使用激光清洗机的掩模框架表面处理方法技术

本发明专利技术涉及一种使用激光清洗机对掩模框架进行表面处理的方法。因此，其技术要点是使用激光清洗机来去除表面处理对象掩膜框架的表面污染物、异物以及杂质的方法，其特征在于，与现有技术相比从源头上排除了使用药品，从而显著改善工作环境和后处理工艺，由于在进行表面处理工作时通过自动化工艺完成，不仅大大缩短工作时间，而且节省劳动力并防止安全事故的发生，从而在降低成本的同时大大改善安全性和生产率，尤其是掩模框架本身的质量大幅提高，从而可以确保高质量的最终产品。从而可以确保高质量的最终产品。从而可以确保高质量的最终产品。

【技术实现步骤摘要】
使用激光清洗机的掩模框架表面处理方法


[0001]本专利技术涉及一种使用激光清洗机来去除表面处理对象掩膜框架的表面 污染物、异物以及杂质的方法，该方法与现有技术相比从源头上排除了使 用药品(化学化工)，从而显著改善工作环境(确保无害环境)和后处理 工艺(省略了化学药品的后处理工艺和设备线)，由于在进行表面处理工 作时通过自动化工艺完成，不仅大大缩短工作时间，而且节省劳动力并防 止安全事故的发生(不使用化学药品)，从而在降低成本的同时大大改善 安全性和生产率，尤其是掩模框架本身的质量大幅提高(可以去除表面污 染物而不会造成金属材料的损伤和变形)，从而可以确保高质量的最终产 品(显示面板等)。

技术介绍

[0002]一般来说，掩膜框架是指在制作有机发光二级显示装置(organic lightemitting diode display)时，将有机发光层或金属电极在绝缘基板上蒸镀的 过程中，为了支撑蒸镀掩膜的外围而准备的四角框。
[0003]此时，根据客户的要求，上述蒸镀掩膜形成为按照设计好的显示面板 (有机发光显示装置)的规格图案化，以使蒸镀物质仅贯通该图案(开口 的四角槽)执行掩膜。
[0004]也就是说，通常的掩膜框架是四角形的，将各边的相邻的一字型条相 互焊接制作，由镍铁合金(INVAR)或钛(Ti)材质形成，使之具有相对 于不锈钢材质较少的热膨胀系数，从而具有很长的使用寿命。
[0005]另外，掩膜框架在实际使用时，为了防止在化学气相沉积工艺中表面 受损，需在该表面涂覆保护层，这种涂覆层通过等离子体涂覆工艺形成。
[0006]但是，在这种涂覆工艺之前，掩膜框架需要清除表面吸附的污染物或 异物等杂质。
[0007]因此，现有的表面处理方式是利用化学药品处理掩膜框架，会引起金 属材料的变形或毁损，导致掩膜框架自身的质量下降的问题。
[0008]另外，现有的化学表面处理方式需要化学药品的药品处理前后设施， 需要扩充设施和管理费，在使用安全上有很多规定限制，这些导致人工成 本上升的同时，需要另外维持管理的缺点。
[0009]同时，现有的表面处理方式由于对污染物的低去除率，导致精密度 (难以确保高质量的表面)下降，工作所需时间长等经济性和生产性下 降。
[0010]现有技术文献
[0011]专利文献 (专利文献1)韩国授权专利公报第10
‑
2152253号(2020年8月31日注册)

