本发明专利技术涉及真空镀膜领域，公开了一种卷对卷真空镀膜机的控制系统，控制系统包括第一控制器和第二控制器；第一控制器包括：真空泵组单元，用于对各个过渡腔室进行抽真空，使所有过渡腔室内的真空度由两侧往中间方向逐级增高，并使镀膜腔室内维持最高真空度；基材卷绕单元，用于镀膜前基材的放卷和镀膜后基材的收卷工作，使基材能够连续不断地通过所有过渡腔室和镀膜腔室；密封辊组单元，用于密封各个过渡腔室之间、以及末端过渡腔室的通口，使各个过渡腔室独立分隔开，并使基材能够顺利通过所有过渡腔室和镀膜腔室。本发明专利技术通过各个单元的相互配合，能够实现高质量、高效率的镀膜工艺。高效率的镀膜工艺。高效率的镀膜工艺。
【技术实现步骤摘要】
一种卷对卷真空镀膜机的控制系统及控制方法
[0001]本专利技术涉及真空镀膜
，尤其涉及一种卷对卷真空镀膜机的控制系统及控制方法。
技术介绍
[0002]镀膜设备是一种用于对物体进行镀膜的设备，目前镀膜设备主要是真空镀膜，真空镀膜设备是一类需要在较高真空度下进行镀膜的设备，主要包括蒸发和溅射两种，具体可以包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子外延、PLD激光溅射沉积等；例如在薄膜沉积，光学部件的镀膜等，一般采用离子源来进行。
[0003]卷对卷真空镀膜机是一种能够实现连续性镀膜的真空镀膜设备，卷对卷真空镀膜机内的中间位置设置有镀膜腔室，镀膜腔室的两侧设置有多个过渡腔室，并且相邻腔室之间通常设置有供基材穿过的通口。而普通的卷对卷真空镀膜机只是在镀膜腔室内简单地安装一个镀膜设备，其镀膜质量、镀膜效率都非常低。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本专利技术的目的是提供一种卷对卷真空镀膜机的控制系统和控制方法，达到高质量、高效率的镀膜工艺。
[0005]本专利技术通过以下技术手段解决上述技术问题：
[0006]一种卷对卷真空镀膜机的控制系统，所述控制系统包括第一控制器和第二控制器；
[0007]所述第一控制器包括：
[0008]真空泵组单元，用于对各个过渡腔室进行抽真空，使所有过渡腔室内的真空度由两侧往中间方向逐级增高，并使镀膜腔室内维持最高真空度；
[0009]基材卷绕单元，用于镀膜前基材的放卷和镀膜后基材的收卷工作，使基材能够连续不断地通过所有过渡腔室和镀膜腔室；
[0010]密封辊组单元，用于密封各个过渡腔室之间、以及末端过渡腔室的通口，使各个过渡腔室独立分隔开，并使基材能够顺利通过所有过渡腔室和镀膜腔室；
[0011]等离子射频单元，用于对镀膜前的基材进行清洁处理，使基材的镀膜面保持干净整洁；
[0012]加热单元，用于对镀膜前、镀膜中和镀膜后的基材进行加热处理，使基材的镀膜面保持干燥；
[0013]水冷单元，用于对镀膜腔室和真空泵组单元进行冷却处理，使镀膜工艺顺利进行；
[0014]所述第二控制器包括：
[0015]镀膜单元，用于对基材进行连续性镀膜。
[0016]进一步，所述基材卷绕单元的数量为两个，其中一个设置在真空镀膜机外的首端用于镀膜前基材的放卷，另一个设置在真空镀膜机外的尾端用于镀膜前基材的收卷，所述
基材卷绕单元包括安装架、第一导辊、第二导辊、收放辊和第一电机，所述第一导辊、第二导辊和收放辊均转动安装在安装架上，所述第一电机固定在安装架上并用于驱动收放辊转动，所述第一电机与第一控制器电连接。
