一种高纯靶材真空喷涂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种高纯靶材真空喷涂装置，其可包括：机架；卧式真空筒体，固定安装在所述机架上，设有喷枪安装口、真空管接口和抽烟口，其由不锈钢制成，内径小于500毫米，并且内壁抛光；等离子喷枪，固定安装在喷枪安装口上，在其两边的一段筒体上设有第一水冷结构，等离子喷枪内设有用于冷却喷嘴的第二水冷结构；靶材转动行走机构，其部分安装在机架上和部分安装在筒体中，用于驱动固定在其靶材安装管上的靶材在筒体内行走和转动，其上设有用于对靶材和靶材安装管进行冷却的第三水冷结构；抽真空组件，与真空管接口连通；抽烟组件，安装在抽烟口上；以及进出料机构，可移动布置在进出料口一侧。采用本实用新型专利技术能够制造合格的高纯靶材。纯靶材。纯靶材。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯靶材真空喷涂装置


[0001]本技术涉及真空喷涂装置，具体地涉及一种用于制造高纯靶材的真空喷涂装置。

技术介绍

[0002]用于真空溅镀的靶材的含氧量越低越好，通常将含氧量在1000ppm以下的靶材称为高纯靶材。现有的真空喷涂装置的真空筒体是直径为1.5米的碳钢筒体，其内壁容易吸附大量的氧，而在喷涂过程中，这些吸附在内壁上的氧会在高温下释放出来，进而吸附到靶材上，使靶材的含氧量高而达不到高纯靶材的要求。因此急需一种能够制造高纯靶材的真空喷涂装置。