技术实现思路

[0012]专利技术要解决的技术问题
[0013]为了解决上述问题，本专利技术的目的在于提供一种其技术要点为使用激 光清洗机(当激光振荡时，脉冲分布形成为脉冲波长的最高峰值和最低峰 值区域在中间位置形成为
长的线性形状)去除表面处理对象掩膜框架的表 面污染物、异物以及杂质的方法。
[0014]本专利技术的目的在于，提供与现有技术相比从源头上排除药品(化学化 工)的使用，从而能够显著改善工作环境(确保无害环境)和后处理工艺 (省略了化学品的后处理工艺和设备线)的方法。
[0015]另外，本专利技术的目的在于，提供一种在表面处理工作时通过自动化工 艺实施，从而不仅大大缩短工作时间，而且节省劳动力和防止安全事故的 发生(不使用化学药品)，从而在降低成本的同时大大改善安全性和生产 率的方法。
[0016]同时，本专利技术的目的在于，提供掩模框架本身的质量大幅提高(可以 去除表面污染物而不会造成金属材料的损伤和变形)，从而可以确保高质 量的最终产品(显示面板等)的方法。
[0017]用于解决问题的技术方案
[0018]为了实现该目的，本专利技术是通过使用具有设定配置的激光清洗机来去 除掩模框架的表面污染物、异物和杂质，所述激光清洗机设置为控制脉冲 (波长)的最高峰值位于损伤阈值和消融阈值之间的区间，从而形成平坦 形态的平顶(Flat top)区间，所述平顶区间形成为使多个最高峰点随着非 常狭窄间隔的脉冲(波长)周期反复连接，从而形成一条线或一个面积形 态的峰值能量来维持(光束均质化)，使得对表面处理对象即掩膜框架照 射激光时，仅将表面污染物(以及异物和杂质)气化并蒸发后去除，而不 会导致金属表面损伤和热变形。
[0019]因此，所述激光清洗机的配置设定为激光类型为Nd
‑
YAG
‑
Laser，激光 功率为最小130W至最大150W，激光波长为1064
±
4nm，以及激光束的温度 为400至800℃。同时设定为激光脉冲频率为12至40kHz，最大脉冲能量为 14mJ，最小脉冲宽度为80ns，以及工作环境(请求环境)的温度为10至 38℃，湿度为10至95％。
[0020]另外，所述激光清洗机设置为从激光振荡器振荡，并在所述激光振荡 器的一侧，设置有与真空设备连接的抽吸管，以立即吸入和回收在掩模框 架的表面处理时气化的污染物、异物以及杂质。
[0021]因此，所述激光清洗机配置为通过安装移送装置和激光加工模块完成 三维(X，Y，Z)自动移送清洗。
[0022]同时，所述安装移送装置由装载装配单元和反向器装配单元构成，所 述装载装配单元设置为在底架的上表面设置水平平行的多个移送支撑件， 并使所述任何一个移送支撑件沿着宽度调整导轨可滑动地移动，从而调整 与彼此相对的另一侧移送支撑件的间距。所述移送支撑件彼此相对的每个 侧面上设置有驱动电机、连动齿轮和移送带，移送带的上侧区间，安装有 具备座垫的移送托盘，当安置表面处理对象掩模框架时，随着装载/卸载区 间前后移动。所述反向器装配单元设置为多个升降框架布置在移送支撑件 的后端，所述升降框架设置为在彼此相对的两侧具备有通过上下皮带上下 移动的夹具箱，在所述夹具箱的开口部形成有具有切口槽的多个夹具，以 通过后方提取电机来前进或后退(掩膜框架的边两端分别被夹持)。所述 夹具箱在内置夹具的状态下，在启动旋转电机时，以中心旋转轴为基准反 转并旋转180
°
(可对掩模框架的两面进行表面处理)。所述激光加工模块 设置有由支撑架和支架构成的隧道式框架，在所述支架的上表面上沿着间 隔方向的轴线设置有移送导轨，所述移送导轨的长度方向的线上设置有滑 动移送构件，所述滑动移送构件设置
为通过连接至可移动电机的旋转轴来 在移送导轨的线上沿着左右间隔方向移送。所述滑动移送构件的上表面安 装有激光拾取装置的支撑件，在所述支撑件的前方设置有通过升降导轨和 上下移送构件安装的固定支架，该固定支架通过旋转轴和伺服电机的驱动 而上下升降(接近或远离表面处理对象掩模框架，从而调整激光照射间 隔)，所述固定支架的一侧端部安装有激光振荡器，从而完成三维(X， Y，Z)自动移送清洗。
[0023]专利技术效果
[0024]如上所述，本专利技术大大提高了掩模框架本身的质量(可以去除表面污 染物而不会造成金属材料的损伤或变形)，具有可以确保高质量的最终产 品(显示面板等)的效果。
[0025]本专利技术与现有技术相比，从源头上排本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种使用激光清洗机的掩模框架表面处理方法，其通过使用具有设定配置的激光清洗机来去除掩模框架(10)的表面污染物、异物和杂质，其特征在于，所述激光清洗机设置为控制脉冲(波长)的最高峰值位于损伤阈值和消融阈值之间的区间，从而形成平坦形态的平顶区间，所述平顶区间形成为使多个最高峰点随着非常狭窄间隔的脉冲(波长)周期反复连接，从而形成一条线或一个面积形态的峰值能量来维持的同时确保光束均质化，以使对表面处理对象掩膜框架照射激光时，仅将表面污染物以及异物、杂质气化并蒸发后去除，而不会导致金属表面损伤和热变形。2.根据权利要求1所述的使用激光清洗机的掩模框架表面处理方法，其特征在于，所述激光清洗机的配置为：激光类型为Nd
‑
YAG
‑
Laser，激光功率为最小130W至最大150W，激光波长为1064
±
4nm，激光束的温度为400至800℃，激光脉冲频率为12至40kHz，最大脉冲能量为14mJ，最小脉冲宽度为80ns，工作环境的温度为10至38℃，湿度为10至95％。3.根据权利要求1所述的使用激光清洗机的掩模框架表面处理方法，其特征在于，所述激光清洗机设置为从激光振荡器(247)振荡，并在所述激光振荡器(247)的一侧，设置有与真空设备(250)连接的抽吸管(260)，以立即吸入和回收在掩模框架的表面处理时气化的污染物、异物以及杂质。4.根据权利要求1所述的使用激光清洗机的掩模框架表面处理方法，其特征在于，所述激光清洗机通过安装移送装置(100)和激光加工模块(200)完成三维(X，Y，Z)自动移送清洗。5.根据权利要求4所述的使用激光清洗机的掩模框架表面处理方法，其特征在于，所述安装移送装置(100)，由装载装配单元(110)和反向器装配单元(120)构成，所述装载装配单元(110)设置为在底架(111)的上表面设置水平平行的多个移送支撑件(112)，并使所...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔宗成，
申请(专利权)人：A成株式会社，
类型：发明
国别省市：