一种料盘循环装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种料盘循环装置。本实用新型专利技术提供的一种料盘循环装置，包括空料盘转移机构和缓冲工位；所述缓冲工位设置于上料工位和下料工位之间，用于放置从上料工位回收的空料盘；所述空料盘转移机构用于将空料盘从上料工位、缓冲工位和下料工位之间的循环搬运。通过设置空料盘转移机构和缓冲工位实现空料盘的回收和循环，通过将缓冲工位设置在上料工位和下料工位之间，实现利用单个空料盘组完成空料盘从上料工位到下料工位之间的循环利用，减少元件的使用，提高空间利用率，降低成本。降低成本。降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种料盘循环装置


[0001]本技术涉半导体自动检测领域，尤其是一种料盘循环装置。

技术介绍

[0002]在产品生产过程中，物料需要经过多个工艺的处理。在各工艺装置之间流转时物料通常放置在料盘上，进行工艺处理时将物料自料盘上取下，并回收这些料盘。此前，回收料盘由人工完成，操作不便，效率低。
[0003]在现有技术中，当料盘中的物料被取完时，需要将空置的料盘从料盘堆中取下以露出下一层满置料盘，同时对空置料盘进行回收，再将回收后的料盘移送至下料口以备使用，要想实现上述功能现有常用结构是每组上料口或下料口都会配一组空料盘。上料口的空料盘组是为了收集空料盘，下料口是为了上空料盒供放料用。这无疑将大大增加设备复杂度及占用厂区空间，过多的冗余零件还会导致物料上料及料盘下料的路径被不可避免地延长，由此造成上料效率及料盘回收效率低下等问题。设备制作成本高，占用空间大，市场竞争力低。
[0004]因此，怎么在实现自动上下料、空置料盘回收的同时减少元件的使用，减少组装空间，降低成本成为了本领域内研究的热点问题。

技术实现思路

[0005本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种料盘循环装置，其特征在于，包括空料盘转移机构和缓冲工位；所述缓冲工位设置于上料工位和下料工位之间，用于放置从上料工位回收的空料盘；所述空料盘转移机构用于将空料盘从上料工位、缓冲工位和下料工位之间的循环搬运。2.根据权利要求1所述的料盘循环装置，其特征在于，所述缓冲工位的数量为一个。3.根据权利要求1所述的料盘循环装置，其特征在于，所述缓冲工位与所述上料工位沿X轴设置，所述下料工位沿Y轴设置。4.根据权利要求1所述的料盘循环装置，其特征在于，所述空料盘转移机构包括两个机械手，所述两个机械手为第一空料盘搬运机械手和第二空料盘搬运机械手。5.根据权利要求4所述的料盘循环装置，其特征在于，所述第一空料盘搬运机械手设置于上料工位的外侧，用于将上料工位处的空料盘搬运至缓冲工位；所述第二空料盘搬运机械手设置于缓冲工位的与上料工位相对一侧的外侧，用于将缓冲工位上的空料盘搬运至下料工位处。6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖治祥，朱涛，叶坤，商秋锋，
申请(专利权)人：苏州精濑光电有限公司，
类型：新型
国别省市：