一种X射线实时成像检测设备制造技术

本发明专利技术公开了一种X射线实时成像检测设备，包括工作台、移载机构、载物台、检测单元、搬运机械手、物料区和计算器单元；移载机构安装于工作台上，载物台与移载机构连接，移载机构适于带动载物台向X轴和Y轴移动；检测单元包括X射线发射装置和平板探测装置，平板探测装置并与计算器单元连接，所述载物台位于X射线发射装置和平板探测装置之间，X射线发射装置用于向被测产品发射X射线，平板探测装置适于采集图像信号。极大地提高不良品缺陷统计的效率，对电感内部结构进行无损检测，透射内部检测效果及检测效率相比传统AOI光学检测更精准和全面。和全面。和全面。

【技术实现步骤摘要】
一种X射线实时成像检测设备


[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种X射线实时成像检测设备。

技术介绍

[0002]目前，半导体行业中的叠层薄膜电感产品生产后需要对电感的电性能进行检测，检测的方法为一是采用人工观察检测，使用显微镜目测判断电感产品内部结构，但该人工检测方式劳动强度大，效率低，容易漏判，人工目测精度低，容易误判；二是采用AOI自动光学检查，但该检测方式只是检测叠层薄膜电感的外观，无法检测叠层薄膜电感内部，且对周围环境要求高。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种X射线实时成像检测设备，其能解决现有叠层电感检测方法劳动强度大，精度和效率低下的问题。
[0004]本专利技术的目的采用如下技术方案实现：
[0005]一种X射线实时成像检测设备，包括工作台、移载机构、载物台、检测单元、搬运机械手、物料区和计算器单元；所述移载机构安装于所述工作台上，所述载物台与所述移载机构连接，所述移载机构适于带动载物台向X轴和Y轴移动；
[0006]所述检测单元固定于工作台，所述检测单元包括X射线发射装置和平板探测装置，所述平板探测装置并与计算器单元连接，所述载物台位于X射线发射装置和平板探测装置之间，所述X射线发射装置用于向被测产品发射X射线，平板探测装置适于采集图像信号；
[0007]所述搬运机械手适于将被测产品在载物台和物料区之间转移。
[0008]进一步地，所述移载机构包括X轴滑轨、Y轴滑轨、X轴传动组件和Y轴传动组件；所述载物台包括连接板、基座、碳纤板和压紧机构，所述Y轴滑轨设于所述连接板，所述基座与所述Y轴滑轨滑动连接，所述连接板与X轴滑轨滑动连接，所述X轴传动组件与所述连接板连接，所述Y轴传动组件与所述基座连接，所述碳纤板设于所述基座上；所述压紧机构安装于所述基座，适于压紧所述被测产品；所述工作台底端设有多个限位传感器，所述限位传感器与计算器单元连接，所述连接板上固定有感应条。
[0009]进一步地，所述X射线发射装置设于载物台的下方，所述X射线发射装置包括为X射线源和手动滑台，所述X射线源与所述手动滑台滑动连接，所述手动滑台与所述工作台连接，所述X射线源的出光口从下往上朝向所述载物台。
[0010]进一步地，所述平板探测装置设于载物台的上方，所述平板探测装置包括平板探测器、升降模组和升降电机，所述升降模组与所述工作台接，所述平板探测器与所述升降模组连接，所述升降模组适于调节所述平板探测器与所述载物台之间的距离。
[0011]进一步地，所述搬运机械手包括龙门模组、升降气缸、真空吸盘抓手和抖动气缸，所述龙门模组固定于物料区上方，所述升降气缸与所述龙门模组连接，所述升降气缸的活动端连接真空吸盘抓手，所述真空吸盘抓手安装所述抖动气缸。
[0012]进一步地，所述物料区邻近所述工作台，所述搬运机械手设于所述物料区与工作台之间，所述物料区包括上料区、OK品下料区和NG品下料区，所述上料区、OK品下料区和NG品下料区并排设置。
[0013]进一步地，所述上料区包括上料升降模组、料盒、导轨和顶升柱，所述料盒的两侧与所述导轨滑动连接，所述上料升降模组与所述顶升柱的一端连接，所述顶升柱的另一端与所述料盒底部连接；所述料盒的边沿均垂直连接有定位挡板，所述定位挡板可相对所述料盒表面滑动，所述料盒的边沿设有调节部件，所述调节部件用于调节定位挡板的位置；所述物料区的平台垂直连接有托举板，所述托举板的顶部设有高度感应器。
[0014]进一步地，所述X射线实时成像检测设备还包括NG品打码机构，所述NG品打码机构安装于所述工作台；所述NG品打码机构包括滑台气缸、笔形气缸、安装座、第一滑动组件、第二滑动组件、第一滑座、第二滑座和色笔；所述滑台气缸与所述安装座连接，所述安装座通过第一滑动组件与所述第一滑座滑动连接，所述笔形气缸与所述第一滑座连接，所述第二滑座通过第二滑动组件与所述第一滑座滑动连接，所述第一滑座的上端与第二滑座之间设有弹簧，所述第二滑座与固定架固定连接，所述固定架安装所述色笔，所述色笔适于对被测产品的NG区域标记。
[0015]进一步地，所述X射线实时成像检测设备还包括柜体，所述柜体内集成有控制电柜，所述控制电柜与计算器单元连接，所述工作台、移载机构、载物台、检测单元、NG品打码机构、搬运机械手和物料区均设于柜体内，所述移载机构、载物台、搬运机械手、NG品打码机构和物料区均与所述控制电柜电气连接。
[0016]进一步地，所述柜体还包括物料区拉门，所述物料区拉门正对所述物料区，所述料盒设有把手，所述料盒可沿导轨滑动进出柜体。
[0017]相比现有技术，本专利技术的有益效果在于：
