下载一种风力辅助非等深结构蚀刻加工装置及加工方法的技术资料

文档序号:33709136

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本发明涉及蚀刻加工技术领域,尤其是指一种风力辅助非等深结构蚀刻加工装置及加工方法,该加工装置包括传输机构、输液机构以及吹风机构,所述传输机构用于传输工件,所述输液机构包括限位板、输液件以及多个阵列设置于所述输液件的喷头,所述限位板用于盖设在...
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