本发明专利技术公开了一种旋转靶材用固定装置，旨在可以辅助抬举旋转靶材，方便调整旋转靶材与夹头的同轴度；同时，还提供了一种固定方法，其技术方案：一种旋转靶材用固定装置，包括相对布置的两个内撑夹头，两个所述内撑夹头均布置在同一导轨上，沿所述导轨的长度方向在两个所述内撑夹头之间依次设有若干个托举模块，所述托举模块包括托盘、用于升降托盘的顶升机构，所述顶升机构与导轨滑动连接，所述托盘上设有沿内撑夹头的轴向延伸的V型凹槽，当旋转靶材放置在V型凹槽内时其轴线与内撑夹头的轴线平行，属于靶材加工技术领域。属于靶材加工技术领域。属于靶材加工技术领域。
【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶材用固定装置和固定方法
[0001]本专利技术属于靶材加工
，更具体而言，涉及一种旋转靶材用固定装置和固定方法。
技术介绍
[0002]近年来，随着显示领域的不断往大型化发展，各类靶材也不断往大面积发展，不管在国际市场还是国内市场，旋转靶材的市场份额都在不断提升，各大厂商也在抓紧提高产量。在旋转靶材的生产过程中，必不可少的便是旋转靶材的表面研磨工序，由于旋转靶材的特殊性，现有技术中大多采用内撑法来固定旋转靶材。
[0003]例如，CN204076008U就公开了一种旋转靶材的研磨制具，其包括制具本体，待研磨的旋转靶材套设在制具本体上，所述制具本体包括一膨胀管、一支撑杆、一锁紧螺母和两个膨胀头，所述膨胀管套设在支撑杆上，所述两个膨胀头分别套设在支撑杆上且分别位于膨胀管的两端，所述两个膨胀头的一端均设有圆锥台，两个膨胀头的圆锥台小头端分别套设于膨胀管的两端内，所述支撑杆的一端设有固定其中一个膨胀头的定位轴肩，支撑杆的另一端设有与锁紧螺母相配的螺纹，所述锁紧螺母旋入支撑杆另一端并挤推另一膨胀头时，两个膨胀头的圆锥台小头端分别压入膨胀管的两端内。
[0004]上述研磨制具采用膨胀头来固定旋转靶材，膨胀头在锁紧螺母的推动下逐渐塞进旋转靶材的内腔中，进而与旋转靶材的内腔过盈配合，固定住该旋转靶材；
[0005]但是在实际使用时，旋转靶材的重量是比较大的，人工将其抬起并将膨胀头塞进其内腔是比较困难的，且在不好抬举的情况下，旋转靶材的轴线与膨胀头的轴线很难同轴，一旦偏差过多，当膨胀头塞进旋转靶材的内腔时，在旋转靶材的重力下容易导致旋转靶材的端口开裂。
技术实现思路
[0006]本专利技术的主要目的在于提供一种旋转靶材用固定装置，旨在可以辅助抬举旋转靶材，方便调整旋转靶材与夹头的同轴度；同时，还提供了一种固定方法。
[0007]根据本专利技术的第一方面，提供了一种旋转靶材用固定装置，包括相对布置的两个内撑夹头，两个所述内撑夹头均布置在同一导轨上，沿所述导轨的长度方向在两个所述内撑夹头之间依次设有若干个托举模块，所述托举模块包括托盘、用于升降托盘的顶升机构，所述顶升机构与导轨滑动连接，所述托盘上设有沿内撑夹头的轴向延伸的V型凹槽，当旋转靶材放置在V型凹槽内时其轴线与内撑夹头的轴线平行。
[0008]上述的旋转靶材用固定装置中，所述托盘用于组成V型凹槽的两个侧面上均设有至少两个滚轮，位于同一侧面上的滚轮沿V型凹槽的延伸方向并排布置，所述滚轮的旋转轴与相对应的侧面的倾斜方向相平行。
[0009]上述的旋转靶材用固定装置中，所述滚轮对称布置在所述托盘用于组成V型凹槽的两个侧面上。
[0010]上述的旋转靶材用固定装置中，所述滚轮的外周上包裹有弹性保护层。
[0011]上述的旋转靶材用固定装置中，所述顶升机构包括水平布置的平台和基座，所述基座与导轨滑动连接，所述托盘固定在平台上，所述基座与平台之间对称布置有两个连杆组件，所述连杆组件包括第一连杆和第二连杆，所述第一连杆的上端与平台铰接，所述第二连杆的下端与基座铰接，所述第一连杆的下端与第二连杆的上端通过一铰接件铰接，两个所述铰接件在一驱动组件的驱动下可在水平方向上反向运动。
[0012]上述的旋转靶材用固定装置中，所述基座上设有至少一个竖直布置的导套，所述导套内滑动连接有一导柱，所述导柱与平台连接。
[0013]上述的旋转靶材用固定装置中，所述驱动组件包括一水平螺杆，所述水平螺杆穿设在两个铰接件上，转动水平螺杆使两个铰接件反向运动。
[0014]上述的旋转靶材用固定装置中，其中一个所述内撑夹头固定在导轨上，另一个所述内撑夹头可沿导轨的长度方向调整位置。
[0015]根据本专利技术的第二方面，还提供了一种固定方法，涉及如上所述的旋转靶材用固定装置，还包括以下步骤：
[0016]步骤1：将旋转靶材放置在托盘上，使旋转靶材的轴线与内撑夹头的轴线平行；操作顶升机构，使托盘上升，让旋转靶材的轴线与内撑夹头的轴线同轴；
