用于具有槽路电容器的MEMS反射镜的电荷恢复驱动器制造技术

本公开的实施例涉及用于具有槽路电容器的MEMS反射镜的电荷恢复驱动器。一种电荷恢复驱动器用于负载对，并且包括被耦合至负载对的第一输出节点和第二输出节点。在初始阶段期间，第一输出节点是接地的，并且第二输出节点与供应电压相连。在第一阶段期间，第一输出节点被耦合至第一槽路电容器，并且第二输出节点被耦合至第二槽路电容器。在第二阶段期间，第一输出节点和第二输出节点被彼此耦合。在第三阶段期间，第二输出节点被耦合至第一槽路电容器，并且第一输出节点被耦合至第二槽路电容器。在第四阶段期间，第一输出节点被耦合至供应电压，并且第二输出节点被耦合至接地。然后第三阶段、第二阶段和第一阶段按照此顺序被重复。复。复。

【技术实现步骤摘要】
用于具有槽路电容器的MEMS反射镜的电荷恢复驱动器


[0001]本公开涉及一种电荷恢复电路，与现有设计相比，该电荷恢复电路每供应电压子电平利用减少数目的槽路电容器，诸如可以用于微机电(MEMS)反射镜的驱动器中。

技术介绍

[0002]在许多应用的设计考虑中涉及对电子电路装置内的功率耗散的限制。例如，功率耗散提供了对系统的效率的测量。系统的效率影响系统的电源的设计。即，由于浪费能量并且需要更大的电源，因此低效率会导致更高的成本。这在电池供电系统(诸如现代增强现实和虚拟现实眼镜、和用于增强现实系统中的深度传感器以及便携式微型投影仪)中尤为重要，在这些系统中，期望设备在充电循环之间尽可能长地依靠电池电源运行，并且在仍然需要设备保持轻并且薄的情况下，这意味着包括特别大的电池通常不作为选择。
[0003]在对可以被建模为电容器Cl的负载进行充电时考虑功率耗散。图1A中示出的是简单系统1，其中开关Sw选择性地将负载电容器Cl连接至供应电压V。考虑到开关Sw(可能是MOSFET)具有导通电阻，电容器Cl最初被放电，并且开关Sw的电阻两端的压降从初始本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于负载对的电荷恢复驱动器，包括：第一槽路电容器，具有第一端子，并且具有被耦合至接地的第二端子；第二槽路电容器，具有第一端子，并且具有被耦合至接地的第二端子；第一输出节点和第二输出节点，被耦合至所述负载对；第一开关电路，被配置为选择性地将所述第一槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第二开关电路，被配置为选择性地将所述第一输出节点和所述第二输出节点彼此耦合；第三开关电路，被配置为选择性地将所述第二槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第四开关电路，被配置为选择性地将所述第一输出节点耦合在供应电压和/或接地之间；第五开关电路，被配置为选择性地将所述第二输出节点耦合在所述供应电压和/或接地之间；以及控制电路装置，被配置为：a)在初始阶段期间，使所述第四开关电路将所述第一输出节点耦合至接地，并且使所述第五开关电路将所述第二输出节点耦合至所述供应电压；b)在第一阶段期间，使所述第一开关电路将所述第一输出节点耦合至所述第一槽路电容器的所述第一端子，并且使所述第三开关电路将所述第二输出节点耦合至所述第二槽路电容器的所述第一端子；c)在第二阶段期间，使所述第二开关电路将所述第一输出节点和所述第二输出节点彼此耦合；d)在第三阶段期间，使所述第一开关电路将所述第二输出节点耦合至所述第一槽路电容器的所述第一端子，并且使所述第三开关电路将所述第一输出节点耦合至所述第二槽路电容器的所述第一端子；e)在第四阶段期间，使所述第四开关电路将所述第一输出节点耦合至所述供应电压，并且使所述第五开关电路将所述第二输出节点耦合至接地；以及执行d)、c)、b)和a)。2.根据权利要求1所述的电荷恢复驱动器，其中所述负载对包括用于MEMS设备的致动器。3.根据权利要求1所述的电荷恢复驱动器，其中所述第一开关电路包括第一开关和第二开关，所述第一开关被耦合在所述第一输出节点与所述第一槽路电容器的所述第一端子之间，并且所述第二开关被耦合在所述第二输出节点与所述第一槽路电容器的所述第一端子之间。4.根据权利要求1所述的电荷恢复驱动器，其中所述第二开关电路包括第三开关，所述第三开关被耦合在所述第一输出节点与所述第二输出节点之间。5.根据权利要求1所述的电荷恢复驱动器，其中所述第三开关电路包括第四开关和第五开关，所述第四开关被耦合在所述第一输出节点与所述第二槽路电容器的所述第一端子之间，并且所述第五开关被耦合在所述第二输出节点与所述第二槽路电容器的所述第一端
