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本申请提供一种表面形貌检测系统，包含光源、第一分光镜、待测端物镜、参考端物镜、空间光调制器以及检测模块。所述光源用以提供标准光线。所述第一分光镜用以将标准光线分成第一光线与第二光线。所述待测端物镜用以将第一光线投射于待测表面，并接收待测表面...
该专利属于致茂电子（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过致茂电子（苏州）有限公司授权不得商用。

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