技术实现思路

[0003]本技术旨在提供一种用于制造高纯靶材的真空喷涂装置，以解决上述问题。为此，本技术采用的具体技术方案如下：
[0004]一种高纯靶材真空喷涂装置，其可包括：
[0005]机架；
[0006]卧式真空筒体，其固定安装在所述机架上，由不锈钢制成，内径小于500毫米，并且内壁抛光，所述卧式真空筒体设有喷枪安装口、真空管接口和抽烟口；
[0007]等离子喷枪，所述等离子喷枪固定安装在所述喷枪安装口上并且其喷嘴位于所述卧式真空筒体内，在所述等离子喷枪两边的一段所述卧式真空筒体上设有用于对该段所述卧式真空筒体进行冷却的第一水冷结构，所述等离子喷枪内设有用于冷却所述喷嘴的第二水冷结构；
[0008]靶材转动行走机构，其部分安装在所述机架上和部分安装在所述卧式真空筒体中，用于驱动固定在其靶材安装管上的靶材在所述卧式真空筒体内行走和转动，所述靶材转动行走机构上设有用于对所述靶材安装管和靶材进行冷却的第三水冷结构；
[0009]抽真空组件，其与所述真空管接口连通，用于对所述卧式真空筒体抽真空；
[0010]以及抽烟组件，其安装在所述抽烟口上，用于将喷涂时产生的烟气及时抽出。
[0011]进一步地，所述卧式真空筒体的内壁的光洁度Ra≤1.5um。
[0012]进一步地，所述卧式真空筒体设有可转动打开的端盖，所述端盖对应的开口为靶材的进出口。
[0013]进一步地，所述第一水冷结构包括环形端板、螺旋状间隔条和外套，所述外套具有位于一端下方的进水口和位于另一端上端的出水口，环形端板、螺旋状间隔条和外套焊接在一起以形成从所述进水口至所述出水口的环绕所述卧式真空筒体外壁的螺旋状通道。
[0014]进一步地，所述等离子喷枪为三阳极等离子喷枪。
[0015]进一步地，所述三阳极等离子喷枪具有周向均匀间隔开的三个进料口，两个所述进料口之间设有一个阳极。
[0016]进一步地，靶材转动行走机构包括第一轨道、第二轨道、第一安装座和至少两个第二安装座、转轴、第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一轨道和所述第二轨道分别安装在机架上和所述卧式真空筒体内并在一直线上，所述第一安装座和所述第二安装座分别滑动接合在所述第一轨道和第二轨道上，所述转轴可转动地安装所述第一安装座和所述第二安装座上，其一端与所述第一驱动装置驱动连接，另一端与所述靶材安装管的一端连接，所述靶材从所述靶材安装管的另一端套入并安装在所述靶材安装管上，其末端可转动地安装在所述第二安装座上，所述第一驱动装置和所述第二驱动装置安装在所述机架上，分别与所述转轴和所述第一安装座驱动连接。
[0017]进一步地，所述第二水冷结构由进水管、所述靶材、所述靶材安装管和所述转轴构成，所述进水管安装在所述第二安装座上，通过法兰与所述靶材密封连接，所述转轴的自由端为出水口。
[0018]进一步地，所述第一驱动装置包括第一电机、两个第一同步轮和第一同步传动带，所述第一电机固定在所述机架上，所述两个第一同步轮分别固定在所述第一电机的输出轴和所述转轴上，所述第一同步传动带环绕在所述两个第一同步轮上；以及所述第二驱动装置包括第二电机、两个第二同步轮和第二同步传动带，所述第二电机固定在所述机架上，所述两个第二同步轮中的一个固定在所述电机的输出轴上，另一个固定在所述机架上，所述述第二同步传动带环绕在所述两个第二同步轮上，所述第一安装座与所述第二同步传动带固定连接。
[0019]进一步地，所述抽真空组件和抽烟组件均包括T字形的三通管，所述三通管上安装有开关装置，所述开关装置包括气缸和阀板，所述阀板的圆周上安装有至少两个O形密封圈，所述气缸推动所述阀板往复运动，使封闭或打开所述真空管接口和抽烟口。
[0020]进一步地，所述进出料机构包括可移动支架、安装在所述可移动支架上的第三轨道和滑动接合在所述第三轨道的移动小车，所述第三轨道用于与所述第二轨道连接，所述移动小车通过遥控器控制，其上设有用于与所述第二安装座快速拆卸连接的结构。
[0021]本技术采用上述技术方案，具有的有益效果是：本技术通过采用小直径的内壁抛光的不锈钢真空筒体，内壁面积小并且不易吸收氧，使得真空筒体内壁吸附的氧大大降低，同时采用喷枪固定而靶材移动的作业方式，使真空筒体仅在喷枪周围的部分被加热，并且这部分真空筒体又设有相应水冷结构，使其温度降低，大大降低了吸附在内壁上的氧的释放量，因此，靶材的含氧量能被控制在一个较低的范围，达到高纯靶材的要求。此外，由于真空筒体直径变小，可以大大减小占用空间。
附图说明
[0022]为进一步说明各实施例，本技术提供有附图。这些附图为本技术揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理。配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本技术的优点。图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。
[0023]图1是本技术的一种高纯靶材真空喷涂装置的立体图；
[0024]图2是图1所示的高纯靶材真空喷涂装置的去除外罩后的立体图；
[0025]图3是图2中A处的放大图，示出了第一冷却结构；
[0026]图4是图2所示的高纯靶材真空喷涂装置的卧式真空筒体的立体图；
[0027]图5是图1所示的高纯靶材真空喷涂装置的局部剖切后的立体图；
[0028]图6是图1所示的高纯靶材真空喷涂装置的对中剖切后的立体图；
[0029]图7是图1所示的高纯靶材真空喷涂装置的等离子喷枪的正视图；
具体实施方式
[0030]现结合附图和具体实施方式对本技术进一步说明。
[0031]如图1
‑
7所示，一种高纯靶材真空喷涂装置可包括机架1、卧式真空筒体2、等离子喷枪3、靶材转动行走机构、抽真空组件和抽烟组件等。机架1由钢材焊接而成。卧式真空筒体(以下简称筒体)2固定安装在机架1上。筒体2可以由不锈钢(例如，304L)制成，其内径小于500毫米，并且内壁抛光成半镜面或镜面(即，光洁度Ra≤1.5um)。筒体2可以分成多段再组装在一起，以方便加工，降低加工成本。筒体2上设有操作口、进出料口22、观察窗23、喷枪安装口、真空管接口25、抽烟口26和安全阀接口27等。操作口位于靠近筒体2左端的筒体侧面上，其上安装有可转动打开的密封盖21。密封盖21在进出料本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯靶材真空喷涂装置，其特征在于，包括：机架；卧式真空筒体，其固定安装在所述机架上，由不锈钢制成，内径小于500毫米，并且内壁抛光，所述卧式真空筒体设有喷枪安装口、真空管接口和抽烟口；等离子喷枪，所述等离子喷枪固定安装在所述喷枪安装口上并且其喷嘴位于所述卧式真空筒体内，在所述等离子喷枪两边的一段所述卧式真空筒体上设有用于对该段所述卧式真空筒体进行冷却的第一水冷结构，所述等离子喷枪内设有用于冷却所述喷嘴的第二水冷结构；靶材转动行走机构，其部分安装在所述机架上和部分安装在所述卧式真空筒体中，用于驱动固定在其靶材安装管上的靶材在所述卧式真空筒体内行走和转动，所述靶材转动行走机构上设有用于对所述靶材安装管和靶材进行冷却的第三水冷结构；抽真空组件，其与所述真空管接口连通，用于对所述卧式真空筒体抽真空；抽烟组件，其安装在所述抽烟口上，用于将喷涂时产生的烟气及时抽出；以及进出料机构，该进出料机构可移动布置在所述卧式真空筒体的进出料口一侧，用于与所述靶材转动行走机构配合实现将靶材移动到所述卧式真空筒体中和从所述卧式真空筒体移出。2.如权利要求1所述的高纯靶材真空喷涂装置，其特征在于：所述卧式真空筒体的内壁的光洁度Ra≤1.5um。3.如权利要求1所述的高纯靶材真空喷涂装置，其特征在于：所述卧式真空筒体设有可转动打开的端盖，所述端盖对应的开口为靶材的进出口。4.如权利要求1所述的高纯靶材真空喷涂装置，其特征在于：所述第一水冷结构包括环形端板、螺旋状间隔条和外套，所述外套具有位于一端下方的进水口和位于另一端上端的出水口，环形端板、螺旋状间隔条和外套焊接在一起以形成从所述进水口至所述出水口的环绕所述卧式真空筒体外壁的螺旋状通道。5.如权利要求1所述的高纯靶材真空喷涂装置，其特征在于：所述等离子喷枪为三阳极等离子喷枪。6.如权利要求5所述的高纯靶材真空喷涂装置，其特征在于：所述三阳极等离子喷枪具有周向均匀间隔开的三个进料口，两个所述进料口之间设有一个...

【专利技术属性】
技术研发人员：余成有，
申请(专利权)人：厦门佰顺兴自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：