子之间。6.根据权利要求1所述的电荷恢复驱动器，其中所述第四开关电路包括第六开关和第七开关，所述第六开关被耦合在所述供应电压与所述第一输出节点之间，并且所述第七开关被耦合在所述第一输出节点与接地之间。7.根据权利要求1所述的电荷恢复驱动器，其中所述第五开关电路包括第八开关和第九开关，所述第八开关被耦合在所述供应电压与所述第二输出节点之间，并且所述第九开关被耦合在所述第二输出节点与接地之间。8.一种用于负载对的电荷恢复驱动器，包括：槽路电容器，具有第一端子和第二端子；第一输出节点和第二输出节点，被耦合至所述负载对；第一开关电路，被配置为选择性地将所述槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第二开关电路，被配置为选择性地将所述第一输出节点和所述第二输出节点彼此耦合；第三开关电路，被配置为选择性地将所述槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第四开关电路，被配置为选择性地将所述第一输出节点耦合在供应电压和/或接地之间；第五开关电路，被配置为选择性地将所述第二输出节点耦合在所述供应电压和/或接地之间；以及控制电路装置，被配置为：a)在初始阶段期间，使所述第四开关电路将所述第一输出节点耦合至接地，并且使所述第五开关电路将所述第二输出节点耦合至所述供应电压；b)在第一阶段期间，使所述第三开关电路将所述槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第二输出节点，并且使所述第一开关电路将所述槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点；c)在第二阶段期间，使所述第二开关电路将所述第一输出节点和所述第二输出节点彼此耦合；d)在第三阶段期间，使所述第三开关电路将所述槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点，并且使所述第一开关电路将所述槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第二输出节点；e)在第四阶段期间，使所述第四开关电路将所述第一输出节点耦合至所述供应电压，并且使所述第五开关电路将所述第二输出节点耦合至接地；以及执行d)、c)、b)和a)。9.根据权利要求8所述的电荷恢复驱动器，其中所述负载对包括用于MEMS设备的致动器。10.根据权利要求8所述的电荷恢复驱动器，其中所述第一开关电路包括第一开关和第二开关，所述第一开关被耦合在所述第一输出节点与所述槽路电容器的所述第二端子之间，并且所述第二开关被耦合在所述第二输出节点与所述槽路电容器的所述第二端子之
间。11.根据权利要求8所述的电荷恢复驱动器，其中所述第二开关电路包括第三开关，所述第三开关被耦合在所述第一输出节点与所述第二输出节点之间。12.根据权利要求8所述的电荷恢复驱动器，其中所述第三开关电路包括第四开关和第五开关，所述第四开关被耦合在所述第一输出节点与所述槽路电容器的所述第一端子之间，并且所述第五开关被耦合在所述第二输出节点与所述槽路电容器的所述第一端子之间。13.根据权利要求8所述的电荷恢复驱动器，其中所述第四开关电路包括第六开关和第七开关，所述第六开关被耦合在所述供应电压与所述第一输出节点之间，并且所述第七开关被耦合在所述第一输出节点与接地之间。14.根据权利要求8所述的电荷恢复驱动器，其中所述第五开关电路包括第八开关和第九开关，所述第八开关被耦合在所述供应电压与所述第二输出节点之间，并且所述第九开关被耦合在所述第二输出节点与接地之间。15.一种用于负载对的电荷恢复驱动器，包括：第一槽路电容器，具有第一端子和第二端子；第二槽路电容器，具有第一端子和第二端子；第一输出节点和第二输出节点，被耦合至所述负载对；第一开关电路，被配置为选择性地将所述第一槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第二开关电路，被配置为选择性地将所述第二槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第三开关电路，被配置为选择性地将所述第一输出节点和所述第二输出节点彼此耦合；第四开关电路，被配置为选择性地将所述第二槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第五开关电路，被配置为选择性地将所述第一槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