一种旋转靶材用固定装置和固定方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种旋转靶材用固定装置，旨在可以辅助抬举旋转靶材，方便调整旋转靶材与夹头的同轴度；同时，还提供了一种固定方法，其技术方案：一种旋转靶材用固定装置，包括相对布置的两个内撑夹头，两个所述内撑夹头均布置在同一导轨上，沿所述导轨的长度方向在两个所述内撑夹头之间依次设有若干个托举模块，所述托举模块包括托盘、用于升降托盘的顶升机构，所述顶升机构与导轨滑动连接，所述托盘上设有沿内撑夹头的轴向延伸的V型凹槽，当旋转靶材放置在V型凹槽内时其轴线与内撑夹头的轴线平行，属于靶材加工技术领域。属于靶材加工技术领域。属于靶材加工技术领域。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶材用固定装置和固定方法


[0001]本专利技术属于靶材加工
，更具体而言，涉及一种旋转靶材用固定装置和固定方法。

技术介绍

[0002]近年来，随着显示领域的不断往大型化发展，各类靶材也不断往大面积发展，不管在国际市场还是国内市场，旋转靶材的市场份额都在不断提升，各大厂商也在抓紧提高产量。在旋转靶材的生产过程中，必不可少的便是旋转靶材的表面研磨工序，由于旋转靶材的特殊性，现有技术中大多采用内撑法来固定旋转靶材。
[0003]例如，CN204076008U就公开了一种旋转靶材的研磨制具，其包括制具本体，待研磨的旋转靶材套设在制具本体上，所述制具本体包括一膨胀管、一支撑杆、一锁紧螺母和两个膨胀头，所述膨胀管套设在支撑杆上，所述两个膨胀头分别套设在支撑杆上且分别位于膨胀管的两端，所述两个膨胀头的一端均设有圆锥台，两个膨胀头的圆锥台小头端分别套设于膨胀管的两端内，所述支撑杆的一端设有固定其中一个膨胀头的定位轴肩，支撑杆的另一端设有与锁紧螺母相配的螺纹，所述锁紧螺母旋入支撑杆另一端并挤推另一膨胀头时，两个膨胀头的圆锥台小头端分别压本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材用固定装置，包括相对布置的两个内撑夹头，其特征在于，两个所述内撑夹头均布置在同一导轨上，沿所述导轨的长度方向在两个所述内撑夹头之间依次设有若干个托举模块，所述托举模块包括托盘、用于升降托盘的顶升机构，所述顶升机构与导轨滑动连接，所述托盘上设有沿内撑夹头的轴向延伸的V型凹槽，当旋转靶材放置在V型凹槽内时其轴线与内撑夹头的轴线平行。2.根据权利要求1所述的旋转靶材用固定装置，其特征在于，所述托盘用于组成V型凹槽的两个侧面上均设有至少两个滚轮，位于同一侧面上的滚轮沿V型凹槽的延伸方向并排布置，所述滚轮的旋转轴与相对应的侧面的倾斜方向相平行。3.根据权利要求2所述的旋转靶材用固定装置，其特征在于，所述滚轮对称布置在所述托盘用于组成V型凹槽的两个侧面上。4.根据权利要求2所述的旋转靶材用固定装置，其特征在于，所述滚轮的外周上包裹有弹性保护层。5.根据权利要求1所述的旋转靶材用固定装置，其特征在于，所述顶升机构包括水平布置的平台和基座，所述基座与导轨滑动连接，所述托盘固定在平台上，所述基座与平台之间对称布置有两个连杆组件，所述连杆组件包括第一连杆和第二连杆，所述第一连杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘毅华，余芳，谭继军，雷永杰，林昊，裴炜炀，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：