[0017]步骤2：将两个内撑夹头分别插进旋转靶材的两端，启动内撑夹头让其固定住旋转靶材；
[0018]步骤3：操作顶升机构，使托盘下降，旋转靶材与托盘分离。
[0019]本专利技术上述技术方案中的一个技术方案至少具有如下优点或有益效果之一：
[0020]本专利技术设置了托举模块来辅助旋转靶材的抬举，将旋转靶材放置在托盘上，依靠顶升机构来升降托盘，进而使旋转靶材的轴线与内撑夹头的轴线同轴，相比较人工抬举而言，有了托举模块的辅助，旋转靶材的轴线与内撑夹头的轴线的同轴度调整起来更加方便也更为精准，可以有效避免旋转靶材的端口开裂；同时，内撑夹头和托举模块位于同一导轨上，在移动内撑夹头和托举模块时会保持在同一直线上，旋转靶材的轴线与内撑夹头的轴线的同轴度调整起来更为简单。
附图说明
[0021]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步的说明；
[0022]图1是本专利技术实施例1的主视图；
[0023]图2是本专利技术实施例1去除导轨后的俯视图；
[0024]图3是本专利技术实施例1的托举模块的结构示意图。
具体实施方式
[0025]下面详细描述本专利技术的实施方式，实施方式的示例在附图中示出，其中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0026]下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本专利技术的不同方案。
[0027]实施例1
[0028]参照图1至图3所示，本专利技术一个实施例中，一种旋转靶材用固定装置，包括相对布置的两个内撑夹头1，两个所述内撑夹头1均布置在同一导轨2上，沿所述导轨2的长度方向在两个所述内撑夹头1之间依次设有若干个托举模块3，所述托举模块3包括托盘31、用于升降托盘31的顶升机构32，所述顶升机构32与导轨2滑动连接，所述托盘31上设有沿内撑夹头1的轴向延伸的V型凹槽311，当旋转靶材放置在V型凹槽311内时其轴线与内撑夹头1的轴线平行；
[0029]设置了托举模块3来辅助旋转靶材的抬举，将旋转靶材放置在托盘31上，依靠顶升机构32来升降托盘31，进而使旋转靶材的轴线与内撑夹头1的轴线同轴，相比较人工抬举而言，有了托举模块3的辅助，旋转靶材的轴线与内撑夹头1的轴线的同轴度调整起来更加方便也更为精准，可以有效避免旋转靶材的端口开裂；
[0030]同时，内撑夹头1和托举模块3位于同一导轨2上，在移动内撑夹头1和托举模块3时会保持在同一直线上，旋转靶材的轴线与内撑夹头1的轴线的同轴度调整起来更为简单；
[0031]一般来说，内撑夹头1的轴线会位于V型凹槽311的对称面上，而旋转靶材放置在V型凹槽311上时，其轴线也会位于V型凹槽311的对称面上，使得只需要上下调整旋转靶材的高度就能够调整旋转靶材的轴线与内撑夹头1的轴线的同轴度；本实施例中，所述托盘31由两个斜块组成，两本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材用固定装置，包括相对布置的两个内撑夹头，其特征在于，两个所述内撑夹头均布置在同一导轨上，沿所述导轨的长度方向在两个所述内撑夹头之间依次设有若干个托举模块，所述托举模块包括托盘、用于升降托盘的顶升机构，所述顶升机构与导轨滑动连接，所述托盘上设有沿内撑夹头的轴向延伸的V型凹槽，当旋转靶材放置在V型凹槽内时其轴线与内撑夹头的轴线平行。2.根据权利要求1所述的旋转靶材用固定装置，其特征在于，所述托盘用于组成V型凹槽的两个侧面上均设有至少两个滚轮，位于同一侧面上的滚轮沿V型凹槽的延伸方向并排布置，所述滚轮的旋转轴与相对应的侧面的倾斜方向相平行。3.根据权利要求2所述的旋转靶材用固定装置，其特征在于，所述滚轮对称布置在所述托盘用于组成V型凹槽的两个侧面上。4.根据权利要求2所述的旋转靶材用固定装置，其特征在于，所述滚轮的外周上包裹有弹性保护层。5.根据权利要求1所述的旋转靶材用固定装置，其特征在于，所述顶升机构包括水平布置的平台和基座，所述基座与导轨滑动连接，所述托盘固定在平台上，所述基座与平台之间对称布置有两个连杆组件，所述连杆组件包括第一连杆和第二连杆，所述第一连杆...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘毅华，余芳，谭继军，雷永杰，林昊，裴炜炀，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：
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