温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种使用激光清洗机对掩模框架进行表面处理的方法。因此，其技术要点是使用激光清洗机来去除表面处理对象掩膜框架的表面污染物、异物以及杂质的方法，其特征在于，与现有技术相比从源头上排除了使用药品，从而显著改善工作环境和后处理工艺，由于在...
该专利属于A-成株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过A-成株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。