[0017]进一步，所述基材卷绕单元还包括旋转轴、旋转编码器、两根连接杆、张紧辊、配重轴和配重块，所述旋转轴转动安装在安装架内，所述旋转编码器固定在安装架上并与旋转轴相连，所述旋转编码器与第一控制器电连接，两根所述连接杆分别固定在旋转轴的两端，所述张紧辊转动安装在两根连接杆之间并位于第一导辊和第二导辊中间位置的下侧，所述配重轴转动安装在两根连接杆上远离旋转轴的一端，所述配重块安装在配重轴上。
[0018]进一步，所述密封辊组单元的数量与过渡腔室的数量相同，每个所述密封辊组单元均安装在镀膜腔室的其中一个通口处，所述密封辊组单元包括C形安装板、上胶辊、下胶辊，所述C形安装板上开设有与通口相适配的矩形孔，所述上胶辊和下胶辊均转动安装在C形安装板内，所述上胶辊和下胶辊的前后两侧、靠近矩形孔的一侧均紧贴在C形安装板的内侧壁上，所述上胶辊和下胶辊相对的一侧能够共同抵靠在基材上。
[0019]进一步，所述密封辊组单元还包括两个滑动块和两个抵紧螺栓，所述C形安装板的两侧均设有安装槽，两个所述滑动块分别滑动安装在两侧的安装槽内，所述上胶辊的辊轴的两端分别转动安装在两个滑动块上，两个所述抵紧螺栓均螺纹连接在C形安装板的两侧，所述抵紧螺栓能够延伸至与其同侧的安装槽内并抵紧在滑动块上。
[0020]进一步，所述密封辊组单元还包括上齿轮、下齿轮和第二电机，所述上齿轮固定在上胶辊的辊轴上，所述下齿轮固定在下胶辊的辊轴上，所述上齿轮和下齿轮相互啮合，所述第二电机固定在真空镀膜机外并用于驱动下胶辊转动，所述第二电机与第一控制器电连接。
[0021]进一步，所述加热单元的数量为三个，三个所述加热单元分别安装在镀膜腔室、镀膜腔室前一个过渡腔室和镀膜腔室后一个过渡腔室内，并且这三个腔室完全连通。
[0022]进一步，所述等离子射频单元安装在加热单元所在过渡腔室前的其中一个过渡腔室内。
[0023]进一步，所述镀膜单元为电子枪蒸镀膜系统，所述电子枪蒸镀膜系统安装在镀膜腔室内。
[0024]一种卷对卷真空镀膜机的控制方法，所述控制方法包括如下步骤：
[0025]S1：首先通过真空泵组单元，对所有过渡腔室进行抽真空处理，并使所有过渡腔室内的真空度由两侧往中间方向逐级增高，同时也使镀膜腔室内的真空度增大；
[0026]S2：当镀膜腔室内的真空度达到预设真空度时，打开等离子射频单元，对基材的镀膜面进行清洁处理；
[0027]S3：打开加热单元，对基材进行加热处理；
[0028]S4：当镀膜腔室内的温度达到预设温度时，再启动电子枪蒸镀膜系统，首先调节电子束流至第一预设电子束流值，并维持一定时间；然后调节电子束流至第二预设电子束流值，并观察坩埚内的靶材是否有飞溅；如没有飞溅，则将电子束流调至第三预设电子束流值，如有飞溅，则待靶材飞溅停止后再将电子束流调至第三预设电子束流值，然后开始镀膜；
[0029]S5：启动基材卷绕单元，使基材连续不断地穿过整个真空镀膜机；
[0030]S6：启动水冷单元，对镀膜腔室和真空泵组单元进行冷却处理，将镀膜腔室的温度维持在130℃左右，防止镀膜腔室和真空泵组单元过热而导致停止事故。
[0031]本专利技术的有益效果：
[0032]1、本专利技术通过设置真空泵组单元，能够对各个过渡腔室抽真空，使所有过渡腔室内的真空度由两侧往中间方向逐级增高，并使镀膜腔室内维持最高真空度，提高镀膜的效率和质量。
[0033]2、本专利技术通过设置基材卷绕单元，使基材不会出现松弛或者被严重拉扯的问题，并且将基材卷绕单元安装在镀膜机外，便于工作人员安装和拆卸基材，提高镀膜效率。
