一种用于伺服系统误差高精度补偿的数据采集方法技术方案

本发明专利技术公开了一种用于伺服系统误差高精度补偿的数据采集方法，属于运动机构标校领域，采用X光对标记物进行成像并计算基准标记中心，采用基于变化率的逐次逼近方法移动载物台水平位置，使基准标记中心位于探测器成像中心，记录载物台高度、探测器倾斜角度、探测器旋转角度以及移动后的载物台水平位置坐标；本发明专利技术采用基于变化率的逐次逼近方法，通过三或四次水平移动可使基准标记和视野中心重合；采用多个基准标记进行分段采集数据，兼顾高放大比和低放大比；本发明专利技术数据采集效率高、采集的数据可用于基于五轴运动平台的X射线检测装置的伺服系统误差高精度补偿中。伺服系统误差高精度补偿中。伺服系统误差高精度补偿中。

【技术实现步骤摘要】
一种用于伺服系统误差高精度补偿的数据采集方法


[0001]本专利技术涉及运动机构标校
，具体涉及一种用于伺服系统误差高精度补偿的数据采集方法。

技术介绍

[0002]X射线检测装置主要面向集成电路封装可靠性检测，检查电路及其封装以检查缺陷的存在以便确定缺陷的原因。专利申请号为CN201910592325.6的中国专利技术专利公开了一种基于五轴运动平台的X射线检测装置，可以从不同视角或投影取得多个二维图像或关注区域的三维模型。伺服系统可允许探测器在球面内进行相对移动、样品随载物台在三维空间内直线运动。
[0003]关注区域的二维成像是有效的，但因遮蔽等原因通常提供不充足的信息，需要从不同视角对关注区域进行成像。然而，在实际操作过程中，因轴系不正交误差、射线源安装误差引入的探测器球面运动的球心和射线源源心不共心误差、示值误差、探测器安装误差等误差来源，使得载物台高度移动、探测器旋转探测时，关注区域会偏离视野中心，需要重新定位关注区域，尤其是高放大倍数成像、大幅度调整放大倍数或视角时，关注区域会完全偏离视野，难以重新定位。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于伺服系统误差高精度补偿的数据采集方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：通过伺服系统移动载物台高度z、探测器倾斜角度θ、探测器旋转角度γ至初始位置；S2：采用X光对载物台表面上的具有已知几何形状的基准标记进行实时成像，并计算基准标记中心；S3：采用基于变化率的逐次逼近方式移动载物台水平位置，使基准标记中心位于探测器成像中心，记录载物台高度z、探测器倾斜角度θ、探测器旋转角度γ以及移动后的载物台水平位置坐标x、y；S4：按照顺序，依次改变载物台高度z、探测器倾斜角度θ、探测器旋转角度γ，相邻两次只改变一个变量，每个变量依次递增或递减，重复步骤S2～S3。2.根据权利要求1所述的一种用于伺服系统误差高精度补偿的数据采集方法，其特征在于：在所述步骤S2中，所述具有已知几何形状的基准标记至少有两个，且大小均不同，根据载物台高度进行分段采集数据；载物台高度较大时，即成像放大比较小时，选用较大的基准标记；载物台高度较小时，即成像放大比较大时，选用较小的基准标记。3.根据权利要求1所述的一种用于伺服系统误差高精度补偿的数据采集方法，其特征在于：在所述步骤S2中，所述具有已知几何形状的基准标记为金属球，球径在0.1mm...

【专利技术属性】
技术研发人员：何张强，李旺，李俊英，张腊梅，汪洋，林松，王晓红，徐钦，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第三十八研究所，
类型：发明
国别省市：