向进流口（7）和径向出流口（8）；所述的本体轴（1）的上部设置有环形流槽（9）。3.根据权利要求2所述的一种耐高温磁性流体密封装置，其特征在于：所述的本体轴包括一本体轴主体（101）和一密封连接在本体轴主体上端的本体轴水套（102），所述的本体轴水套（102）内部设置有腔体，腔体构成环形流槽（9），在环形流槽（9）内部间隔均布有多个长导流隔板（103），将环形流槽（9）分隔为若干独立槽体单元（12），相邻每组独立槽体单元（12）之间不连通，每组独立槽体单元（12）内部分别设置有短导流隔板（104），所述的短导流隔板（104）将独立槽体单元（12）分隔为进流槽单元（13）和出流槽单元（14），所述的短导流隔板（104）的顶部与环形流槽（9）上部设置有间隙（105）。4.根据权利要求1所述的一种耐高温磁性流体密封装置，其特征在于：所述的本体轴冷却密封组件（6）包括本体轴进出液座（15）、分流耐磨环（16）和锁紧压盖（17）；所述的本体轴进出液座（15）沿径向设置有座体进流口（18）和多个座体出流口（19），所述的分流耐磨环（16）上设置有与座体进流口（18）对应的环体进流口（20）和与座体出流口（19）对应的环体出流口（21）。5.根据权利要求4所述的一种耐高温磁性流体密封装置，其特征在于：所述的本体轴进出液座（15）的内壁上设置有多道密封槽（19...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪婧，雷林光，陈军，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：新型
国别省市：