一种图像检测方法技术

本申请提供了一种图像检测方法，其中，该方法包括：获取半导体掩膜工件的对准标记图像；从所述对准标记图像中提取至少一个局部图像；针对每个局部图像，确定该局部图像的局部图像检测值；确定所述对准标记图像的全局图像检测值；根据至少一个局部图像检测值和所述全局图像检测值，确定所述对准标记图像的图像质量。本申请即对对准标记图像的全局进行质量评价，又对对准标记图像的对准标记的局部进行图像质量评价，达到准确判断对准标记图像质量的效果。效果。效果。

【技术实现步骤摘要】
一种图像检测方法


[0001]本申请涉及图像识别
，具体而言，涉及一种图像检测方法。

技术介绍

[0002]在半导体工艺设备的制造过程中，需要将掩膜工件上的图像蚀刻到晶圆工件上，可以通过离轴对准系统对掩膜工件和晶圆工件上的对准标记确定掩膜工件和晶圆工件是否对准。在采集对准标记图像时，对准标记图像受到光源的照射范围、照射波长、光照强度、光照角度等诸多因素的影响，可能会导致标记纹理信息丢失、模糊、噪声或是失真。同时对准标记图像在信号采集、压缩、传输、处理、重建过程中本身就伴随着图像质量降低和失真。上述不利因素对离轴对准系统通过对准标记图像中的对准标记的检测、识别和定位产生严重影响。
[0003]目前，图像质量评价主要包括主观评价和客观评价。主观评价需要人工参与，对采集的所有图像进行打分与统计，耗时耗力。同时，由于人工中每个人的感官差异，因此主观评价的稳定性不足。
[0004]客观评价分为有参考和无参考两种方法。由于多数图像并没有固定的参考场景，因此一般采用无参考的方法。传统的图像质量评价主要针对的是图像整体区域质量的评价，并没有对图像感兴趣的局部进行质量上的判断。经常出现虽然对准标记图像的整体图像质量符合标准，但由于对准标记部分的图像的质量不足，进而导致离轴对准系统仍然无法判断半导体掩膜工件是否对准。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本申请的目的在于提供一种图像检测方法，能够通过即对对准标记图像的全局进行质量评价，又对对准标记图像的对准标记的局部进行图像质量评价的方法，解决了现有技术中存在的对准标记图像符合检测标准，但对准标记部分的图像质量不高的问题，达到准确判断对准标记图像质量的效果。
[0006]第一方面，本申请实施例提供了一种图像检测方法，所述方法包括：获取半导体掩膜工件的对准标记图像，其中，所述对准标记图像包括至少一个对准标记，所述至少一个对准标记为预先设置在所述半导体掩膜工件上的用于对所述半导体掩膜工件进行对准的标记；从所述对准标记图像中提取至少一个局部图像，其中，每个局部图像中包含对应的一个对准标记；针对每个局部图像，确定该局部图像的局部图像检测值；确定所述对准标记图像的全局图像检测值；根据至少一个局部图像检测值和所述全局图像检测值，确定所述对准标记图像的图像质量。
[0007]可选地，从所述对准标记图像中提取至少一个局部图像的步骤包括：确定每个对准标记在所述对准标记图像中的图像位置；针对每个对准标记，生成与该对准标记对应的检测框，在所述检测框中包含该对准标记；针对每个对准标记，将与该对准标记对应的检测框中的图像，确定为一个局部图像。
[0008]可选地，通过以下方式确定每个局部图像的局部图像检测值：确定该局部图像中的对准标记的边缘线和边缘点；根据所述边缘线和所述边缘点，确定出该局部图像中的对准标记对应的对准标记区域；将该局部图像中对准标记区域之外的区域确定为空白区域；根据对准标记区域的灰度值和空白区域的灰度值，确定该局部图像的局部图像检测值。
[0009]可选地，每个局部图像检测值包括局部图像对比度值，其中，通过以下步骤确定每个局部图像的局部图像对比度值：确定所述对准标记区域的第一平均灰度值；确定所述空白区域的第二平均灰度值；将该局部图像中的所述对准标记区域的第一平均灰度值和该局部图像中的空白区域的第二平均灰度值的比值，确定为该局部图像的局部图像对比度值。
[0010]可选地，每个局部图像检测值还包括局部图像清晰度值，其中，通过以下步骤确定每个局部图像的局部图像清晰度值：根据该局部图像中的空白区域内的每个像素点的灰度值以及与各像素点相邻的参考像素点的灰度值，确定出该局部图像的局部图像清晰度值。
[0011]可选地，通过以下公式确定所述对准标记区域的第一平均灰度值：
[0012][0013]其中，GrayMeanValue为该局部图像的对准标记区域的图像的第一平均灰度值，f(x，y)为该局部图像的对准标记区域的图像的每个像素点的灰度值，Area
mean
为该局部图像的对准标记区域的面积。
[0014]可选地，通过以下公式确定所述空白区域的第二平均灰度值：
[0015][0016]其中，GrayValue
outer
为该局部图像的空白区域的第二平均灰度值，f(x，y)
outer
为该局部图像的空白区域的每个像素点的灰度值，Area
outer
为该局部图像的空白区域的面积。
[0017]可选地，与空白区域内的每个像素点相邻的参考像素点包括第一参考像素点和第二参考像素点，所述第一参考像素点为与对应像素点的横坐标相同、纵坐标相邻的像素点；所述第二参考像素点为与对应像素点纵坐标相同，横坐标相邻的像素点；
[0018]其中，通过以下公式确定出每个局部图像的局部图像清晰度值：
[0019][0020]其中，DR为该局部图像的局部图像清晰度值，f(x
i
，y
i
)
outer
为每个目标像素点的灰度值，f(x
i
+1，y
i
)
outer
为与每个目标像素点相邻的第一参考像素点的灰度值，f(x
i
，y
i
+1)
outer
为与每个目标像素点相邻的第二参考像素点的灰度值，m为该局部图像的空白区域内的像素点的个数。
