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本发明涉及一种离子泵隔振装置及其使用方法，以解决现有技术中离子泵振动会对带电粒子光学设备性能产生负面影响的技术问题，其用于衰减和隔离离子泵与带电粒子光学设备之间的振动，包括隔振连接器和连接于所述隔振连接器两端的密封法兰，两个所述密封法兰分别...
该专利属于上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。

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