表面形貌检测系统技术方案

本申请提供一种表面形貌检测系统，包含光源、第一分光镜、待测端物镜、参考端物镜、空间光调制器以及检测模块。所述光源用以提供标准光线。所述第一分光镜用以将标准光线分成第一光线与第二光线。所述待测端物镜用以将第一光线投射于待测表面，并接收待测表面反射的测试光线。所述参考端物镜用以将第二光线投射于参考表面，并接收参考表面反射的参考光线。所述空间光调制器用以接收参考光线，并依据修正参数修正参考光线。所述检测模块用以比对测试光线与修正后的参考光线，以计算待测表面的表面形貌。其中修正参数关联于待测端物镜与参考端物镜之间的镜头像差。物镜之间的镜头像差。物镜之间的镜头像差。

【技术实现步骤摘要】
表面形貌检测系统


[0001]本申请是关于一种表面形貌检测系统，特别是关于一种利用空间光调制器补偿镜头像差的表面形貌检测系统。

技术介绍

[0002]在产品制造完成后，都会经过一定的测试程序，用来把关产品的质量。一般来说，业界会仰赖人力检查产品的外观是否缺损，或者通过观察产品的外观来判断功能是否正常。但有些产品的结构比较细致，有时实在无法要求人员使用肉眼检查出瑕疵。传统上，业界可能使用摄影机来拍摄产品的外观，通过放大拍摄到的影像，便可以检查产品特定区域的外观。请参阅图1，图1是现有技术中的表面形貌检测系统的示意图。如图1所示，利用传统的表面形貌检测系统9检测待测表面DUT时，可以先由光源90发射出光线。光源90发出的光线经由偏振片91之后，会由分光镜92分为朝向物镜93的子光线以及朝向物镜94的子光线。实务上，朝向物镜93的子光线会经由物镜93聚焦之后，再射向待测表面DUT，并且物镜93会接收待测表面DUT反射回来的光线。
[0003]另一方面，朝向物镜94的光线会经由物镜94聚焦之后，再射向一个反射镜95，并且物镜94会接收反射镜95本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种表面形貌检测系统，其特征在于，包含：一光源，用以提供一标准光线；一第一分光镜，用以将该标准光线分成一第一光线与一第二光线；一待测端物镜，用以将该第一光线投射于一待测表面，并接收该待测表面反射的一测试光线；一参考端物镜，用以将该第二光线投射于一参考表面，并接收该参考表面反射的一参考光线；一空间光调制器，用以接收该参考光线，并依据一修正参数修正该参考光线；以及一检测模块，用以比对该测试光线与修正后的该参考光线，以计算该待测表面的一表面形貌；其中该修正参数关联于该待测端物镜与该参考端物镜之间的一镜头像差。2.根据权利要求1所述的表面形貌检测系统，其特征在于，该参考光线投射至该空间光调制器，该空间光调制器反射该参考光线以得到该修正后的该参考光线。3.根据权利要求1所述的表面形貌检测系统，其特征在于，该第一光线与该测试光线的总光程，等于该第二光线、该参考光线与修正后的该参考光线的总光程。4.一种表面形貌检测系统，其特征在于，包含：一光源，用以提供一标准光线；一分光镜，用以将该标准光线分成一第一光线与一第二光线；一待测端物镜，用以将该第一光线投射于一待测表面，并接收该待测表面反射的一测试光线；一空间光调制器，用以接收该第二光线，并依据一修正参数修正该第二光线；以及一参考端物镜，用以将修正后的该第二光线投射于一参考表面，并接收该参考表面反射的一参考光线；一检测模块，用以比对该测试光线与该参考光线，以计算该待测表面的一表面形貌；其中该修正参数关联于该待测端物镜与该参考端物镜之间的一镜头像差。5.根据权利要求4所述的表面形貌检测系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：张玮刚，杨兰昇，
申请(专利权)人：致茂电子苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：