[0021]可选地，确定所述对准标记图像的全局图像检测值的步骤包括：确定所述对准标记图像中大于所述预设灰度级的有效灰度图像的面积；根据所述有效灰度图像的面积与所述全局图像的面积的比值，确定出所述对准标记图像的基准灰度值；根据所述有效灰度图像的面积和所述基准灰度值，确定所述全局图像检测值。
[0022]可选地，所述全局图像检测值包括第一全局图像比值，其中，通过以下步骤确定所述对准标记图像的第一全局图像比值：在所述对准标记图像中选取不同位置的预设数量个
预设大小的目标矩形区域，所述目标矩形区域中不包括对准标记区域；针对每个目标矩形区域，根据该目标矩形区域中每个像素点的灰度值和所述基准灰度值，确定该目标矩形区域的偏离基准灰度值；针对每个目标矩形区域，根据所述偏离基准灰度值与该目标矩形区域的面积的比值，确定该目标矩形区域的偏离基准灰度平均值；根据所述基准灰度值、偏离基准灰度值、每个灰度级的像素的面积和所述全局图像的面积，确定所述对准标记图像的平均偏差；根据所述偏离基准灰度平均值与所述平均偏差的比值，确定所述全局图像的第一全局图像比值。
[0023]可选地，所述全局图像检测值还包括第二全局图像比值，其中，通过以下步骤确定所述对准标记图像的第二全局图像比值：根据所述对准标记图像中的有效灰度图像的面积与所述对准标记图像的面积的比值，确定所述对准标记图像的第二全局图像比值。
[0024]可选地，通过以下公式确定所述对准标记图像中的有效灰度图像的面积：
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种图像检测方法，其特征在于，所述方法包括：获取半导体掩膜工件的对准标记图像，其中，所述对准标记图像包括至少一个对准标记，所述至少一个对准标记为预先设置在所述半导体掩膜工件上的用于对所述半导体掩膜工件进行对准的标记；从所述对准标记图像中提取至少一个局部图像，其中，每个局部图像中包含对应的一个对准标记；针对每个局部图像，确定该局部图像的局部图像检测值；确定所述对准标记图像的全局图像检测值；根据至少一个局部图像检测值和所述全局图像检测值，确定所述对准标记图像的图像质量。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，从所述对准标记图像中提取至少一个局部图像的步骤包括：确定每个对准标记在所述对准标记图像中的图像位置；针对每个对准标记，生成与该对准标记对应的检测框，在所述检测框中包含该对准标记；针对每个对准标记，将与该对准标记对应的检测框中的图像，确定为一个局部图像。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过以下方式确定每个局部图像的局部图像检测值：确定该局部图像中的对准标记的边缘线和边缘点；根据所述边缘线和所述边缘点，确定出该局部图像中的对准标记对应的对准标记区域；将该局部图像中对准标记区域之外的区域确定为空白区域；根据对准标记区域的灰度值和空白区域的灰度值，确定该局部图像的局部图像检测值。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，每个局部图像检测值包括局部图像对比度值，其中，通过以下步骤确定每个局部图像的局部图像对比度值：确定所述对准标记区域的第一平均灰度值；确定所述空白区域的第二平均灰度值；将该局部图像中的所述对准标记区域的第一平均灰度值和该局部图像中的空白区域的第二平均灰度值的比值，确定为该局部图像的局部图像对比度值。5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，每个局部图像检测值还包括局部图像清晰度值，其中，通过以下步骤确定每个局部图像的局部图像清晰度值：根据该局部图像中的空白区域内的每个像素点的灰度值以及与各像素点相邻的参考像素点的灰度值，确定出该局部图像的局部图像清晰度值。6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，通过以下公式确定所述对准标记区域的第一平均灰度值：
其中，GrayMeanValue为该局部图像的对准标记区域的图像的第一平均灰度值，f(x，y)为该局部图像的对准标记区域的图像的每个像素点的灰度值，Area
mean
为该局部图像的对准标记区域的面积。7.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，通过以下公式确定所述空白区域的第二平均灰度值：其中，GrayValue
outer
为该局部图像的空白区域的第二平均灰度值，f(x，y)
outer
为该局部图像的空白区域的每个像素点的灰度值，Area
outer
为该局部图像的空白区域的面积。8.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，与空白区域内的每个像素点相邻的参考像素点包括第一参考像素点和第二参考像素点，所述第一参考像素点为与对应像素点的横坐标相同、纵坐标相邻的像素点；所述第二参考像素点为与对应像素点纵坐标相同，横坐标相邻的像素点；其中，通过以下公式确定出每个局部图像的局部图像清晰度值：其中，DR为该局部图像的局部图像清晰度值，f(x
i
，y
i
)
outer
为每个目标像素点的灰度值，f(x
i
+1，y
i
)
outer
为与每个目标像素点相邻的第一参考像素点的灰度值，f(x
i
，y
i
+1)
outer
为与每个目标像素点相邻的第二参考像素点的灰度值，m为该局部图像的空白区域内的像素点的个数。9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，确定所述对准标记图像的全局图像检测值的步骤包括：确定所述对准标记图像中大于预设灰度...

【专利技术属性】
技术研发人员：闵珊珊，林佳，魏祥英，杜婷婷，孙邦元，李洪亮，谭胜旺，申淙，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：