一种磁控溅射过渡室制造技术

本实用新型专利技术提供一种磁控溅射过渡室，包括：过渡室主体；多个第一转动辊设置于过渡室主体内壁的一侧，多个调节组件均设置于过渡室主体的内部，多个挤压组件均设置于多个调节组件的一侧，冷凝组件设置于过渡室主体内壁的底部，输送组件设置于过渡室主体的背面。本实用新型专利技术提供的一种磁控溅射过渡室，在过渡室主体内壁的底部设置冷凝组件可以将过渡室主体的内部空气冷却滑，在第一转动辊的表面设置调节组件配合挤压组件使用能够使织物与第一转动辊的接触面增大，在过渡室主体内壁的一侧设置输送组件能够将输送管内部的液体或者冷气输送至第一转动辊和第二转动辊的内部，有利于与织物接触时能对织物表面的水分进行去除。织物接触时能对织物表面的水分进行去除。织物接触时能对织物表面的水分进行去除。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射过渡室


[0001]本技术涉及磁控溅射领域，尤其涉及一种磁控溅射过渡室。

技术介绍

[0002]磁控溅射是物理气相沉积的一种，一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。
[0003]目前在进行织物磁控溅射的操作时需要使用放卷室、烘干室、前过渡室和后过度室组成，在前过渡室中使用冷却水管对织物进行冷凝操作。
[0004]现有的前过渡室中只使用冷却水管对织物进行冷凝操作，只能够对前过渡室内部的气体冷凝，但无法对织物的表面进行冷凝操作，从而造成织物通过前过渡室时容易造成织物表面残留水分无法去除，会影响后期的操作。
[0005]因此，有必要提供一种磁控溅射过渡室解决上述技术问题。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种磁控溅射过渡室，解决了现有的前过渡室对织物进行冷凝操作时只是用冷却水管难以对织物表面的水分直接去除的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本技术提供的一种磁控溅射过渡室，包括：过渡室主体；
[0008]多个第一转动辊，多个所述第一转动辊从左至右依次设置于所述过渡室主体内壁的一侧，所述过渡室主体的内部且位于多个所述第一转动辊之间均设置有第二转动辊；
[0009]多个调节组件，多个所述调节组件均设置于所述过渡室主体的内部且位于多个所述第一转动辊相对的一侧；
[0010]多个挤压组件，多个所述挤压组件均设置于多个所述调节组件的一侧，所述挤压组件包括凹形板，所述凹形板的内部设置有滑动件，所述滑动件的一侧固定连接有弧形挤压板；
[0011]冷凝组件，所述冷凝组件设置于所述过渡室主体内壁的底部；
[0012]输送组件，所述输送组件设置于所述过渡室主体的背面。
[0013]优选的，所述调节组件包括滑杆，所述滑杆的表面套设有滑套，所述滑套的一侧固定连接有L形连接块，所述L形连接块的一侧固定连接有固定环，所述固定环的表面开设有环形槽，所述环形槽的内部滑动有滑动块，所述滑动块的一侧与所述凹形板表面的一侧固定连接。
[0014]优选的，所述冷凝组件包括放置盒，所述放置盒的内部设置有输送管，所述过渡室主体的底部且位于所述放置盒的下方固定安装有风扇。
[0015]优选的，所述放置盒的表面设置有滤板，所述过渡室主体表面的两侧均开设有输送孔。
[0016]优选的，所述输送组件包括连接管，所述连接管的一端通过连接件连接有十字管。
[0017]优选的，所述过渡室主体的表面设置有箱门。
[0018]优选的，所述第二转动辊的一侧设置有滑动组件，所述滑动组件包括十字滑动槽，所述十字滑动槽的内部滑动有滑块，所述滑块的一侧通过转动轴与所述第二转动辊的一端转动连接，所述第二转动辊表面的一侧设置有固定件，所述十字滑动槽的内部开设有与所述固定件相适配的固定槽。
[0019]与相关技术相比较，本技术提供的一种磁控溅射过渡室具有如下有益效果：
[0020]本技术提供一种磁控溅射过渡室，在过渡室主体内壁的底部设置冷凝组件可以将过渡室主体的内部空气冷却滑，在第一转动辊的表面设置调节组件配合挤压组件使用能够使织物与第一转动辊的接触面增大，在过渡室主体内壁的一侧设置输送组件能够将输送管内部的液体或者冷气输送至第一转动辊和第二转动辊的内部，有利于与织物接触时能对织物表面的水分进行去除。
附图说明
[0021]图1为本技术提供的一种磁控溅射过渡室的第一实施例的结构示意图；
[0022]图2为图1所示的A部放大示意图；
[0023]图3为图2所示的B部放大示意图；
