一种显示面板及其制备方法技术

本申请提供一种显示面板及其制备方法，显示面板包括衬底基板和设置于衬底基板上的复合金属层，复合金属层包括：在衬底基板上依次层叠设置的第一子金属层、第二子金属层和第三子金属层，其中，第二子金属层包括第一金属结构和第二金属结构，第二金属结构包覆第一金属结构，第一金属结构的材质与第二金属结构的材质不同，且第一金属结构中包含有第二金属结构中的所有金属元素。本申请提供的显示面板无需设置钝化层与保护层，且第二子金属层中形成有具有保护作用的、包覆第一金属结构的第二金属结构，在简化显示面板的结构与制作工艺、节约生产制造成本的同时，大大降低了复合金属层的氧化风险，保证了显示面板的显示质量。保证了显示面板的显示质量。保证了显示面板的显示质量。

【技术实现步骤摘要】
一种显示面板及其制备方法


[0001]本申请涉及显示
，具体涉及一种显示面板及其制备方法。

技术介绍

[0002]有机发光二极管(OLED，Organic Light
‑
Emitting Diode)显示面板，相比于液晶显示面板而言，具有更加轻薄、显示效果好、分辨率高、色域广、更低功耗以及可以实现柔性显示等优势，使其在最近几年快速发展，已经成为移动终端的首选显示面板类型。
[0003]但是，当前的OLED显示面板中，为避免源漏极金属层的侧壁氧化问题，需要在源漏极金属层上依次制作钝化层，但钝化层容易出现鼓包和断裂问题，这使得对制作过程中的蚀刻工艺要求大大提高，进而导致产品良率难以提升；另外，为避免钝化层的鼓包和断裂问题，还需要对源漏极金属层的厚度和膜层数量进行严格控制，使得此种架构下的源漏极金属层中的导电铜层往往是与钝化层直接相接触的，为避免所述导电铜层氧化，还需要在所述钝化层上设置额外的保护层，钝化层和保护层的设置使得OLED显示面板的整体膜层结构复杂，制程工艺步骤繁多，生产成本居高不下，此问题亟待解决。

