底部照明模块调节装置制造方法及图纸

本申请涉及半导体生产技术领域，尤其是涉及一种底部照明模块调节装置，用于安装在基础框架和底部照明模块之间，底部照明模块调节装置包括支撑构件、X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构，支撑构件与基础框架相连接；X向调节机构设置于支撑构件与底部照明模块之间，用于调整并锁定调整后的底部照明模块的X向位置；Y向调节机构设置于支撑构件与底部照明模块之间，用于调整并锁定调整后的底部照明模块的Y向位置及Rz；Z向调节机构设置于支撑构件与底部照明模块之间，用于调整并锁定底部照明模块的Z向位置及Rx和Ry。可见，利用本装置能实现Rx、Ry、Rz、X、Y及Z六个自由度的调节，实现底部照明模块的精确复位，通用性强。通用性强。通用性强。

【技术实现步骤摘要】
底部照明模块调节装置


[0001]本申请涉及半导体生产
，尤其是涉及一种底部照明模块调节装置。

技术介绍

[0002]目前，底部照明模块在稳定工作约3个月后，其顶端的镜片需要进行擦拭清理，需将底部照明模块整体移出，将镜片全部裸露出来。此外，底部照明模块的内部镜片、电机和控制器等零件出现故障时，也需要将底部照明模块移出，从而进行维护维修或更换。且当清理、维护维修或更换工作后，底部照明模块需要复位，并必须保证其较高的位置重复性，也即保证复位精度。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种底部照明模块调节装置，在一定程度上解决了现有技术中存在的急需一款保证底部照明模块的复位精度的装置的技术问题。
[0004]本申请提供了一种底部照明模块调节装置，用于安装在基础框架和底部照明模块之间，所述底部照明模块调节装置包括：支撑构件、X向调节机构、Y向调节机构以及Z向调节机构；
[0005]其中，所述支撑构件与所述基础框架相连接；所述X向调节机构设置于所述支撑构件与所述底部照明模块之间，且用于调整并锁定调整后的所述底部照明模块的X向的位置；
[0006]所述Y向调节机构设置于所述支撑构件与所述底部照明模块之间，且用于调整并锁定调整后的所述底部照明模块的Y向的位置以及Rz；
[0007]所述Z向调节机构设置于所述支撑构件与所述底部照明模块之间，且用于调整并锁定所述底部照明模块的Z向位置以及Rx和Ry。
[0008]在上述技术方案中，进一步地，所述X向调节机构包括第一X向调节组件和第二X向调节组件，所述第一X向调节组件以及所述第二X向调节组件设置于所述支撑构件的相对的两侧；
[0009]所述第一X向调节组件以及所述第二X向调节组件均配设有一个X向连接构件，两个所述X向连接构件设置于所述底部照明模块的安装表面的相对的两侧。
[0010]在上述任一技术方案中，进一步地，所述第一X向调节组件包括X向定位组件、锁紧组件以及减震组件，且所述X向定位组件、所述锁紧组件以及所述减震组件沿着所述支撑构件的高度方向从上向下顺次设置。
[0011]在上述任一技术方案中，进一步地，所述X向定位组件包括X向辅助安装构件、X向定位构件、第一调整螺栓以及第一惰轮；其中，所述X向辅助安装构件与所述支撑构件的一侧部相连接；所述X向定位构件位于所述X向辅助安装构件的远离所述支撑构件的一侧，且所述X向定位构件与所述X向辅助安装构件通过连接螺栓相连接；
[0012]所述第一调整螺栓穿设于所述X向定位构件，并且所述第一调整螺栓的端部穿过所述X向定位构件顶设于所述X向辅助安装构件上；所述第一惰轮可转动地设置于所述X向
定位构件。
[0013]在上述任一技术方案中，进一步地，所述减震组件包括减震用安装构件以及缓冲器，所述减震用安装构件与所述支撑构件的一侧相连接，且所述缓冲器穿设于所述减震用安装构件；
