一种ZnO掺杂SnO2靶材及其制备方法技术

本发明专利技术属于溅射靶材制备技术领域，公开了一种ZnO掺杂SnO2靶材及其制备方法。所述制备方法包括如下步骤：将95％～99.9％SnO2和0.1％～5％ZnO粉体通过球磨混合，所得混合原料装入石墨模具，并在石墨模具内放入石墨纸，使物料与石墨纸接触，然后放置于热压炉中，先抽真空至＜100Pa，然后在15～30MPa下进行预压；预压结束后，在真空度≤5Pa条件下升温至950～1100℃，在40～60MPa条件下进行热压，然后冷却脱模，得到所述ZnO掺杂SnO2靶材。采用本发明专利技术方法制备得到的ZnO掺杂SnO2靶材具有导电性好、相对密度高和成本低的优势。性好、相对密度高和成本低的优势。

【技术实现步骤摘要】
一种ZnO掺杂SnO2靶材及其制备方法


[0001]本专利技术属于溅射靶材制备
，具体涉及一种ZnO掺杂SnO2靶材及其制备方法。

技术介绍

[0002]二氧化锡是一种具有直接带隙的宽带金属氧化物半导体材料，二氧化锡陶瓷材料一直都是人们研究的热点，在气敏件、液晶显示、光探测器、太阳能电池、光催化、电催化、保护涂层等领域都具有广阔的应用前景。
[0003]理论上纯的二氧化锡薄膜导电性很差，一般在制备二氧化锡靶材的时候通过掺杂或者控制烧结气氛使二氧化锡产生氧空位，大大的提高其导电性，更好的应用于溅射领域。
[0004]专利CN 106222618 A公开了一种SnO2掺杂ZnO溅射靶材的制备方法，选择粒径1～5μm，纯度≥99.95％的SnO2和ZnO粉为原料，使用混合设备将其按比例混合均匀，其中SnO2粉占混合粉质量比的20～50％。装配石墨模具，在石墨模具内腔表面涂有0.5mm厚的耐高温的ZrO2保护涂层；把混合粉装入装配好的石墨模具中，并用专用工具捣实。把装好粉并捣实的石墨模具放入氮气氛保护炉中加热加压，即进行热压，炉中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ZnO掺杂SnO2靶材的制备方法，其特征在于，包括如下制备步骤：(1)粉体干法球磨混合：将质量百分含量计，将95％～99.9％SnO2和0.1％～5％ZnO粉体通过球磨混合，得到混合原料；(2)原料装模：将制备好的混合原料装入石墨模具，并在石墨模具内放入石墨纸，使物料与石墨纸接触；(3)预压：将装模后的原料放置于热压炉中，先抽真空至＜100Pa，然后在压力为15～30MPa条件下进行预压；(4)热压：预压结束后，关闭炉门，开启真空系统，当真空度≤5Pa后，开启加热装置，升温至950～1100℃，保温时间0.5～1h后，开始加压至40～60MP进行热压。(5)冷却脱模：热压结束后，关闭加热装置，冷却脱模，得到所述ZnO掺杂SnO2靶材。2.根据权利要求1所述的一种ZnO掺杂SnO2靶材的制备方法，其特征在于，步骤(1)中所述SnO2和ZnO粉体为D50为2～15μm，D90为5～20μm，纯度不低于4N的微米级粉体。3.根据权利要求1所述的一种ZnO掺杂SnO2靶材的制备方法，其特征在于，步骤(1)中所述球磨混合采用二氧化锆球为球磨介质，球料比为1～3:1。4.根据权利要求3所述的一种ZnO掺杂Sn...

【专利技术属性】
技术研发人员：文崇斌，余芳，朱刘，童培云，罗海奇，曾成亮，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：