下载回收电镀液的方法的技术资料

文档序号:33700277

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本发明提供一种回收电镀液的方法,其包括以下步骤。首先,将经电镀工艺后的衬底至电镀槽中取出,其中电镀槽存储有电镀液。接着,使衬底沿着衬底的法线方向进行第一轴向旋转,使经第一轴向旋转后的衬底的延伸方向与未经第一轴向旋转的衬底的延伸方向夹有特定角...
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