一种高灵敏度MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术涉及高灵敏度MEMS麦克风，包括具有正面和背面的基底，基底上形成贯穿正面和背面的背腔，基底正面形成第一绝缘支撑部对覆盖背腔的振动膜进行支撑，振动膜上形成第二绝缘支撑部对极板进行支撑，极板与振动膜之间形成间隙，极板上形成连通间隙的通孔；背腔内设有与振动膜底部接触的支撑体，支撑体将背腔划分为相互连通的两个子背腔，支撑体包括上支撑体和下支撑体，下支撑体与背腔周围的基底连为一体，上支撑体形成于下支撑体顶部，上支撑体与第一绝缘支撑部为同层结构所形成。本实用新型专利技术将单颗麦克风芯片面积增大，通过背腔容积的扩充来实现灵敏度的提高，在背腔内部增设了支撑振动膜中部的支撑体，避免因振动膜振幅过大造成损坏。造成损坏。造成损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种高灵敏度MEMS麦克风


[0001]本技术涉及MEMS器件，具体涉及一种高灵敏度MEMS麦克风。

技术介绍

[0002]现有的MEMS麦克风是利用平板电容器原理进行检测的电容式麦克风，其结构如图1所示，作为衬底的基底100上具有贯穿正面与背面的背腔600，在基底100的正面形成有牺牲层200以及横亘在牺牲层200上的振动膜300，振动膜300覆盖背腔600，在振动膜300上形成有绝缘支撑部800和横亘在绝缘支撑部800上的极板400，极板400上形成有若干相互隔开的通孔500，极板400与振动膜300之间形成间隙700。在MEMS麦克风工作时，声音从通孔500进入间隙700，引起振动膜300的振动，振动膜300与极板400相对构成一个电容结构。
[0003]MEMS麦克风的灵敏度不仅与振动膜的振幅有关，还与背腔的容积大小息息相关。为了充分利用振动膜的机械灵敏度，麦克风需要设计一个具有环境压力的巨大背腔，以确保流动空气的刚性远离振动膜。如果背腔容积过小，则不利于空气的流通，这种空气的刚性则会大大降低振动膜的机械灵敏度。现有技术中提高麦本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高灵敏度MEMS麦克风，包括具有正面和背面的基底，基底上形成贯穿正面和背面的背腔，基底正面形成第一绝缘支撑部对覆盖背腔的振动膜进行支撑，其特征在于：所述背腔内设有与振动膜底部接触的支撑体，支撑体将背腔划分为相互连通的两个子背腔，支撑体包括上支撑体和下支撑体，下支撑体与背腔周围的基底连为一体，上支撑体形成于下支撑体顶部，上支撑体与第一绝缘支撑部为同层结构所形成。2.根据权利要求1所述的一种高灵敏度MEMS麦克风，其特征在于：所述上支撑体为圆柱体结构。3.根据权利要求2所述的一种高灵敏度MEMS麦克风，其特征在于：所述上支撑体的直径小于下支撑体的截面宽度。4.根据权利要求2所述的一种高灵敏度MEMS麦克风，其特征在于：所述上支撑体的直径为20～40微米。5.根据权利要求1所述的一种高灵敏度MEMS麦克...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏丹珠，艾俊，
申请(专利权)人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：