[0018](1)本专利技术设置移载机构和检测单元，具有高自动化程度检测水平，降低人工劳动强度，提高检测速度和准确率，检测数据易于保存、分类和查询，极大地提高不良品缺陷统计的效率，在不影响正常生产的情况下降低人工成本，提高了产品的安全性和可靠性；
[0019](2)本专利技术利用检测单元，通过X射线源发射X射线穿过产品后，可以得到不同灰度显示图像的特性，进而对薄膜电感内部结构进行无损检测，透射内部检测效果及检测效率相比传统AOI光学检测更精准和全面。
附图说明
[0020]图1为本专利技术的X射线实时成像检测设备的整体结构分布示意图；
[0021]图2为本专利技术的工作台、移载机构和载物台的结构示意图；
[0022]图3为本专利技术的搬运机械手的结构示意图；
[0023]图4为上料区的结构示意图；
[0024]图5为X射线发射装置的结构示意图；
[0025]图6为平板探测装置的结构示意图；
[0026]图7为NG品打码机构的结构示意图；
[0027]图8为本专利技术的X射线实时成像检测设备外部示意图。
[0028]图中：1、工作台；2、移载机构；3、载物台；4、检测单元；5、搬运机械手；6、物料区；7、
控制电柜；8、NG品打码机构；9、柜体；10、被测产品；21、X轴滑轨；22、Y轴滑轨；23、X轴传动组件；24、Y轴传动组件；31、连接板；32、基座；33、碳纤板；34、压紧机构；241、伺服电机；242、丝杆部件；41、X射线发射装置；411、X射线源；412、手动滑台；42、平板探测装置；421、平板探测器；422、升降模组；423、升降电机；51、龙门模组；52、升降气缸；53、真空吸盘抓手；54、抖动气缸；531、真空吸盘；61、上料区；611、上料升降模组；612、料盒；613、导轨；614、顶升柱；615、定位挡板；616、调节部件；617、托举板；618、高度感应器；619、底板；62、OK品下料区；63、NG品下料区；81、滑台气缸；82、笔形气缸；83、安装座；84、第一滑动组件；85、第二滑动组件；86、第一滑座；87、第二滑座；88、色笔；89、弹簧；80、固定架；91、显示器；92、控制旋钮；93、键盘；94、物料区拉门；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种X射线实时成像检测设备，其特征在于，包括工作台(1)、移载机构(2)、载物台(3)、检测单元(4)、搬运机械手(5)、物料区(6)和计算器单元；所述移载机构(2)安装于所述工作台(1)上，所述载物台(3)与所述移载机构(2)连接，所述移载机构(2)适于带动载物台(3)向X轴和Y轴移动；所述检测单元(4)固定于工作台(1)，所述检测单元(4)包括X射线发射装置(41)和平板探测装置(42)，所述平板探测装置(42)并与计算器单元连接，所述载物台(3)位于X射线发射装置(41)和平板探测装置(42)之间，所述X射线发射装置(41)用于向被测产品(10)发射X射线，平板探测装置(42)适于采集图像信号；所述搬运机械手(5)适于将被测产品(10)在载物台(3)和物料区(6)之间转移。2.根据权利要求1所述的X射线实时成像检测设备，其特征在于，所述移载机构(2)包括X轴滑轨(21)、Y轴滑轨(22)、X轴传动组件(23)和Y轴传动组件(24)；所述载物台(3)包括连接板(31)、基座(32)、碳纤板(33)和压紧机构(34)，所述Y轴滑轨(22)设于所述连接板(31)，所述基座(32)与所述Y轴滑轨(22)滑动连接，所述连接板(31)与X轴滑轨(21)滑动连接，所述X轴传动组件(23)与所述连接板(31)连接，所述Y轴传动组件(24)与所述基座(32)连接，所述碳纤板(33)设于所述基座(32)上；所述压紧机构(34)安装于所述基座(32)，适于压紧所述被测产品(10)；所述工作台(1)底端设有多个限位传感器(12)，所述限位传感器(12)与计算器单元连接，所述连接板(31)上固定有感应条(11)。3.根据权利要求1所述的X射线实时成像检测设备，其特征在于，所述X射线发射装置(41)设于载物台(3)的下方，所述X射线发射装置(41)包括为X射线源(411)和手动滑台(412)，所述X射线源(411)与所述手动滑台(412)滑动连接，所述手动滑台(412)与所述工作台(1)连接，所述X射线源(411)的出光口从下往上朝向所述载物台(3)。4.根据权利要求1所述的X射线实时成像检测设备，其特征在于，所述平板探测装置(42)设于载物台(3)的上方，所述平板探测装置(42)包括平板探测器(421)、升降模组(422)和升降电机(423)，所述升降模组(422)与所述工作台(1)接，所述平板探测器(421)与所述升降模组(422)连接，所述升降模组(422)适于调节所述平板探测器(421)与所述载物台(3)之间的距离。5.根据权利要求1所述的X射线实时成像检测设备，其特征在于，所述搬运机械手(5)包括龙门模组(51)、升降气缸(52)、真空吸盘抓手(53)和抖动气缸(54)，所述龙门模组(51)固定于物料区(6)上方，所述升降气缸(52)与所述龙门模组(51)连接，所述升降气缸(52)的活动端连接真空吸盘抓手...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢金辉，陈泽祥，汤秀清，董青林，李华，
申请(专利权)人：广州市昊志影像科技有限公司，
类型：发明
国别省市：