第六开关电路，被配置为选择性地将所述第一输出节点耦合在供应电压和/或接地之间；第七开关电路，被配置为选择性地将所述第二输出节点耦合在所述供应电压和/或接地之间；以及控制电路装置，被配置为：a)在初始阶段期间，使所述第六开关电路将所述第一输出节点耦合至接地，并且使所述第七开关电路将所述第二输出节点耦合至所述供应电压；b)在第一阶段期间，使所述第一开关电路将所述第一槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点，并且使所述第五开关电路将所述第一槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第二输出节点；c)在第二阶段期间，使所述第二开关电路将所述第二槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点，并且使所述第四开关电路将所述第二槽路电容器的所述第一端子耦
合至所述第二输出节点；d)在第三阶段期间，使所述第三开关电路将所述第一输出节点和所述第二输出节点彼此耦合；e)在第四阶段期间，使所述第四开关电路将所述第二槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点，并且使所述第二开关电路将所述第二槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第二输出节点；f)在第五阶段期间，使所述第五开关电路将所述第一槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点，并且使所述第一开关电路将所述第一槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第二输出节点；g)在第六阶段期间，使所述第六开关电路将所述第一输出节点耦合至所述供应电压，并且使所述第七开关电路将所述第二输出节点耦合至接地；以及执行f)、e)、d)、c)、b)和a)。16.根据权利要求15所述的电荷恢复驱动器，其中所述负载对包括用于MEMS设备的致动器。17.根据权利要求15所述的电荷恢复驱动器，其中所述第一开关电路包括第一开关和第二开关，所述第一开关被耦合在所述第一输出节点与所述第一槽路电容器的所述第二端子之间，并且所述第二开关被耦合在所述第二输出节点与所述第一槽路电容器的所述第二端子之间。18.根据权利要求15所述的电荷恢复驱动器，其中所述第二开关电路包括第三开关和第四开关，所述第三开关被耦合在所述第一输出节点与所述第二槽路电容器的所述第二端子之间，并且所述第四开关被耦合在所述第二输出节点与所述第二槽路电容器的所述第二端子之间。19.根据权利要求15所述的电荷恢复驱动器，其中所述第三开关电路包括第五开关，所述第五开关被耦合在所述第一输出节点与所述第二输出节点之间。20.根据权利要求15所述的电荷恢复驱动器，其中所述第四开关电路包括第六开关和第七开关，所述第六开关被耦合在所述第一输出节点与所述第二槽路电容器的所述第一端子之间，并且所述第七开关被耦合在所述第二输出节点与所述第二槽路电容器的所述第一端子之间。21.根据权利要求15所述的电荷恢复驱动器，其中所述第五开关电路包括第八开关和第九开关，所述第八开关被耦合在所述第一输出节点与所述第一槽路电容器的所述第一端子之间，并且所述第九开关被耦合在所述第二输出节点与所述第一槽路电容器的所述第一端子之间。22.根据权利要求15所述的电荷恢复驱动器，其中所述第六开关电路包括第十开关和第十一开关，所述第十开关被耦合在所述供应电压与所述第一输出节点之间，并且所述第十一开关被耦合在所述第一输出节点与接地之间。23.根据权利要求15所述的电荷恢复驱动器，其中所述第七开关电路包括第十二开关和第十三开关，所述第十二开关被耦合在所述供应电压与所述第二输出节点之间，并且所述第十三开关被耦合在所述第二输出节点与接地之间。24.一种用于负载对的电荷恢复驱动器，包括：
槽路电容器，具有第一端子和第二端子；第一输出节点和第二输出节点，被耦合至所述负载对；第一开关电路，被配置为选择性地将所述槽路电容器的所述第二端子耦合至第一输出节点和/或第二输出节点；第二开关电路，被配置为选择性地将所述第一输出节点和所述第二输出节点彼此耦合；第三开关电路，被配置为选择性地将所述槽路电容器...

【专利技术属性】
技术研发人员：F，
申请(专利权)人：意法半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：