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本实用新型涉及高灵敏度MEMS麦克风，包括具有正面和背面的基底，基底上形成贯穿正面和背面的背腔，基底正面形成第一绝缘支撑部对覆盖背腔的振动膜进行支撑，振动膜上形成第二绝缘支撑部对极板进行支撑，极板与振动膜之间形成间隙，极板上形成连通间隙的通...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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