蒸镀装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够防止冷却介质的泄漏的技术。一种蒸镀装置，具备：蒸镀源，向基板放出蒸镀物质；挡板；转动部件，使所述挡板在包含所述蒸镀源与所述基板之间的位置的移动轨道上转动；以及配管，供冷却介质流动，其中，所述转动部件包括：旋转轴，具有在轴向上延伸的内部空间，形成所述挡板的转动中心；以及支承构件，与所述旋转轴连接，对所述挡板进行支承，所述支承构件具有与所述配管连接且供所述冷却介质流动的流路，将所述流路与所述配管连接的连接部在所述旋转轴的所述内部空间设置于所述支承构件，所述配管包括挠性管，所述挠性管与所述连接部连接，在所述旋转轴的所述内部空间在所述旋转轴的所述轴向上延伸设置。间在所述旋转轴的所述轴向上延伸设置。间在所述旋转轴的所述轴向上延伸设置。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法


[0001]本专利技术涉及蒸镀装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法。

技术介绍

[0002]在有机EL显示器等的制造中，使用掩模在基板上蒸镀有机材料、金属材料等蒸镀物质。作为其蒸镀装置，提出了设置有能够使蒸镀源相对于基板开闭的挡板的蒸镀装置(专利文献1及专利文献2)。挡板受到蒸镀源的热的影响，为了防止热损害，期望挡板的冷却。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2020－7587号公报
[0006]专利文献2：日本特开2019－534938号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的课题
[0008]作为挡板的冷却方式，可考虑使冷却水等冷却介质在驱动挡板的机构中循环而将挡板间接地冷却的方式。但是，若在驱动挡板的机构中存在旋转部分，则需要应对旋转部分处的冷却介质的泄漏的对策。作为对策，可考虑在旋转部分使用旋转接头，但成本较高，另外，仍存在冷却介质泄漏这样的课题。r/>[0009]本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，所述蒸镀装置具备：蒸镀源，向基板放出蒸镀物质；挡板；转动部件，使所述挡板在包含所述蒸镀源与所述基板之间的位置的移动轨道上转动；以及配管，供冷却介质流动，其特征在于，所述转动部件包括：旋转轴，具有在轴向上延伸的内部空间，形成所述挡板的转动中心；以及支承构件，与所述旋转轴连接，对所述挡板进行支承，所述支承构件具有与所述配管连接且供所述冷却介质流动的流路，将所述流路与所述配管连接的连接部在所述旋转轴的所述内部空间设置于所述支承构件，所述配管包括挠性管，所述挠性管与所述连接部连接，在所述旋转轴的所述内部空间在所述旋转轴的所述轴向上延伸设置。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述旋转轴的所述轴向的两端部开口，所述支承构件以将所述旋转轴的所述轴向的一方端部的开口堵塞的方式连接于所述旋转轴，所述挠性管比所述旋转轴的所述轴向的另一方端部的开口向外部延伸设置。3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述转动部件具备：对所述旋转轴进行支承的轴承；以及作为驱动源的空心电机，所述旋转轴包括：通过所述空心电机的部分；以及支承于所述轴承的部分。4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，作为所述配管，具备所述冷却介质的供给用的配管和所述冷却介质的排出用的配管，作为所述连接部，具备供所述供给用的配管连接的供给用的连接部和供所述排出用的配管连接的排出用的连接部，所述供给用的配管作为所述挠性管包括与所述供给用的连接部连接的挠性管，所述排出用的配管作为所述挠性管包括与所述排出用的连接部连接的挠性管。5.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，具备监视部件，所述监视部件监视蒸镀物质从所述蒸镀源的放出状态，所述监视部件配置于在所述旋转轴的径向上从所述轴承分离的位置。6.一种成膜装置，所述成膜装置具备：输送基板的输送装置；以及在所述基板上蒸镀蒸镀物质的蒸镀装置，
所述成膜装置是一边输送所述基板一边进行蒸镀的直列型的成膜装置，其特征在于，所述蒸镀装置具备：蒸镀源，在与所述基板的输送方向交叉的方向上延伸设置，向所述基板放出蒸镀物质；挡板；转动部件，使所述挡板在包含所述蒸镀源与所述基板之间的位置的移动轨道上转动；以及配管，供冷却介质流动，所述转动部件包括：旋转轴，具有在轴向上延伸的内部空间，形成沿着所述蒸镀源的延伸设置方向的所述挡板的转动中心；以及支承构件，与所述旋转轴连接，对所述挡板进行支承，所述支承构件具有与所述配管连接且供所述冷却介质流动的流路，将所述流路与所述配管连接的连接部在所述旋转轴的所述内部空间设置于所述支承构件，所述配管包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：砂川贵宏，佐藤功康，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：