回收电镀液的方法技术

本发明专利技术提供一种回收电镀液的方法，其包括以下步骤。首先，将经电镀工艺后的衬底至电镀槽中取出，其中电镀槽存储有电镀液。接着，使衬底沿着衬底的法线方向进行第一轴向旋转，使经第一轴向旋转后的衬底的延伸方向与未经第一轴向旋转的衬底的延伸方向夹有特定角度。轴向旋转的衬底的延伸方向夹有特定角度。轴向旋转的衬底的延伸方向夹有特定角度。

【技术实现步骤摘要】
回收电镀液的方法


[0001]本专利技术涉及一种回收电镀液的方法，尤其涉及一种通过操作垂直连续电镀设备以进行电镀工艺时回收电镀液的方法。

技术介绍

[0002]在利用现有的垂直连续电镀设备进行电镀工艺时，待电镀的衬底经由吊架固持，其中该衬底的顶部边缘通过吊架的多个夹具自上方抓持。然而，在衬底在电镀槽中进出时容易因与该电镀槽的其余构件碰撞而出现刮伤的现象，即，此种固持衬底的方式的稳定性极差。
[0003]为解决上述问题，可将待电镀的衬底经由挂架固持，其中该衬底的边缘例如被挂架的框架本体围绕且由该挂架具有的多个夹具自上方及下方抓持，藉此提高衬底在电镀槽中进出时的稳定性。然而，挂架自身具有的构件较多，其导致在衬底经电镀工艺后自电镀槽中取出时将带走较多的电镀液，进而提高进行电镀工艺时的成本。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种回收电镀液的方法，其可解决因挂架的使用会带走较多的电镀液的问题，藉此达到节省进行电镀工艺时的成本的效果。
[0005]本专利技术的其他目的和优点可以从本专利技术所揭示的技术特征中得到进一步本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种回收电镀液的方法，其特征在于，包括：将经电镀工艺后的衬底至电镀槽中取出，其中电镀槽存储有所述电镀液；以及使所述衬底沿着所述衬底的法线方向进行第一轴向旋转，其中经所述第一轴向旋转后的所述衬底的延伸方向与未经所述第一轴向旋转的所述衬底的延伸方向夹有特定角度。2.根据权利要求1所述的回收电镀液的方法，其特征在于，在使所述衬底沿着所述衬底的所述法线方向进行所述第一轴向旋转之后，还包括进行以下步骤：将所述衬底静置特定时间；以及使所述衬底沿着所述衬底的法线方向进行第二轴向旋转，经所述第二轴向旋转后的所述衬底的延伸方向与未经所述第一轴向旋转的所述衬底的所述延伸方向平行。3.根据权利要求1所述的回收电镀液的方法，其特征在于，所述特定角度介于0
°
至90
°

【专利技术属性】
技术研发人员：季泽江，黄帆，
申请(专利权)人：华通电脑惠州有限公司，
类型：发明
国别省市：