【技术实现步骤摘要】
一种风力辅助非等深结构蚀刻加工装置及加工方法
[0001]本专利技术涉及蚀刻加工
，尤其是指一种风力辅助非等深结构蚀刻加工装置及加工方法。
技术介绍
[0002]金属蚀刻加工，即光化学金属蚀刻，是通过蚀刻液去除金属材料达到结构的加工成型，可简单控制蚀刻时间、温度等参数控制生产的效率、结构尺寸的精度等，具有工艺流程简单、加工快速、成本低等优点，被广泛应用于金属图案化加工、PCB线路板、柔性折叠屏手机结构件等产品的制造过程，金属蚀刻成为不可或缺的技术。
[0003]微流控芯片、相变元件毛细结构、机械结构件等微结构金属制品常对结构变深度提出新的需求，但现阶段的蚀刻加工方法蚀刻加工多为保证蚀刻深度的一致均匀性，难以满足特种产品结构需求，现有的不同深度、连续结构蚀刻加工手段有限，非等深微结构蚀刻加工方法亟待开发。
技术实现思路
[0004]本专利技术针对现有技术的问题提供一种风力辅助非等深结构蚀刻加工装置及加工方法，能够准确加工出非等深的结构。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术采用如下...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种风力辅助非等深结构蚀刻加工装置，其特征在于：包括传输机构、输液机构以及吹风机构，所述传输机构用于传输工件，所述输液机构包括限位板、输液件以及多个阵列设置于所述输液件的喷头，所述限位板用于盖设在工件顶部，所述限位板设置有若干条限位槽，工件带蚀刻的位置经限位槽显露在喷头的下方，喷头用于往限位槽喷洒蚀刻液；所述吹风机构用于吹动限位槽内的蚀刻液以使得蚀刻液在工件上蚀刻形成非等深的微槽结构。2.根据权利要求1所述的风力辅助非等深结构蚀刻加工装置，其特征在于：所述吹风机构的吹风方向与所述传输机构之间的夹角为5
‑
50
°
。3.根据权利要求1所述的风力辅助非等深结构蚀刻加工装置，其特征在于：所述吹风机构包括吹风座，所述吹风座并排设置有若干条出风槽。4.根据权利要求1所述的风力辅助非等深结构蚀刻加工装置，其特征在于：所述吹风机构还包括多个出风喷头，多个出风喷头呈矩形阵列分布于所述吹风座，出风喷头与出风槽对应设置，出风喷头用于外接惰性气体的气源并经出风槽对工件进行吹风。5.根据权利要求4所述的风力辅助非等深结构蚀刻加工装置，其特征在于：各个出风喷头分别连接有控制阀，控制阀...
【专利技术属性】
技术研发人员：王文涛，张亮旗，王世权，
申请(专利权)人：东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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