[0024]图4为图1所示的装置整体的立体结构示意图；
[0025]图5为图1所示的装置整体的后视图；
[0026]图6为图1所示的装置整体的外部结构示意图；
[0027]图7为本技术提供的一种磁控溅射过渡室的第二实施例的结构示意图；
[0028]图8为图7所示的C部放大示意图。
[0029]图中标号：1、过渡室主体，2、第一转动辊，3、第二转动辊，4、调节组件，41、滑杆，42、滑套，43、L形连接块，44、固定环，45、环形槽，46、滑动块，5、挤压组件，51、凹形板，52、滑动件，53、弧形挤压板，6、冷凝组件，61、放置盒，62、输送管，63、风扇，7、输送孔，8、输送组件，81、十字管，82、连接管，9、滤板，10、箱门，11、滑动组件，111、十字滑动槽，112、滑块，113、固定件，114、固定槽。
具体实施方式
[0030]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。
[0031]第一实施例
[0032]请结合参阅图1、图2、图3、图4、图5和图6，其中，图1为本技术提供的一种磁控溅射过渡室的第一实施例的结构示意图；图2为图1所示的A部放大示意图；图3为图2所示的B部放大示意图；图4为图1所示的装置整体的立体结构示意图；图5为图1所示的装置整体的后视图；图6为图1所示的装置整体的外部结构示意图。一种磁控溅射过渡室，包括：过渡室主体1；
[0033]多个第一转动辊2，多个所述第一转动辊2从左至右依次设置于多个与所述过渡室主体1内壁的一侧，所述过渡室主体1的内部且位于多个所述第一转动辊2之间均设置有第二转动辊3；
[0034]第一转动辊2和第二转动辊3为错开设置，并使用转动轴与过渡室主体1内壁的一
侧转动连接。
[0035]多个调节组件4，多个所述调节组件4均设置于所述过渡室主体1的内部且位于多个所述第一转动辊2相对的一侧；
[0036]多个挤压组件5，多个所述挤压组件5均设置于多个所述调节组件4的一侧，所述挤压组件5包括凹形板51，所述凹形板51的内部设置有滑动件52，所述滑动件52的一侧固定连接有弧形挤压板53；
[0037]在滑动件52的两侧均固定连接有连接块，在凹形板51内壁的两侧均开设有与两个连接块相适配的连接槽，使用连接块和连接槽可以防止滑动件52的脱落，在凹形板51表面的一侧设置有螺栓可以对滑动件52进行固定。
[0038]冷凝组件6，所述冷凝组件6设置于所述过渡室主体1内壁的底部；
[0039]输送组件8，所述输送组件8设置于所述过渡室主体1的背面。
[0040]所述调节组件4包括滑杆41，所述滑杆41的表面套设有滑套42，所述滑套42的一侧固定连接有L形连接块43，所述L形连接块43的一侧固定连接有固定环44，所述固定环44的表面开设有环形槽45，所述环形槽45的内部滑动有滑动块46，所述滑动块46的一侧与所述凹形板51表面的一侧固定连接。
[0041]滑动块64表面两侧均固定连接有弧形块，在环形槽45内壁的顶部和底部的两侧均开设有与弧形块相适配的环形滑槽，滑动块64的形状与环形槽45的形状相适配，在滑动块46的表面设置有螺栓，在环形槽45内壁的一侧均匀开设有一圈本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射过渡室，其特征在于，包括：过渡室主体；多个第一转动辊，多个所述第一转动辊从左至右依次设置于所述过渡室主体内壁的一侧，所述过渡室主体的内部且位于多个所述第一转动辊之间均设置有第二转动辊；多个调节组件，多个所述调节组件均设置于所述过渡室主体的内部且位于多个所述第一转动辊相对的一侧；多个挤压组件，多个所述挤压组件均设置于多个所述调节组件的一侧，所述挤压组件包括凹形板，所述凹形板的内部设置有滑动件，所述滑动件的一侧固定连接有弧形挤压板；冷凝组件，所述冷凝组件设置于所述过渡室主体内壁的底部；输送组件，所述输送组件设置于所述过渡室主体的背面。2.根据权利要求1所述的磁控溅射过渡室，其特征在于，所述调节组件包括滑杆，所述滑杆的表面套设有滑套，所述滑套的一侧固定连接有L形连接块，所述L形连接块的一侧固定连接有固定环，所述固定环的表面开设有环形槽，所述环形槽的内部滑动有滑动块，所述滑动块的一侧与所述凹形板...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗晴，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：新型
国别省市：