[0014]所述缓冲器沿着X方向延伸，且所述缓冲器的缓冲端位于所述减震用安装构件的靠近所述底部照明模块的一侧。
[0015]在上述任一技术方案中，进一步地，所述锁紧组件包括锁紧用安装构件和第一锁紧螺栓，所述锁紧用安装构件与所述支撑构件的一侧相连接，且所述锁紧用安装构件与所述支撑构件具有沿着Y方向的多个连接位置；
[0016]所述第一锁紧螺栓依次穿设于所述锁紧用安装构件和所述底部照明模块，且用于锁紧所述锁紧用安装构件和所述底部照明模块。
[0017]在上述任一技术方案中，进一步地，所述第二X向调节组件包括沿着所述支撑构件的高度方向顺次设置的所述X向定位组件、所述锁紧组件以及压紧组件，且所述第二X向调节组件的压紧组件包括压紧轴件、垫片、弹簧、螺母以及弹簧定位构件；
[0018]其中，所述弹簧定位构件与所述支撑构件的一侧相连接；所述压紧轴件穿设于所述弹簧定位构件，所述垫片以及所述弹簧均套设于所述压紧轴件的外部，且所述垫片和所述弹簧设置于所述压紧轴件的限位头端与所述弹簧定位构件的一侧之间；所述弹簧的相对的两端均设置有所述垫片；
[0019]所述螺母旋拧于所述压紧轴件的螺纹连接柱部，且所述螺母压紧于所述弹簧定位构件的另一侧。
[0020]在上述任一技术方案中，进一步地，所述Y向调节机构包括两个Y向调节组件，且两个所述Y向调节组件设置于所述底部照明模块的安装表面的相对的两侧；
[0021]任一所述Y向调节组件配设有一个顶设构件，且两个所述顶设构件设置于所述支撑构件的靠近所述底部照明模块的表面的相对的两侧。
[0022]在上述任一技术方案中，进一步地，所述Y向调节组件包括Y向连接构件、调整垫片、修磨垫片以及第二锁紧螺栓；其中，所述Y向连接构件设置于所述底部照明模块的安装表面的一侧；
[0023]所述Y向连接构件的相对的两侧部均开设有凹槽，且两个凹槽通过通孔相连通，所述调整垫片设置在靠近所述底部照明模块一侧的凹槽内，所述修磨垫片设置在靠近支撑构件一侧的凹槽内；；
[0024]所述调整垫片形成有腰形孔，所述修磨垫片形成有安装通孔，所述第二锁紧螺栓依次穿过所述调整垫片、所述Y向连接构件、所述修磨垫片与Y向顶设构件连接，以锁紧Y向调节机构。
[0025]在上述任一技术方案中，进一步地，所述Z向调节机构包括至少三个Z向调节组件，任一所述Z向调节组件包括脚轮、底部安装构件、螺柱、等高螺栓、碟形弹簧、锁紧螺母以及转接构件；
[0026]其中，所述转接构件与所述底部照明模块可拆卸连接；所述螺柱旋拧于所述转接构件上，且所述锁紧螺母旋拧于所述螺柱的外部，用于将所述螺柱锁紧于所述转接构件；
[0027]所述螺柱的一端部形成有球形凸起，所述底部安装构件形成有锥面凹槽，所述球
形凸起设置于所述锥面凹槽内；
[0028]所述等高螺栓倒置并且依次穿设于所述底部安装构件、所述碟形弹簧以及所述螺柱，以将所述螺柱与所述底部安装构件锁紧在一起；所述螺柱和所述锁紧螺母的外表面均形成有施力凹槽；所述脚轮与所述底部安装构件相连接；
[0029]所述Z向调节机构还包括地脚，所述地脚与所述底部照明模块可拆卸连接。
[0030]在上述任一技术方案中，进一步地，所述Z向调节机构还包括第一标记组件和第二标记组件，所述第一标记组件和所述第二标记组件设置于所述支撑构件的安装表面的相对的两侧部；所述第一标记组件包括上标记构件、第二惰轮、平面配合构件、下标记构件以及第二调整螺栓；
[0031]其中，所述上标记构件设置于所述底部照明模块；所述第二惰轮可转动地设置于所述上标记构件；所述下标记构件设置于所述支撑构件；所述平面配合构件沿着所述支撑构件的高度方向设置于所述下标记构件的上方，且所述平面配合构件的沿着所述支撑构件的高度方向的上表面为平面；所述平面配合构件与所述支撑构件具有沿着Z方向的多个连接位置；
