电子装置的重布线层结构及其制作方法制造方法及图纸

技术编号:33722009 阅读:29 留言:0更新日期:2022-06-08 21:14
本揭露的实施例提供一种电子装置的重布线层结构及其制作方法。重布线层结构包括第一金属层、第一介电层、第二金属层以及第二介电层。第一介电层设置于第一金属层上。第二金属层设置于第一介电层上。第二介电层设置于第二金属层上。第一介电层的化学耐性大于第二介电层的化学耐性。层的化学耐性。层的化学耐性。

【技术实现步骤摘要】
电子装置的重布线层结构及其制作方法


[0001]本揭露的实施例涉及一种电子装置的线路结构,尤其涉及一种电子装置的重布线层结构及其制作方法。

技术介绍

[0002]随着电子装置的应用持续的增广,显示技术的发展也日新月异。随着不同的制程条件,对于电子装置的结构与质量的要求越来越高,进而电子装置面临不同的问题。因此,电子装置的研发须持续更新与调整。

技术实现思路

[0003]本揭露是针对一种重布线层结构,其具有较佳的结构强度或质量。
[0004]本揭露是针对一种重布线层结构的制作方法,其可达成较佳的制程良率或质量。
[0005]根据本揭露的实施例,电子装置的重布线层结构包括第一金属层、第一介电层、第二金属层及第二介电层。第一介电层设置于第一金属层上。第二金属层设置于第一介电层上。第二介电层设置于第二金属层上。第一介电层的化学耐性大于第二介电层的化学耐性。
[0006]根据本揭露的实施例,电子装置的重布线层结构的制作方法包括以下步骤。提供第一金属层。设置第一介电层于第一金属层上。设置第二金属层于第一介电层上。设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子装置的重布线层结构,其特征在于,包括:第一金属层;第一介电层设置于所述第一金属层上;第二金属层设置于所述第一介电层上;以及第二介电层设置于所述第二金属层上,其中所述第一介电层的化学耐性大于所述第二介电层的化学耐性。2.根据权利要求1所述的电子装置的重布线层结构,其特征在于,所述第一介电层的厚度大于所述第二介电层的厚度。3.根据权利要求1所述的电子装置的重布线层结构,其特征在于,所述重布线层结构还包括第三金属层与第三介电层,其中所述第三金属层设置于所述第二介电层上,且所述第三介电层设置于所述第三金属层上。4.根据权利要求3所述的电子装置的重布线层结构,其特征在于,所述第一介电层的化学耐性大于所述第三介电层的化学耐性。5.根据权利要求1所述的电子装置的重布线层结构,其特征在于,所述第一金属层或所述第二金属层的其中至少一者包括铜。6....

【专利技术属性】
技术研发人员:范国荣王程麒叶恒伸叶传铭
申请(专利权)人:群创光电股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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