技术实现思路

[0004]本申请提供一种显示面板及其制备方法，能够在不设置所述钝化层的情况下避免源漏极金属层的侧壁氧化问题，简化OLED显示面板的结构和制作工艺，有效降低生产制造成本。
[0005]为了实现上述目的，本申请所述显示面板及其制备方法采取了以下技术方案。
[0006]一方面，本申请提供一种显示面板，所述显示面板包括：衬底基板和设置于所述衬底基板上的复合金属层，所述复合金属层包括：在所述衬底基板上依次层叠设置的第一子金属层、第二子金属层和第三子金属层，其中，所述第二子金属层包括第一金属结构和第二金属结构，所述第二金属结构包覆所述第一金属结构，所述第一金属结构的材质与所述第二金属结构的材质不同，且所述第一金属结构中包含有所述第二金属结构中的所有金属元素。
[0007]可选地，所述第一金属结构的材质为包含第一金属元素和第二金属元素的金属合金；所述第二金属结构的材质为包含所述第二金属元素的金属单质，其中，所述金属合金能够在退火过程中析出部分所述第二金属元素，析出的部分所述第二金属元素转化为所述金属单质。
[0008]可选地，所述金属合金为铜锰合金，所述金属单质为锰单质。
[0009]可选地，所述第三子金属层的厚度大于所述第一子金属层的厚度。
[0010]可选地，所述第三子金属层的厚度大于或等于1000埃。
[0011]可选地，所述第三子金属层和所述第一子金属层的材质相同，均为钼钛合金。
[0012]可选地，所述显示面板还包括：平坦层，所述平坦层设置于所述复合金属层背离所述衬底基板的一侧，且所述平坦层与所述复合金属层直接接触。
[0013]可选地，所述平坦层的材质为氧化硅系有机材料。
[0014]另一方面，本申请还提供一种显示面板的制备方法，所述显示面板的制备方法包括以下步骤：
[0015]提供一衬底基板，在所述衬底基板上依次形成一第一子金属层、一金属合金层和一第三子金属层，所述金属合金层的材质为包含第一金属元素和第二金属元素的金属合金；
[0016]对所述第一子金属层、金属合金层和第三子金属层进行蚀刻和退火处理，在退火过程中，所述金属合金层析出部分所述第二金属元素，析出的部分所述第二金属元素转化金属单质，所述金属单质形成第二金属结构，剩余的所述金属合金层形成第一金属结构，所述第二金属结构包覆所述第一金属结构，其中，所述第一金属结构和所述第二金属结构形成位于所述第一子金属层和所述第三子金属层之间的第二子金属层，所述第一子金属层、第二子金属层和第三子金属层形成设置于所述衬底基板上的复合金属层。
[0017]可选地，所述显示面板的制备方法还包括以下步骤：
[0018]在所述复合金属层背离所述衬底基板的一侧形成一平坦层，所述平坦层与所述复合金属层直接接触。
[0019]本申请提供的显示面板无需设置钝化层与保护层，且所述第二子金属层中形成有具有保护作用的、包覆所述第一金属结构的第二金属结构，在简化显示面板的结构与制作工艺、节约生产制造成本的同时，大大降低了所述复合金属层的氧化风险，保证了所述显示面板的显示质量。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为现有技术中的显示面板的膜层结构示意图；
[0022]图2为本申请实施例提供的显示面板的膜层结构示意图；
[0023]图3为本申请实施例提供的复合金属层在图2中AA处的剖面示意图；
[0024]图4为本申请实施例提供的显示面板的制备流程示意图。
具体实施方式
[0025]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。此外，应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本申请，并不用于限制本申请。在本申请中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上”和“下”通常是指装置实际使用或工作状态下的上和下，具体为附图中的图面方向；而“内”和“外”则是针对装置的轮廓而言的。
[0026]下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了
简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。以下分别进行详细说明，需说明的是，以下实施例的描述顺序不作为对实施例优选顺序的限定。
[0027]图1为现有技术中的显示面板的膜层结构示意图，如图1所示，在现有技术中，设置于衬底基板10`上的复合金属层80`上一般会设置钝化层200`，以避免所述复合金属层80`的侧壁氧化问题。而钝化层200`一般为氧化硅膜层和氮化硅膜层形成的复合型无机膜层，当位于所述钝化层下100`的所述复合金属层80`的膜层厚度较大和/或膜层数量较多时，复合金属层80`的蚀刻形态较难控制，会使得屋顶结构(即tip结构)的边缘凸出长度较长和/或膜层边缘的倾斜角度(即taper角)较大，使得后续所述钝化层200`成膜存在鼓包和断裂的风险。因此，为降低所述钝化层200`的鼓包和断裂的风险，需要对蚀刻工艺作更为严格的要求，还需要对所述复合金属层80`的膜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示面板，其特征在于，包括：衬底基板和设置于所述衬底基板上的复合金属层，所述复合金属层包括：在所述衬底基板上依次层叠设置的第一子金属层、第二子金属层和第三子金属层，其中，所述第二子金属层包括第一金属结构和第二金属结构，所述第二金属结构包覆所述第一金属结构，所述第一金属结构的材质与所述第二金属结构的材质不同，且所述第一金属结构中包含有所述第二金属结构中的所有金属元素。2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一金属结构的材质为包含第一金属元素和第二金属元素的金属合金；所述第二金属结构的材质为包含所述第二金属元素的金属单质，其中，所述金属合金能够在退火过程中析出部分所述第二金属元素，析出的部分所述第二金属元素转化为所述金属单质。3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述金属合金为铜锰合金，所述金属单质为锰单质。4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第三子金属层的厚度大于所述第一子金属层的厚度。5.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，所述第三子金属层的厚度大于或等于1000埃。6.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，所述第三子金属层和所述第一子金属层的材质相同，均为钼钛合金。7.根据权利要求1所述的显示面板...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐成俊，郑帅，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：