[0032]所述第二调整螺栓旋拧于所述下标记构件，且其端部穿过所述下标记构件顶设于所述平面配合构件的底部；所述第二惰轮本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种底部照明模块调节装置，用于安装在基础框架和底部照明模块之间，其特征在于，所述底部照明模块调节装置包括：支撑构件、X向调节机构、Y向调节机构以及Z向调节机构；其中，所述支撑构件与所述基础框架相连接；所述X向调节机构设置于所述支撑构件与所述底部照明模块之间，且用于调整并锁定调整后的所述底部照明模块的X向的位置；所述Y向调节机构设置于所述支撑构件与所述底部照明模块之间，且用于调整并锁定调整后的所述底部照明模块的Y向的位置以及Rz；所述Z向调节机构设置于所述支撑构件与所述底部照明模块之间，且用于调整并锁定所述底部照明模块的Z向位置以及Rx和Ry。2.根据权利要求1所述的底部照明模块调节装置，其特征在于，所述X向调节机构包括第一X向调节组件和第二X向调节组件，所述第一X向调节组件以及所述第二X向调节组件设置于所述支撑构件的相对的两侧；所述第一X向调节组件以及所述第二X向调节组件均配设有一个X向连接构件，两个所述X向连接构件设置于所述底部照明模块的安装表面的相对的两侧。3.根据权利要求2所述的底部照明模块调节装置，其特征在于，所述第一X向调节组件包括X向定位组件、锁紧组件以及减震组件，且所述X向定位组件、所述锁紧组件以及所述减震组件沿着所述支撑构件的高度方向从上向下顺次设置。4.根据权利要求3所述的底部照明模块调节装置，其特征在于，所述X向定位组件包括X向辅助安装构件、X向定位构件、第一调整螺栓以及第一惰轮；其中，所述X向辅助安装构件与所述支撑构件的一侧部相连接；所述X向定位构件位于所述X向辅助安装构件的远离所述支撑构件的一侧，且所述X向定位构件与所述X向辅助安装构件通过连接螺栓相连接；所述第一调整螺栓穿设于所述X向定位构件，并且所述第一调整螺栓的端部穿过所述X向定位构件顶设于所述X向辅助安装构件上；所述第一惰轮可转动地设置于所述X向定位构件。5.根据权利要求3所述的底部照明模块调节装置，其特征在于，所述减震组件包括减震用安装构件以及缓冲器，所述减震用安装构件与所述支撑构件的一侧相连接，且所述缓冲器穿设于所述减震用安装构件；所述缓冲器沿着X方向延伸，且所述缓冲器的缓冲端位于所述减震用安装构件的靠近所述底部照明模块的一侧。6.根据权利要求3所述的底部照明模块调节装置，其特征在于，所述锁紧组件包括锁紧用安装构件和第一锁紧螺栓，所述锁紧用安装构件与所述支撑构件的一侧相连接，且所述锁紧用安装构件与所述支撑构件具有沿着Y方向的多个连接位置；所述第一锁紧螺栓依次穿设于所述锁紧用安装构件和所述底部照明模块，且用于锁紧所述锁紧用安装构件和所述底部照明模块。7.根据权利要求4所述的底部照明模块调节装置，其特征在于，所述第二X向调节组件包括沿着所述支撑构件的高度方向顺次设置的所述X向定位组件、所述锁紧组件以及压紧组件，且所述第二X向调节组件的压紧组件包括压紧轴件、垫片、弹簧、螺母以及弹簧定位构件；其中，所述弹簧定位构件与所述支撑构件的一侧相连接；所述压紧轴件穿设于所述弹
簧定位构件，所述垫片以及所述弹簧均套设于所述压紧轴件的外部，且所述垫片和所述弹簧设置于所述压紧轴件的限位头端与所述弹簧定位...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑艳芳，杨师，路继松，李海彬，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：