具有集成边缘外耦合器的集成光子装置制造方法及图纸

本文描述了一种集成光子装置，该集成光子装置包括光发射器、一个或多个集成边缘外耦合器、光学器件和检测器阵列。该装置可包括气密密封的壳体。气密密封可减少可能影响密封壳体内的各个部件的测量、分析和/或功能的水分和/或污染的量。附加地或替代地，气密密封还可用于保护壳体内的部件免受在制造、包装和/或装运过程期间引起的环境污染。可通过在管芯的层中形成一个或多个凹部来形成一个或多个外耦合器。可在凹部中形成外耦合器材料，并且任选地，可将后续层设置在顶部上。可对管芯的边缘进行抛光，直到实现目标抛光平面为止。一旦形成外耦合器，就可将管芯翻转，并且可形成其他部件。部件。部件。

【技术实现步骤摘要】
具有集成边缘外耦合器的集成光子装置
[0001]本申请是优先权日为2018年02月13日、国际申请日为2019年02月13日、进入国家申请日为2020年08月11日、申请号为2019800128788、专利技术名称为“具有集成边缘外耦合器的集成光子装置”的中国专利技术专利申请的分案申请。
[0002]相关申请的交叉引用
[0003]本专利申请要求提交于2018年2月13日的美国临时专利申请号62/630,018的权益，该申请据此全文以引用方式并入本文。


[0004]本专利技术整体涉及被配置用于测量样本体积的一个或多个特性的集成光子装置。更具体地，该集成光子装置可包括集成边缘外耦合器。

技术介绍

[0005]光学感测系统的一个应用可以是测量样本体积的一个或多个特性。光学感测系统可包括集成光子装置，该集成光子装置包括多个光学部件，诸如光源和检测器。光源和检测器相对于彼此的放置和对准精度可能影响测量的准确性。例如，光学部件的对准可影响由具有特定路径长度的检测器测量的返回光的选择性检测的准确性。
专利
技术实现思路

[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成光子装置，包括：支撑层，所述支撑层包括第一侧和第二侧；一个或多个窗口，所述一个或多个窗口位于所述集成光子装置的系统界面处；光学器件，所述光学器件被配置为将入射光重新引导、聚焦和/或准直到所述一个或多个窗口或者从所述一个或多个窗口对入射光进行重新引导、聚焦和/或准直；一个或多个边缘外耦合器，所述一个或多个边缘外耦合器被配置为将光重新引导朝向所述光学器件中的至少一些光学器件；一个或多个光发射器，所述一个或多个光发射器被配置为响应于第一信号发射光，其中，所发射的光入射在所述一个或多个边缘外耦合器上；多个第一层，所述多个第一层沉积在所述支撑层的所述第一侧上，其中，所述多个第一层被配置为将所述第一信号从控制器路由到所述一个或多个光发射器；一个或多个检测器，所述一个或多个检测器被配置为检测返回光并生成指示所检测的返回光的第二信号，其中，所检测的返回光包括所发射的光的至少一部分；多个第二层，所述多个第二层沉积在所述支撑层的所述第二侧上，其中，所述多个第二层被配置为将所述第二信号从所述一个或多个检测器路由到所述控制器或路由到处理器；以及所述控制器或处理器，所述控制器或处理器被配置为基于所述第二信号确定一个或多个样本特性。2.根据权利要求1所述的集成光子装置，还包括：框架，所述框架连接到所述支撑层，其中，所述框架被配置为在至少所述一个或多个检测器周围和在所述光学器件中的至少一些光学器件周围形成气密密封。3.根据权利要求2所述的集成光子装置，还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：苹果公司，
类型：发明
国别省市：