一种离子泵隔振装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种离子泵隔振装置及其使用方法，以解决现有技术中离子泵振动会对带电粒子光学设备性能产生负面影响的技术问题，其用于衰减和隔离离子泵与带电粒子光学设备之间的振动，包括隔振连接器和连接于所述隔振连接器两端的密封法兰，两个所述密封法兰分别用于与所述离子泵和带电粒子光学设备连接，通过两个密封法兰分别连接离子泵和带电粒子光学设备，两个密封法兰之间通过隔振连接器隔开，可大幅衰减离子泵振动传导到带电粒子光学设备主体的振动幅度，隔离了离子泵的振动，从而在最大程度上避免了离子泵振动对带电粒子光学设备性能的负面影响。设备性能的负面影响。设备性能的负面影响。

【技术实现步骤摘要】
一种离子泵隔振装置及其使用方法


[0001]本专利技术涉及带电粒子光学设备
，具体涉及一种离子泵隔振装置及其使用方法。

技术介绍

[0002]离子泵是带电粒子光学设备，如电子显微镜和聚焦离子束(FIB)等设备，常用的超高真空获取装置。
[0003]如图1所示，配备了场发射电子源的扫描电子显微镜的常见结构的示意图，其中电子枪101配备离子泵102和103，电子镜筒(Column)105配合离子泵104，样品腔室106的真空通常由涡轮分子泵来获取。三个离子泵102、103和104所负责抽气的腔室之间通常由小孔光阑或通道分隔以限制气体的相互流动，从而通过差分抽气的方式在离子泵102所负责抽气的空间形成适合场发射电子源稳定发射的超高真空，其本底通常达到10e
‑8Pa的量级。相比较地，样品腔室106的本底真空通常仅为10e
‑4或10e
‑5Pa的量级。
[0004]一方面，由于离子泵配合永磁铁，其体积较大，重量较重，以扫描电子显微镜为例，其配备的中小型离子泵尺寸通常为十几到几十厘米边长，重量为几到十几千克本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子泵隔振装置，其用于衰减和隔离离子泵与带电粒子光学设备之间的振动，其特征在于，包括隔振件和支撑连接件，所述隔振件包括隔振连接器和分别连接于所述隔振连接器两端的密封法兰，两个密封法兰分别用于与所述离子泵和带电粒子光学设备连接，所述支撑连接件的两端分别可拆卸的连接两个所述密封法兰，以提供两个密封法兰之间的刚性支撑。2.根据权利要求1所述的离子泵隔振装置，其特征在于，所述支撑连接件包括至少一个支撑连杆，所述可拆卸连接为螺纹连接。3.根据权利要求2所述的离子泵隔振装置，其特征在于，两个所述密封法兰分别设有至少一个连接部，所述支撑连杆的两端对应连接于两个相对应的连接部。4.根据权利要求3所述的离子泵隔振装置，其特征在于，所述支撑连杆的两端形成有外螺纹，两个相对应的所述连接部中的一个形成有螺纹孔，另一个形成有安装槽，所述支撑连杆的一端螺纹连接于所述螺纹...

【专利技术属性】
技术研发人员：张旭，秦峰，
申请(专利权)人：上海精测半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：