一种外延薄膜的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种外延薄膜的制备方法，将微结构及物理性能的调控由平面转向垂直，制备垂直构型外延薄膜。其中，公开了以La

【技术实现步骤摘要】
一种外延薄膜的制备方法


[0001]本专利技术涉及一种外延薄膜的制备方法，属于新材料


技术介绍

[0002]强关联体系过渡金属氧化物(MTOs)由于其具备一系列有趣的物理现象，诸如铁电性、庞磁电阻、高温超导、多铁性、金属绝缘体转变等，使其在基础研究和新型器件开发方面具有重要价值，成为近几十年凝聚态领域研究的热点之一。当前研究主要涉及单相外延或多晶薄膜以及多层复合薄膜中物理性质的调控和物理机理探索，这些研究具备一个共同特点，制备的薄膜均属于平面构型。平面构型的制备相对简单且易于控制薄膜的成分以及相对尺寸，但也有固有缺点。众所周知，衬底引起的应变对薄膜的物理性质有着重要的影响。但是，随着薄膜厚度的增加应变迅速被弛豫，这一厚度一般在几十纳米左右，这使得应变对薄膜物理性质的调控受到限制，极大阻碍了材料的器件化应用。因此，开发具有新型结构的外延薄膜，探究其形成的微观机理，揭示界面态对物理性能的影响，成为亟待解决的问题。

技术实现思路

[0003]针对上述问题，本专利技术研究并提供一种外延薄膜的制备方法，为基础物理的研究和材料应用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外延薄膜的制备方法，其特征在于：将微结构及物理性能的调控由平面转向垂直，制备垂直构型外延薄膜。2.根据权利要求1所述的外延薄膜的制备方法，其特征在于：以La
0.7
Ba
0.3
MnO为母体，以ZnO为第二相，利用脉冲激光沉积在单晶基片上制备垂直构型外延薄膜。3.根据权利要求1所述的外延薄膜的制备方法，其特征在于，步骤如下：步骤一、制备LBMO：ZnO混合靶材；步骤二、将LBMO：ZnO混合靶材制备外延薄膜。4.根据权利要求3所述的外延薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤一中，制备LBMO：ZnO混合靶材是指：步骤1、固相反应法制备LBMO粉末；步骤2、取ZnO试剂，与步骤1中制备的LBMO粉末按照摩尔比混合，经充分研磨，压制成圆片；步骤3、而后烧结，制得所需靶材。5.根据权利要求4所述的外延薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤2中，压力设定20 MPa，圆片尺寸为直径1英寸，厚度5 mm...

【专利技术属性】
技术研发人员：李兵，王峰，张永兴，刘亲壮，
申请(专利权)人：淮北师范大学，
类型：发明
国别省市：