[0034]3、本专利技术通过设置密封辊组单元，使各个过渡腔室能够独立分隔开，能够达到所有过渡腔室内的真空度由两侧往中间方向逐级增高的目的，这样设置使得位于末端的过渡腔室内的真空度相对较小，从而使该腔室与外界的压差相对较小，减小气流在从密封辊组单元处挤进过渡腔室中的风险，从而使得镀膜腔室内的高真空度能够保持稳定，提高镀膜质量。
[0035]4、本专利技术通过设置等离子射频单元，能够对基材的镀膜面进行清洁处理，使基材的镀膜面保持干净，提高镀膜质量。
[0036]5、本专利技术通过设置加热单元，使基材在镀膜前、镀膜中和镀膜后均能够保持干燥，保证靶材能够稳定附着在基材本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种卷对卷真空镀膜机的控制系统，其特征在于，所述控制系统包括第一控制器和第二控制器；所述第一控制器包括：真空泵组单元，用于对各个过渡腔室进行抽真空，使所有过渡腔室内的真空度由两侧往中间方向逐级增高，并使镀膜腔室内维持最高真空度；基材卷绕单元，用于镀膜前基材的放卷和镀膜后基材的收卷工作，使基材能够连续不断地通过所有过渡腔室和镀膜腔室；密封辊组单元，用于密封各个过渡腔室之间、以及末端过渡腔室的通口，使各个过渡腔室独立分隔开，并使基材能够顺利通过所有过渡腔室和镀膜腔室；等离子射频单元，用于对镀膜前的基材进行清洁处理，使基材的镀膜面保持干净整洁；加热单元，用于对镀膜前、镀膜中和镀膜后的基材进行加热处理，使基材的镀膜面保持干燥；水冷单元，用于对镀膜腔室和真空泵组单元进行冷却处理，使镀膜工艺顺利进行；所述第二控制器包括：镀膜单元，用于对基材进行连续性镀膜。2.根据权利要求1所述的一种卷对卷真空镀膜机的控制系统，其特征在于，所述基材卷绕单元的数量为两个，其中一个设置在真空镀膜机外的首端用于镀膜前基材的放卷，另一个设置在真空镀膜机外的尾端用于镀膜前基材的收卷，所述基材卷绕单元包括安装架、第一导辊、第二导辊、收放辊和第一电机，所述第一导辊、第二导辊和收放辊均转动安装在安装架上，所述第一电机固定在安装架上并用于驱动收放辊转动，所述第一电机与第一控制器电连接。3.根据权利要求2所述的一种卷对卷真空镀膜机的控制系统，其特征在于，所述基材卷绕单元还包括旋转轴、旋转编码器、两根连接杆、张紧辊、配重轴和配重块，所述旋转轴转动安装在安装架内，所述旋转编码器固定在安装架上并与旋转轴相连，所述旋转编码器与第一控制器电连接，两根所述连接杆分别固定在旋转轴的两端，所述张紧辊转动安装在两根连接杆之间并位于第一导辊和第二导辊中间位置的下侧，所述配重轴转动安装在两根连接杆上远离旋转轴的一端，所述配重块安装在配重轴上。4.根据权利要求1所述的一种卷对卷真空镀膜机的控制系统，其特征在于，所述密封辊组单元的数量与过渡腔室的数量相同，每个所述密封辊组单元均安装在镀膜腔室的其中一个通口处，所述密封辊组单元包括C形安装板、上胶辊、下胶辊，所述C形安装板上开设有与通口相适配的矩形孔，所述上胶辊和下胶辊均转动安装在C形安装板内，所述上胶辊和下胶辊的前后两侧、靠近矩形孔的一侧均紧贴在C形安装板的内侧壁上，所述上胶辊和下胶辊相对的一侧能够共同抵靠在基材上。5.根据权利要求4所述的一种卷对卷真空镀膜...
【专利技术属性】
技术研发人员：金湛，曹蔚琦，王亚栋，秦琴，夏文豪，
申请(专利权)人：重庆诺奖二维材料研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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